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作者?|??ZeR0
編輯?|??漠影
三闖科創(chuàng)板！國(guó)產(chǎn)關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備商成功上市，寧德時(shí)代曾毓群、中芯國(guó)際持股。
芯東西12月23日?qǐng)?bào)道，今日，江蘇半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備供應(yīng)商微導(dǎo)納米正式登陸科創(chuàng)板。其發(fā)行價(jià)為24.21元/股，發(fā)行市盈率412.24倍，開(kāi)盤價(jià)為29.90元/股，漲幅達(dá)23.50%；截至09點(diǎn)45分，股價(jià)最高上漲28.05%至31.00元/股，總市值約129億元。
刻蝕設(shè)備、光刻設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備是集成電路前道生產(chǎn)工藝中最重要的三類設(shè)備。其中，薄膜沉積設(shè)備投資額占晶圓廠投資總額的16%，占晶圓制造設(shè)備投資總額的21%。
▲晶圓廠投資構(gòu)成
微導(dǎo)納米在半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)備實(shí)現(xiàn)了“卡脖子”技術(shù)突破，是國(guó)內(nèi)首家成功將量產(chǎn)型High-k原子層沉積設(shè)備應(yīng)用于28nm節(jié)點(diǎn)集成電路制造前道生產(chǎn)線的國(guó)產(chǎn)設(shè)備公司，已在先進(jìn)邏輯、先進(jìn)存儲(chǔ)、化合物半導(dǎo)體、新型顯示等細(xì)分應(yīng)用領(lǐng)域均取得了國(guó)內(nèi)多家知名半導(dǎo)體公司的商業(yè)訂單。
此前微導(dǎo)納米獲得了工信部2021年第三批專精特新“小巨人”企業(yè)、2021年蘇南國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū)獨(dú)角獸企業(yè)、2020年度江蘇省小巨人企業(yè)（制造類）等榮譽(yù)稱號(hào)。王燕清、倪亞蘭、王磊是微導(dǎo)納米的實(shí)際控制人。其中微導(dǎo)納米董事長(zhǎng)王磊為1993年生人，是王燕清與倪亞蘭之子。王燕清是全球新能源裝備制造龍頭先導(dǎo)智能的董事長(zhǎng)、總經(jīng)理。先導(dǎo)智能于2015年5月在深交所創(chuàng)業(yè)板上市，市值最高曾達(dá)1300億元，截至昨日收盤時(shí)，市值為約634億元。在2022年胡潤(rùn)全球富豪榜上，王燕清、倪亞蘭夫婦以330億元財(cái)富排名全球第647名，是江蘇無(wú)錫首富。
如今，這個(gè)家族迎來(lái)第二次敲鐘上市時(shí)刻。本次IPO，微導(dǎo)納米擬募資10億元，投資基于原子層沉積技術(shù)的半導(dǎo)體配套設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)升級(jí)項(xiàng)目、集成電路高端裝備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心項(xiàng)目等。
01.先進(jìn)制程必備工藝設(shè)備
薄膜沉積設(shè)備主要應(yīng)用于光伏電池片、半導(dǎo)體晶圓的生產(chǎn)環(huán)節(jié)，直接影響光伏電池片的光電轉(zhuǎn)換效率以及半導(dǎo)體器件性能。薄膜沉積是指在基底上沉積特定材料形成薄膜，使之具有光學(xué)、電學(xué)等方面的特殊性能，按工藝原理可分為物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）設(shè)備，按設(shè)備形態(tài)可分為批量式（管式）和空間型（板式）兩種技術(shù)路線。
微導(dǎo)納米現(xiàn)有產(chǎn)品主要以批量式（管式）ALD設(shè)備為主，是國(guó)內(nèi)少數(shù)能在短期內(nèi)快速反饋并協(xié)助客戶解決產(chǎn)線上ALD技術(shù)問(wèn)題的設(shè)備廠商之一。目前，半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中，PVD、CVD設(shè)備均已初步實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，而ALD設(shè)備作為先進(jìn)制程所必須的工藝設(shè)備，在大規(guī)模量產(chǎn)方面國(guó)內(nèi)廠商尚未形成突破。
