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與中科院微電子所頗有淵源，市值逾200億元。
今日，深圳高端半導體質(zhì)量控制設(shè)備公司中科飛測成功登陸科創(chuàng)板。
中科飛測的發(fā)行價為23.60元/股，發(fā)行市盈率為14.83倍。今日上市后，其股價開盤上漲179.66%至66.00元/股，最高上漲203.64%至71.66元/股。截至10點05分，其股價為66.06元/股，漲幅為179.92%，市值逾210億元。
其有限公司成立于2014年12月，股份公司成立于2020年12月。中科飛測始終專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。其產(chǎn)品主要包括無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備系列、圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備系列、三維形貌量測設(shè)備系列、薄膜膜厚量測設(shè)備系列等，已應(yīng)用于國內(nèi)28nm及以上制程的集成電路制造產(chǎn)線。
該公司主要根據(jù)銷售訂單及銷售預測進行生產(chǎn)，并主要通過直銷模式進行產(chǎn)品和服務(wù)銷售，主要產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用在中芯國際、長江存儲、士蘭集科、長電科技、華天科技、通富微電等國內(nèi)主流集成電路制造產(chǎn)線，打破在質(zhì)量控制設(shè)備領(lǐng)域國際設(shè)備廠商對國內(nèi)市場的長期壟斷局面。
蘇州翌流明是中科飛測的控股股東，中科院微電子所、華為哈勃投資均在其股東之列。中科飛測的實際控制人CHEN LU（陳魯）、哈承姝為夫妻關(guān)系。包括CHEN LU（陳魯）在內(nèi)的3名中科飛測核心技術(shù)人員都曾在中科院微電子所任職。
本次IPO，中科飛測擬募資10億元，投入高端半導體質(zhì)量控制設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目、研發(fā)中心升級建設(shè)項目、補充流動資金。
檢測&量測：保證芯片生產(chǎn)良品率非常關(guān)鍵
質(zhì)量控制設(shè)備是芯片制造的核心設(shè)備之一。質(zhì)量控制貫穿集成電路制造全過程，是保證芯片生產(chǎn)良品率非常關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。
集成電路質(zhì)量控制包括前道檢測、中道檢測和后道測試，國內(nèi)多家公司涉及后道測試，涉及前道檢測和中道檢測的相對較少。中科飛測主要向集成電路前道制程、先進封裝等企業(yè)以及相關(guān)設(shè)備、材料廠商提供關(guān)鍵質(zhì)量控制設(shè)備。
其檢測和量測設(shè)備能夠?qū)ι鲜銎髽I(yè)的生產(chǎn)過程進行全面質(zhì)量控制和工藝檢測，助推客戶提升工藝技術(shù)、提高良品率、實現(xiàn)降本增效的目標。
▲中科飛測主要產(chǎn)品演變和技術(shù)發(fā)展的情況
目前，我國半導體檢測與量測設(shè)備市場中國產(chǎn)化率較低，科磊半導體、應(yīng)用材料、日立作為中國市場前三大企業(yè)，合計市場份額占比超過70%。中科飛測及國內(nèi)主要競爭對手占國內(nèi)市場的份額整體較小，但呈現(xiàn)快速增長趨勢。
▲2016-2020年全球和中國大陸半導體（檢測和量測）設(shè)備市場情況
2016年至2020年，全球和中國大陸地區(qū)半導體設(shè)備和檢測與量測設(shè)備市場處于快速發(fā)展期，中國大陸地區(qū)半導體設(shè)備市場和檢測與量測市場增長顯著高于全球市場增長。
中科飛測國內(nèi)競爭對手主要為上海睿勵和上海精測。鑒于目前無公開統(tǒng)計國內(nèi)企業(yè)的市場占有率情況，故無法直接獲取中科飛測及相關(guān)競爭對手市場占有率情況。下文以銷售收入占市場規(guī)模比例的方式對國內(nèi)企業(yè)市場占有率進行模擬測算，中科飛測市場占有率增長較快，由2018年的0.35%增長至2020年的1.74%，在中國大陸半導體檢測和量測設(shè)備市場具有相對競爭優(yōu)勢。
三年半收入7.76億元
2019年、2020年、2021年、2022年1~6月，中科飛測營收分別為0.56億元、2.38億元、3.61億元、1.21億元；凈利潤分別為-0.97億元、0.40億元、0.53億元、-0.32億元。
▲2019年至2022年上半年中科飛測營收、凈利潤、研發(fā)費用變化（單位：億元，芯東西制表）
