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晶圓廠中dummy片,測試片,真片的區(qū)別是什么?

06/18 12:50
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知識星球(星球名:芯片制造與封測技術(shù)社區(qū),星球號:63559049)里的學(xué)員問:看資料有了解到晶圓廠中有dummy wafer,test wafer,真片的叫法,這幾種片子各自有什么作用嗎?

dummy wafer

dummy的英文直譯為“假的,仿真的”,dummy wafer也可以叫做假片。一般是沒有圖形,或只有若干層圖形,主要的應(yīng)用場景:

1,用于半導(dǎo)體設(shè)備的調(diào)試和校準(zhǔn),確保設(shè)備在正式生產(chǎn)前處于最佳狀態(tài)。

2,在引入新工藝或調(diào)整現(xiàn)有工藝時,使用dummy片進行測試和優(yōu)化,減少對量產(chǎn)片造成的風(fēng)險。

test?wafer

測試片(工程片)具有完整的工藝流程,包含了各種圖形和結(jié)構(gòu)的晶圓。

主要作用:

1,在新的芯片產(chǎn)品導(dǎo)入過程中,使用測試片驗證和優(yōu)化新產(chǎn)品的制造工藝,最終實現(xiàn)量產(chǎn)。

2,當(dāng)產(chǎn)線上的量產(chǎn)晶圓出現(xiàn)工藝問題時,做相應(yīng)的DOE試驗以改善工藝。

量產(chǎn)晶圓

量產(chǎn)晶圓用于生產(chǎn)需要給客戶出貨的半導(dǎo)體器件等,量產(chǎn)晶圓在生產(chǎn)過程中進行嚴(yán)格的質(zhì)量控制,確保產(chǎn)品符合客戶要求能要求。

Dummy片(Dummy Wafer): Dummy片通常是由類似晶圓的材料制成,但并不具有電路元件。它們主要用作充填或填充工藝上的支撐或協(xié)助,以幫助維持生產(chǎn)設(shè)備的平衡和穩(wěn)定性。

測試片(Test Wafer): 測試片是用于測試生產(chǎn)過程中設(shè)備性能和產(chǎn)品質(zhì)量的樣品,通常包含一些標(biāo)準(zhǔn)測試結(jié)構(gòu)或器件。測試片用于驗證設(shè)備運行情況、檢查生產(chǎn)工藝以及確保產(chǎn)品符合規(guī)格要求。

真片(Production Wafer): 真片是指用于批量生產(chǎn)芯片或其他電子器件的正式晶圓。這些真片上包含著完整的電路設(shè)計和結(jié)構(gòu),經(jīng)過加工后成為最終的產(chǎn)品。

為什么要分這幾類晶圓?

主要是從成本與重要性考慮。成本/重要性:量產(chǎn)晶圓>test wafer>dummy wafer.量產(chǎn)晶圓是要出貨給客戶,是整個公司的經(jīng)濟命脈,因此要保證量產(chǎn)晶圓高質(zhì)高量地完成生產(chǎn)任務(wù)。工藝參數(shù),工藝流程相對比較固定。任何改動都要確保100%的安全性。因此衍生出了一些成本較低,靈活性較強的dummy wafer,ENG wafer以避免對量產(chǎn)晶圓的浪費!

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