根據(jù)Gartner統(tǒng)計(jì)，2019年全球半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中，PECVD、PVD、ALD設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模占比分別為33%、23%、11%；2020年全球半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中PECVD、PVD、ALD設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模占比分別為34%、21%、12.8%。
薄膜沉積設(shè)備的不斷創(chuàng)新和進(jìn)步，支撐制造工藝向更小制程發(fā)展，所需的薄膜層數(shù)越來(lái)越多。在90nm CMOS工藝大約需要40道薄膜沉積工序。在3nm FinFET工藝則超過(guò)100道薄膜沉積工序，涉及的薄膜材料由6種增加到近20種，對(duì)于薄膜顆粒的要求也由微米級(jí)提高到納米級(jí)。
半導(dǎo)體制程進(jìn)入28nm后，由于器件結(jié)構(gòu)不斷縮小且更為3D立體化，生產(chǎn)過(guò)程中需要實(shí)現(xiàn)厚度更薄的膜層，以及在更為立體的器件表面均勻鍍膜。
ALD技術(shù)憑借優(yōu)異的三維共形性、大面積成膜的均勻性、精確的膜厚控制等特點(diǎn)，技術(shù)優(yōu)勢(shì)愈加明顯，市占率也將持續(xù)提高。當(dāng)技術(shù)節(jié)點(diǎn)向14nm甚至更小的方向升級(jí)時(shí)，與PVD設(shè)備和CVD設(shè)備相比，ALD設(shè)備的必要性更加凸顯。在國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加快的背景下，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體ALD設(shè)備迎來(lái)前所未有的發(fā)展契機(jī)。
02.已實(shí)現(xiàn)在28nm制造關(guān)鍵工藝中的突破
我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)過(guò)最近幾年快速發(fā)展，但在核心設(shè)備化上的國(guó)產(chǎn)化率仍然較低。
半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備行業(yè)基本由應(yīng)用材料、先晶半導(dǎo)體（ASM）、泛林集團(tuán)、東京電子等國(guó)際巨頭壟斷。
半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率雖然由2016年的5%提升至2020年的8%，但總體占比尤其是中高端產(chǎn)品占比較低。國(guó)內(nèi)企業(yè)中，主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的主要有北方華創(chuàng)、拓荊科技、中微公司三家。
北方華創(chuàng)、拓荊科技分別主要經(jīng)營(yíng)PVD產(chǎn)品、PECVD產(chǎn)品，兩家公司ALD設(shè)備曾實(shí)現(xiàn)銷售，部分客戶仍處于工藝驗(yàn)證階段。中微公司主要為半導(dǎo)體客戶提供刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備，ALD設(shè)備為其籌劃開(kāi)發(fā)產(chǎn)品。微導(dǎo)納米已開(kāi)發(fā)出適用于光伏、半導(dǎo)體等應(yīng)用領(lǐng)域的多款薄膜沉積設(shè)備，涵蓋ALD、PEALD二合一、PECVD系列產(chǎn)品，并提供配套產(chǎn)品及服務(wù)。其產(chǎn)品率先用于光伏電池片生產(chǎn)過(guò)程中的薄膜沉積環(huán)節(jié)，隨后微導(dǎo)納米又開(kāi)發(fā)了對(duì)技術(shù)水平和工藝要求更高的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備。
微導(dǎo)納米首套用于300mm（12英寸）晶圓的High-k柵氧層薄膜沉積的ALD設(shè)備已實(shí)現(xiàn)銷售，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)ALD設(shè)備在28nm集成電路制造關(guān)鍵工藝（高介電常數(shù)柵氧層材料沉積環(huán)節(jié)）中的突破。