同期研發(fā)投入占營收的比例分別為100.01%、19.43%、26.36%、72.28%。
▲2019年至2022年上半年中科飛測主營業(yè)務(wù)收入分布變化（芯東西制表）
分設(shè)備類型來看，檢測設(shè)備的收入占比逐年上升，量測設(shè)備的收入占比從近四成降至兩成。檢測設(shè)備的毛利率高于量測設(shè)備。
其各產(chǎn)品的產(chǎn)量和銷量情況如下：
報告期內(nèi)，中科飛測與可比公司的綜合毛利率對比情況如下：
2019年，中科飛測銷售的設(shè)備以基礎(chǔ)型號為主，且尚處于發(fā)展初期、經(jīng)營規(guī)模較小，毛利率整體低于同行業(yè)平均水平。隨著其升級型號設(shè)備的不斷推出、經(jīng)營規(guī)模逐步擴大，2020年度其毛利率達到同行業(yè)平均水平，2021年度及2022年1~6 月毛利率較高的檢測設(shè)備為主，毛利率繼續(xù)上升。
報告期內(nèi)，同行業(yè)可比公司（剔除華峰測控后）綜合毛利率平均值總體呈現(xiàn)上升趨勢，中科飛測綜合毛利率變動趨勢與可比公司基本一致。報告期各期末，其存貨賬面價值分別為0.79億元、1.79億元、5.39億元、8.29億元，存貨規(guī)模較大。
對應(yīng)1Xnm產(chǎn)線的設(shè)備正在研發(fā)對應(yīng)2Xnm以下產(chǎn)線的設(shè)備正在驗證
截至2022年6月30日，中科飛測共有676名員工，其中研發(fā)人員共298人，占比為44.08%。
該公司承擔了多項國家級、省級和市級科研項目，并獲得一定規(guī)模的政府補助，各期政府補助確認的其他收益金額分別為0.23億元、0.38億元、0.48億元、0.41億元。
技術(shù)水平方面，根據(jù)國內(nèi)競爭對手公司官網(wǎng)及公開披露信息，上海睿勵自主研發(fā)的12英寸光學測量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品，正在14nm芯片生產(chǎn)線進行驗證，尚未披露設(shè)備完成驗收信息；上海精測推出的首款半導體電子束檢測設(shè)備正在進行 1Xnm驗證，尚未披露設(shè)備完成驗收信息。
中科飛測已有多臺設(shè)備在28nm產(chǎn)線通過驗收，另有對應(yīng)1Xnm產(chǎn)線的SPRUCE-900型號設(shè)備正在研發(fā)中，對應(yīng)2Xnm以下產(chǎn)線的DRAGONBLOOD-600型號設(shè)備正在產(chǎn)線進行驗證，并已取得兩家客戶的訂單。
綜上，中科飛測業(yè)務(wù)規(guī)模高于其他國內(nèi)競爭對手，技術(shù)研發(fā)均向2Xnm以下節(jié)點推進，處于國內(nèi)領(lǐng)先地位。
其部分員工曾于中科院微電子所與中科飛測處雙邊任職。報告期內(nèi)，中科飛測存在與中科院微電子所合作研發(fā)、與中科院微電子所等其他單位分別共同申報科研課題項目的情況。
產(chǎn)品落地中芯國際、士蘭集科、長電科技、華天科技、長江存儲、藍思科技
半導體檢測與量測設(shè)備市場部分客戶存在招投標的情況，相關(guān)招投標結(jié)果在一定程度上可以反映公司的領(lǐng)先優(yōu)勢和市場占有率情況。
根據(jù)光大證券發(fā)布的研究報告《國內(nèi)半導體設(shè)備招投標月度數(shù)據(jù)跟蹤第7期（2022年01月）》及公開招投標信息整理，2021年度國內(nèi)主流廠商公開招標前道檢測及量測設(shè)備185臺，其中中科飛測中標設(shè)備14臺，其國內(nèi)主要競爭對手中標設(shè)備1臺，中科飛測處于國內(nèi)同行業(yè)企業(yè)領(lǐng)先地位，具體情況如下表所示：
中科飛測的客戶主要為集成電路前道制程、先進封裝等領(lǐng)域知名企業(yè)。其檢測設(shè)備的主要代表客戶有中芯國際、士蘭集科、長電科技、華天科技，量測設(shè)備的主要代表客戶有長江存儲、長電科技、華天科技、藍思科技。
報告期內(nèi)，中芯國際一直是中科飛測的前五大客戶之一，中科飛測向前五大客戶合計銷售金額占當期銷售總額的比例分別為72.72%、51.21%、44.32%、65.06%，不存在向單個客戶的銷售比例超過公司當年銷售總額的50%或嚴重依賴于少數(shù)客戶的情形。
2022年1-6月，中科飛測前五大客戶中華海清科為公司董事劉臻擔任監(jiān)事的企業(yè)，非中科飛測關(guān)聯(lián)方。除此之外，中科飛測、中科飛測董事、監(jiān)事、高級管理人員或持有中科飛測5%以上股份的股東與前五大客戶之間不存在關(guān)聯(lián)關(guān)系。
報告期內(nèi)，中科飛測向前五大供應(yīng)商合計采購金額占當期采購總額的比例分別為35.69%、41.07%、37.08%、38.26%，不存在向單個供應(yīng)商的采購比例超過公司當年采購總額50%或嚴重依賴于少數(shù)供應(yīng)商的情形。
