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微納加工

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  • 無掩膜光刻機,微納加工的下一個答案?
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    第十四屆中國國際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(簡稱“納博會”)在萬眾矚目中圓滿落下了帷幕。這場全球納米科技領(lǐng)域盛會,以1場主報告、13場分論壇、1場創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽,1場新產(chǎn)品發(fā)布會為主,匯聚了全球納米科技領(lǐng)域的18位院士,450多位高校研究院所、上市公司、知名企業(yè)機構(gòu)的頂級專家代表出席,分享專業(yè)報告476場,較往屆增加132場,同比增長約33%,吸引9663位嘉賓參會聽會。
  • 為灣區(qū)強“芯”!廣東微納院半導體微納加工中試平臺正式通線
    7月11日,凝聚“芯”動能,共筑“芯”高地——廣東中科半導體微納制造技術(shù)研究院(以下簡稱“廣東微納院”)半導體微納加工中試平臺通線暨項目簽約儀式在佛山南海舉行。會上,廣東微納院半導體微納加工中試平臺通線,二期產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)正式封頂,一批半導體項目現(xiàn)場簽約,為灣區(qū)半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入“芯”動能。 中國科學院蘇州納米所黨委書記鄧強,廣東省科技廳二級巡視員夏奇峰,佛山市副市長陳新文,南海區(qū)委副書記、區(qū)長王勇,
  • 飛秒激光光絲遠程傳感與微納加工
    超快強激光因其超高峰值功率、超短脈寬等特點,在大氣(或其它光學介質(zhì))中傳輸時,會形成一個絲狀高光功率密度等離子通道,被形象地稱為“光絲”,在多相態(tài)物質(zhì)探測和分析、不規(guī)則材料表面微納加工等領(lǐng)域擁有重要應(yīng)用潛力。獲得國內(nèi)發(fā)明專利10余項,發(fā)表文章100余篇。
  • 濕法刻蝕
    濕法刻蝕是一種常見的微納加工技術(shù),用于在半導體制造和微電子領(lǐng)域中對材料表面進行精確的刻蝕。通過將待刻蝕的材料浸泡在化學溶液中,利用化學反應(yīng)來去除或改變材料表面的特定區(qū)域,實現(xiàn)微結(jié)構(gòu)的制作。本文將介紹濕法刻蝕的定義、原理、應(yīng)用、優(yōu)缺點以及相關(guān)安全措施。

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