該公司已與多家國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠商及驗(yàn)證平臺(tái)簽署了保密協(xié)議并開(kāi)展產(chǎn)品技術(shù)驗(yàn)證等合作，針對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體薄膜沉積各細(xì)分應(yīng)用領(lǐng)域研發(fā)試制新型ALD設(shè)備。本次募投項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，微導(dǎo)納米將新增年產(chǎn)120臺(tái)光伏、柔性電子領(lǐng)域的ALD設(shè)備，以及年產(chǎn)40套半導(dǎo)體領(lǐng)域ALD設(shè)備的生產(chǎn)規(guī)模。
03.三年?duì)I收近10億元上半年凈利潤(rùn)轉(zhuǎn)盈為虧
2019年、2020年、2021年、2022年上半年，微導(dǎo)納米的營(yíng)收分別為2.16億元、3.13億元、4.28億元、1.56億元，凈利潤(rùn)分別為0.55億元、0.57億元、0.46億元、-0.39億元。
2019-2020年，微導(dǎo)納米專用設(shè)備銷售收入占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的比例分別為93.59%、95.74%，均為ALD設(shè)備銷售收入。
微導(dǎo)納米的設(shè)備改造業(yè)務(wù)主要是匹配客戶改造需求開(kāi)展，2021年設(shè)備改造業(yè)務(wù)收入增幅較大，導(dǎo)致2021年專用設(shè)備銷售收入占比降至70.29%；同時(shí)受市場(chǎng)電池技術(shù)過(guò)渡期間下游廠商擴(kuò)產(chǎn)節(jié)奏短期調(diào)整及新品推出的影響，2021年其專用設(shè)備收入結(jié)構(gòu)有所變化。
近年來(lái)，光伏電池片呈大尺寸化發(fā)展趨勢(shì)。2019年光伏電池片市場(chǎng)以156mm尺寸為主；2020年156mm尺寸占比大幅下降，158mm和166mm尺寸合計(jì)比例達(dá)到77.8%。當(dāng)時(shí)其客戶產(chǎn)線設(shè)備大多為適配158mm或以下電池片生產(chǎn)，因此設(shè)備改造需求增加。2021年、2022年1-6月，其新增PECVD設(shè)備與PEALD二合一設(shè)備銷售收入、ALD設(shè)備銷售收入占專用設(shè)備銷售收入的比例分別為53.70%、44.18%。
2020-2021年，微導(dǎo)納米ALD設(shè)備訂單數(shù)量短期減少主要是受到市場(chǎng)電池技術(shù)路線過(guò)渡階段的暫時(shí)性影響。
截至2022年9月末，微導(dǎo)納米在手訂單合計(jì)19.75億元，其中專用設(shè)備在手訂單合計(jì)18.56億元，設(shè)備改造業(yè)務(wù)在手訂單合計(jì)1.15億元。微導(dǎo)納米2022年?duì)I收預(yù)計(jì)為5.91億元~6.78億元，同比增長(zhǎng)38.11%~58.44%；歸母凈利潤(rùn)預(yù)計(jì)為2300萬(wàn)元~4200萬(wàn)元，同比下降50.12%~8.92%。這主要系公司設(shè)備產(chǎn)品驗(yàn)收周期長(zhǎng)，導(dǎo)致收入確認(rèn)與因訂單增加而相應(yīng)增加的管理、銷售費(fèi)用周期不一致，以及持續(xù)加大研發(fā)投入導(dǎo)致研發(fā)費(fèi)用增加所致。2019年、2020年、2021年、2022年上半年，微導(dǎo)納米的研發(fā)投入占營(yíng)收比例分別為14.41%、17.19%、22.68%、39.74%。
截至2022年6月30日，微導(dǎo)納米擁有206名研發(fā)人員，占總?cè)藬?shù)的25.50%，共有97項(xiàng)專利。其研發(fā)費(fèi)用占比和研發(fā)人員占比高于同行業(yè)上市公司平均水平。
其與同行業(yè)可比公司毛利率存在差異，主要系產(chǎn)品及其下游應(yīng)用領(lǐng)域存在差異。
2021年，微導(dǎo)納米首臺(tái)半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)備實(shí)現(xiàn)銷售，毛利率為52.20%。故其半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)備的毛利率高于同行業(yè)可比公司平均水平。
04.90后“創(chuàng)二代”掌舵多位60后、80后“輔佐”
截至招股書(shū)簽署日，微導(dǎo)納米共有25名股東。
