全自動(dòng)金剛石生長(zhǎng)爐研發(fā)成功，晶盛機(jī)電破解“終極半導(dǎo)體”材料

近日，晶盛機(jī)電技術(shù)研發(fā)再次突破，成功研發(fā)出全自動(dòng)金剛石生長(zhǎng)爐。

金剛石晶體生長(zhǎng)爐成功研制

晶體生長(zhǎng)設(shè)備家族再添新成員

官方消息稱，晶盛機(jī)電晶體實(shí)驗(yàn)室經(jīng)過(guò)半年多的工藝測(cè)試，全自動(dòng)MPCVD法生長(zhǎng)金剛石設(shè)備（型號(hào)XJL200A）成功生長(zhǎng)出高品質(zhì)寶石級(jí)的金剛石晶體。

圖片來(lái)源：晶盛機(jī)電

據(jù)介紹，此次XJL200A金剛石生長(zhǎng)爐成功解決了傳統(tǒng)的MPCVD培育鉆石生長(zhǎng)技術(shù)的行業(yè)痛點(diǎn)：對(duì)多晶及生長(zhǎng)裂紋等缺陷的判斷、對(duì)晶體溫度和生長(zhǎng)厚度等關(guān)鍵生長(zhǎng)參數(shù)的控制都依賴人工判斷，克服了目前人工培育鉆石過(guò)程中質(zhì)量控制和規(guī)?；a(chǎn)的瓶頸。

圖片來(lái)源：晶盛機(jī)電

作為碳化硅、氮化鎵之后具有代表性的新一代半導(dǎo)體材料，金剛石晶體又稱鉆石，被譽(yù)為“終極半導(dǎo)體”材料，此次金剛石晶體生長(zhǎng)爐成功研制，標(biāo)志著晶盛機(jī)電在硅、藍(lán)寶石、碳化硅等晶體生長(zhǎng)設(shè)備家族再添新成員。

據(jù)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人表示，目前已經(jīng)完成了設(shè)備定型和批量工藝開發(fā)，設(shè)備即將投放市場(chǎng)，能為客戶提供一站式解決方案。

23萬(wàn)片意向訂單在手

50億SiC襯底晶片項(xiàng)目即將開工

資料顯示，晶盛機(jī)電是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體材料裝備和LED襯底材料制造的高新技術(shù)企業(yè)，主要圍繞硅、碳化硅、藍(lán)寶石三大主要半導(dǎo)體材料開展業(yè)務(wù)。

近年來(lái)，晶盛機(jī)電順應(yīng)行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，提早布局碳化硅晶片市場(chǎng)。目前，該公司碳化硅外延設(shè)備已通過(guò)客戶驗(yàn)證，同時(shí)在6英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)、切片、拋光環(huán)節(jié)建立測(cè)試線，其6英寸碳化硅晶片已獲得客戶驗(yàn)證。

晶盛機(jī)電此前在投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表中披露，截至2022年2月7日，客戶A已與公司形成采購(gòu)意向，2022年-2025年公司將優(yōu)先向其提供碳化硅襯底合計(jì)不低于23萬(wàn)片。

圖片來(lái)源：晶盛機(jī)電

此外，為加快推進(jìn)第三代半導(dǎo)體材料碳化硅業(yè)務(wù)，2月7日，晶盛機(jī)電發(fā)布公告稱，擬募集資金不超過(guò)57億元，其中擬投入31.34億元在寧夏銀川建設(shè)碳化硅襯底晶片生產(chǎn)基地項(xiàng)目。

圖片來(lái)源：晶盛機(jī)電

2月25日，晶盛機(jī)電碳化硅襯底晶片生產(chǎn)項(xiàng)目正式落戶寧夏。據(jù)央廣網(wǎng)報(bào)道，該項(xiàng)目總投資50億元，一期預(yù)計(jì)3月開工建設(shè)，投資總額33.6億元，一期建成達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)年產(chǎn)6英寸碳化硅晶片40萬(wàn)片。