中科飛測、中科飛測董事、監(jiān)事、高級管理人員或持有中科飛測5%以上股份的股東與報告期內(nèi)的前五大供應(yīng)商之間不存在關(guān)聯(lián)關(guān)系。
中科飛測所需原材料主要為運動與控制系統(tǒng)類、光學類等零部件，已與樂孜公司、華卓精科等行業(yè)內(nèi)知名企業(yè)建立了穩(wěn)定的供應(yīng)合作關(guān)系。其核心零部件的供應(yīng)商主要為有產(chǎn)品優(yōu)勢的知名企業(yè)，其中EFEM和機械手主要來源于境外采購。
中科飛測相關(guān)核心零部件不存在單一依賴。報告期內(nèi)，其采購材料金額分別為0.70億元、2.17億元、5.18億元、3.42億元，采購規(guī)模總體呈現(xiàn)增長的態(tài)勢；其中采購EFEM和機械手的金額分別為0.17億元、0.42億元、0.88億元、0.63億元，占采購總額的比例分別為23.76%、19.40%、17.09%、18.29%。
蘇州翌流明為控股股東中科院微電子所、華為哈勃參投
截至招股書簽署日，蘇州翌流明直接持有中科飛測15.75%的股份，通過小納光間接控制中科飛測7.86%的股份，合計控制中科飛測股份總數(shù)的23.61%，為中科飛測控股股東。小納光為中科飛測員工持股平臺。
中科飛測的國有股東包括中科院微電子所和深創(chuàng)投，其中中科院微電子所是其第八大股東，持股4.84%；華為旗下投資公司哈勃投資是其第十二大股東，持股3.30%。
CHEN LU（陳魯）、哈承姝夫婦直接和間接合計持股30.54%股份，為中科飛測實際控制人。同時CHEN LU（陳魯）、哈承姝為中科飛測董事會或管理層核心成員。中科飛測董事陳克復是與CHEN LU（陳魯）是父子關(guān)系。
CHEN LU（陳魯）出生于1977年，美國國籍，本科畢業(yè)于中國科學技術(shù)大學少年班物理學專業(yè)，博士畢業(yè)于美國布朗大學物理學專業(yè)，在2010年3月至2016年8月期間曾任中科院微電子所研究員、博士生導師，現(xiàn)為中科飛測董事長。
哈承姝也出生于1977年，中國國籍，擁有香港永久居留權(quán)，碩士畢業(yè)于耶魯大學國際和發(fā)展經(jīng)濟學專業(yè)，博士畢業(yè)于美國華盛頓大學職業(yè)法律專業(yè)，現(xiàn)為中科飛測董事兼總經(jīng)理。
目前中科飛測有3名核心技術(shù)人員，分別是董事長CHEN LU（陳魯）、首席科學家黃有為、首席科學家楊樂。2012年至2016年期間，三人均曾在中科院微電子所任職。
該公司現(xiàn)任董事、監(jiān)事、高級管理人員及核心技術(shù)人員最近一年從中科飛測及關(guān)聯(lián)企業(yè)領(lǐng)取薪酬的情況如下：
結(jié)語：半導體檢測與量測設(shè)備國產(chǎn)化率有望加速提升
當前主流半導體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，部分先進芯片制造商已實現(xiàn)5nm量產(chǎn)并開始3nm的研發(fā)，三維FinFET晶體管、3D NAND等新技術(shù)逐漸成業(yè)內(nèi)主流技術(shù)。隨著工藝不斷進步，產(chǎn)品制程步驟越來越多，微觀結(jié)構(gòu)逐漸復雜，生產(chǎn)成本呈指數(shù)級提升。
為了獲取盡量高的晶圓良品率，必須嚴格控制晶圓之間、同一晶圓上的工藝一致性，因此對集成電路生產(chǎn)過程中的質(zhì)量控制需求將越來越大。未來檢測和量測設(shè)備需在靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量等指標上進一步提升，保證每道工藝均落在容許的工藝窗口內(nèi)，保證整條生產(chǎn)線平穩(wěn)連續(xù)的運行。
目前國內(nèi)半導體市場處于高速增長期，本土企業(yè)存在較大的國產(chǎn)化空間。在我國半導體量測檢測設(shè)備國產(chǎn)化率相對較低的情況下，中科飛測作為國內(nèi)半導體設(shè)備行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)之一，在中國大陸半導體檢測和量測設(shè)備市場具有相對競爭優(yōu)勢。
在國產(chǎn)化需求緊迫、研發(fā)投入持續(xù)提升的大環(huán)境下，近年來國內(nèi)企業(yè)在檢測與量測領(lǐng)域突破較多，受益于國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)鏈的迅速發(fā)展，該領(lǐng)域國產(chǎn)化率有望在未來幾年加速提升。
作者 | ZeR0
編輯 | 漠影