王燕清、倪亞蘭、王磊系微導(dǎo)納米的實(shí)際控制人。三人組成的家族通過(guò)萬(wàn)海盈投資、聚海盈管理、德厚盈投資間接控制公司67.34%股份。在這三家持股平臺(tái)中，王磊持股均在7~8成。1966年4月，王燕清出生于江蘇無(wú)錫的一個(gè)桃農(nóng)家庭。1986年，從常州無(wú)線電工業(yè)學(xué)校模具設(shè)計(jì)與制造專業(yè)畢業(yè)后，他先是進(jìn)入錫山無(wú)線電二廠，后因收入太低選擇辭職，在2000年創(chuàng)立無(wú)錫先導(dǎo)電容器設(shè)備廠。當(dāng)時(shí)，他借了8萬(wàn)塊錢作為啟動(dòng)資金，租了一間150平方米的破倉(cāng)庫(kù)做工廠，僅雇了兩個(gè)60多歲的退休老工人，從三人公司做起。2002年，為了擴(kuò)大企業(yè)規(guī)模，王燕清設(shè)立無(wú)錫先導(dǎo)自動(dòng)化設(shè)備有限公司，擔(dān)任董事長(zhǎng)、總經(jīng)理，該公司后改名為“無(wú)錫先導(dǎo)智能裝備股份有限公司”。如今，先導(dǎo)智能已經(jīng)成長(zhǎng)為全球新能源裝備第一品牌，去年?duì)I收突破100億元，訂單突破200億元。
王燕清的妻子倪亞蘭出生于1970年11月，初中學(xué)歷，曾在2002年至2011年11月期間擔(dān)任無(wú)錫先導(dǎo)自動(dòng)化設(shè)備有限公司總經(jīng)理辦公室助理，后來(lái)先后無(wú)錫嘉鼎投資有限公司（上海卓遨前身）、欣導(dǎo)投資任職。2015年11月，微導(dǎo)納米的前身微導(dǎo)有限成立，注冊(cè)資本2000萬(wàn)元，王燕清出資1735.4萬(wàn)元，占股比近87%。2015年12月，倪亞蘭擔(dān)任微導(dǎo)有限董事，并從2017年12月開(kāi)始擔(dān)任微導(dǎo)有限總經(jīng)理一直到2019年12月。之后倪亞蘭擔(dān)任微導(dǎo)納米董事。王燕清與倪亞蘭的兒子王磊出生于1993年11月，本科學(xué)歷，畢業(yè)于新澤西州立大學(xué)計(jì)算機(jī)和數(shù)學(xué)專業(yè)。在喜開(kāi)理（中國(guó)）有限公司、恒云太工作歷練后，王磊從2018年10月開(kāi)始擔(dān)任微導(dǎo)有限董事長(zhǎng)，從2019年12月至今擔(dān)任微導(dǎo)納米董事長(zhǎng)。
王燕清為微導(dǎo)納米聘請(qǐng)了多位60后、80后技術(shù)專家及高管，作為兒子日后的左膀右臂。比如4名核心技術(shù)人員中，微導(dǎo)納米副董事長(zhǎng)、首席技術(shù)官LI WEI MIN（黎微明）出生于1967年，董事、副總經(jīng)理LI XIANG（李翔）出生于1981年，兩人均曾在ALD設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè)芬蘭Picosun公司及先導(dǎo)智能任職。微導(dǎo)納米半導(dǎo)體事業(yè)部工藝副總監(jiān)吳興華出生于1980年，曾在中芯國(guó)際擔(dān)任研發(fā)工程師；光伏事業(yè)部副總經(jīng)理許所昌出生于1985年，曾在中國(guó)臺(tái)灣工研院、昱晶能源、泰州中來(lái)光電就職。在管理層方面，微導(dǎo)納米總經(jīng)理ZHOU REN（周仁）出生于1963年，曾在泛林、中微半導(dǎo)體、科磊（KLA）、拓荊科技等多家中美半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)擔(dān)任重要工程職位。微導(dǎo)納米副總經(jīng)理胡彬出生于1983年，財(cái)務(wù)負(fù)責(zé)人俞瀟瑩出生于1984年，均曾是先導(dǎo)智能的高層。微導(dǎo)納米董事會(huì)秘書(shū)龍文出生于1988年，曾在天星資本、翼樸資本擔(dān)任投資經(jīng)理。王燕清也給對(duì)微導(dǎo)納米核心團(tuán)隊(duì)授予了豐厚的股權(quán)報(bào)酬，其董事、監(jiān)事、高級(jí)管理人員、核心技術(shù)人員直接持股份情況如下：
通過(guò)持有萬(wàn)海盈投資、聚海盈管理以及德厚盈投資的份額間接持股情況如下：
05.三闖IPO，寧德時(shí)代曾毓群、中芯國(guó)際參投
以下是微導(dǎo)納米前十大股東持股情況：
寧德時(shí)代創(chuàng)始人、董事長(zhǎng)曾毓群曾與王燕清旗下的先導(dǎo)智能有業(yè)務(wù)往來(lái)。曾毓群及其一致行動(dòng)人李平為寧德時(shí)代實(shí)際控制人，通過(guò)寧德時(shí)代控制問(wèn)鼎投資100%股份；曾毓群還持有瑞華投資100%股權(quán)。本次發(fā)行前，問(wèn)鼎投資、瑞華投資分別是微導(dǎo)納米的第7大股東、第9大股東，分別持股1.59%、1.33%。
中芯國(guó)際旗下中芯聚源紹興基金是微導(dǎo)納米第8大股東，持股1.33%。微導(dǎo)納米第11大股東上海君聯(lián)晟灝為聯(lián)想控股背景，持股1.03%。截至2022年6月30日，微導(dǎo)納米控股股東萬(wàn)海盈投資持有天芯微67.33%股權(quán)，倪亞蘭擔(dān)任天芯微董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理、王磊擔(dān)任天芯微董事。天芯微成立于2019年8月，從事硅外延設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，目前處于研發(fā)、驗(yàn)證階段。硅外延設(shè)備主要用于生長(zhǎng)單晶硅片，實(shí)現(xiàn)硅片表層向外延伸的目的。天芯微與微導(dǎo)納米產(chǎn)品存在明顯差別，不存在競(jìng)爭(zhēng)和替代性關(guān)系。
微導(dǎo)納米第3大股東聚海盈管理的普通合伙人為王磊，王磊持有聚海盈管理74.28%的財(cái)產(chǎn)份額；第10大股東德厚盈投資的普通合伙人為王燕清，王燕清、王磊分別持有德厚盈投資的21.00%、79.00%的財(cái)產(chǎn)份額。聚海盈管理、德厚盈投資為微導(dǎo)納米控股股東、實(shí)際控制人的一致行動(dòng)人。微導(dǎo)納米實(shí)際控制人控制的企業(yè)中，主要從事設(shè)備制造相關(guān)業(yè)務(wù)的有無(wú)錫先為、先導(dǎo)智能及其子公司。無(wú)錫先為主要研發(fā)外延片生產(chǎn)設(shè)備，先導(dǎo)智能及其子公司主要從事智能裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和銷售，與微導(dǎo)納米均不存在競(jìng)爭(zhēng)關(guān)系。
這是微導(dǎo)納米第三次沖擊IPO，首次IPO申請(qǐng)是2020年6月，2020年12月終止，第二次IPO于2021年8月終止。公司前次撤回申報(bào)的原因是報(bào)告期內(nèi)存在委托給關(guān)聯(lián)方先導(dǎo)智能委托經(jīng)營(yíng)管理的事項(xiàng)。微導(dǎo)納米稱，解除與先導(dǎo)智能的委托經(jīng)營(yíng)管理合作后，公司已經(jīng)規(guī)范運(yùn)營(yíng)滿兩年，不存在對(duì)控股股東、實(shí)際控制人及其控制的其他企業(yè)的業(yè)務(wù)依賴。
06.1臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備售價(jià)2520萬(wàn)元前五大客戶集中度高
2019年、2020年、2021年、2022年上半年，微導(dǎo)納米專用設(shè)備產(chǎn)量分別為50臺(tái)、75臺(tái)、81臺(tái)、42臺(tái)，銷量分別為38臺(tái)、59臺(tái)、59臺(tái)、32臺(tái)。
因?yàn)榭蛻趄?yàn)收周期較長(zhǎng)，其專用設(shè)備當(dāng)期產(chǎn)量與銷量的匹配存在一定的滯后性，在訂單快速增長(zhǎng)的背景下，產(chǎn)量將會(huì)高于銷量。其專用設(shè)備產(chǎn)品的平均售價(jià)及銷量情況如下：
報(bào)告期內(nèi)，微導(dǎo)納米已實(shí)現(xiàn)銷售收入的主要客戶群體包括晶硅太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)企業(yè)、半導(dǎo)體廠商及驗(yàn)證平臺(tái)等。
微導(dǎo)納米產(chǎn)品對(duì)光伏行業(yè)領(lǐng)先的電池片廠商實(shí)現(xiàn)了較高的客戶覆蓋率。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，微導(dǎo)納米是ALD設(shè)備行業(yè)內(nèi)極少數(shù)的新進(jìn)入者和國(guó)產(chǎn)廠商代表之一，先后獲得多家知名半導(dǎo)體公司的商業(yè)訂單。報(bào)告期內(nèi)，微導(dǎo)納米對(duì)前五名客戶的銷售金額合計(jì)分別為1.32億元、2.99億元、3.60億元、1.44億元，占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的比例分別為61.28%、95.66%、84.18%、92.97%。2022年1-6月，其向前五名客戶銷售情況如下：
報(bào)告期內(nèi)，微導(dǎo)納米、微導(dǎo)納米董事、監(jiān)事、高級(jí)管理人員或持有公司5%以上股份的股東與前五名客戶之間不存在關(guān)聯(lián)關(guān)系。報(bào)告期內(nèi)，微導(dǎo)納米進(jìn)口的核心元器件采購(gòu)金額分別為0.28億元、0.19億元、0.46億元、0.34億元，占采購(gòu)總額的比例分別為21.18%、7.87%、15.80%、12.45%。2022年1-6月，其前五名供應(yīng)商情況如下：
截至2022年6月末，微導(dǎo)納米采購(gòu)的外腔體、加熱爐體、石英管、石墨舟、爐管均為國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品，氣路支板裝配體、源瓶、等離子體電源等原材料采購(gòu)已基本實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，臭氧發(fā)生器、氣動(dòng)閥件、真空壓力計(jì)等需全部或部分從國(guó)外進(jìn)口。2022年6月末，微導(dǎo)納米流動(dòng)資產(chǎn)為16.16億元，其中貨幣資金為2.63億元，流動(dòng)負(fù)債為8.61億元，營(yíng)運(yùn)資本為7.54億元，公司所有者權(quán)益合計(jì)8.45億元。
07.結(jié)語(yǔ)：國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備商迎來(lái)關(guān)鍵發(fā)展機(jī)遇
全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)集中度較高，前十大半導(dǎo)體設(shè)備制造商主要集中在美國(guó)、日本和荷蘭。根據(jù)VLSI Research數(shù)據(jù)，2020年全球半導(dǎo)體設(shè)備前十名廠商合計(jì)實(shí)現(xiàn)銷售收入708億美元，市占率為76.63%。中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商因發(fā)展起步較晚，目前尚未進(jìn)入全球行業(yè)前列。雖然微導(dǎo)納米為少數(shù)進(jìn)入半導(dǎo)體領(lǐng)域的ALD國(guó)產(chǎn)廠商，但目前占半導(dǎo)體設(shè)備整體市場(chǎng)份額的比例較低。2020年、2021年，中國(guó)大陸市場(chǎng)約占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)比例分別為26.30%、28.87%。
中國(guó)大陸已成為全球第一大半導(dǎo)體設(shè)備需求市場(chǎng)。據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2013-2021年半導(dǎo)體設(shè)備在大陸銷售額的年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)到31.07%。2021年，中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備的銷售額達(dá)到296.2億美元，同比增長(zhǎng)58.23%，發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁?！吨袊?guó)制造2025》對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化提出明確要求：在2020年前，90-32nm工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到50%，實(shí)現(xiàn)90nm光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化，封測(cè)關(guān)鍵設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到50%。在2025年前，20-14nm工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到30%，實(shí)現(xiàn)浸沒(méi)式光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化。
伴隨著國(guó)家鼓勵(lì)類產(chǎn)業(yè)政策和產(chǎn)業(yè)投資基金不斷的落實(shí)與實(shí)施，國(guó)內(nèi)新建、擴(kuò)建生產(chǎn)線以及國(guó)產(chǎn)化替代的需求快速增長(zhǎng)，以及國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品的技術(shù)性能不斷提升，集成電路制造的設(shè)備端國(guó)產(chǎn)替代趨勢(shì)明顯，本土半導(dǎo)體及其設(shè)備制造業(yè)迎來(lái)了前所未有的發(fā)展契機(jī)。而薄膜沉積設(shè)備作為半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備，將會(huì)迎來(lái)巨大的進(jìn)口替代市場(chǎng)空間。
