為灣區(qū)強“芯”！廣東微納院半導(dǎo)體微納加工中試平臺正式通線

7月11日，凝聚“芯”動能，共筑“芯”高地——廣東中科半導(dǎo)體微納制造技術(shù)研究院（以下簡稱“廣東微納院”）半導(dǎo)體微納加工中試平臺通線暨項目簽約儀式在佛山南海舉行。會上，廣東微納院半導(dǎo)體微納加工中試平臺通線，二期產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)正式封頂，一批半導(dǎo)體項目現(xiàn)場簽約，為灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入“芯”動能。

中國科學(xué)院蘇州納米所黨委書記鄧強，廣東省科技廳二級巡視員夏奇峰，佛山市副市長陳新文，南海區(qū)委副書記、區(qū)長王勇，佛山高新區(qū)黨工委副書記、管委會主任胡學(xué)駿及市區(qū)相關(guān)部門，合作高校、院所、企業(yè)代表超180人參會。

圖 活動現(xiàn)場

中試平臺通線，一批項目簽約

為灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入“芯”動能

廣東微納院是由佛山市、南海區(qū)兩級政府共同建設(shè)，中國科學(xué)院蘇州納米所支持的廣東省省屬事業(yè)單位，建設(shè)半導(dǎo)體材料外延生長、芯片加工、封裝測試等全鏈條中試平臺，為佛山市半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)強鏈延鏈、大灣區(qū)“芯”動能高質(zhì)量發(fā)展提供技術(shù)平臺支撐。

圖 廣東微納院半導(dǎo)體微納加工中試平臺通線儀式

據(jù)介紹，平臺具備8吋硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力，2-8吋氮化鎵基材料外延生長能力，其中晶圓加工產(chǎn)能為8吋5000片/月，材料外延生長總產(chǎn)能為4吋4000片/月。活動當(dāng)天，廣東微納院與蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司、科大訊飛股份有限公司、中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所等12家企業(yè)、科研院所簽訂中試合作協(xié)議。

“希望廣東微納院繼續(xù)加強科研攻關(guān)和中試平臺工藝能力建設(shè)，努力實現(xiàn)引領(lǐng)性原創(chuàng)性技術(shù)突破，加快重大科技成果高效轉(zhuǎn)化和迭代應(yīng)用，探索建立科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新互促互強的半導(dǎo)體向‘新’生態(tài)?！敝袊茖W(xué)院蘇州納米所黨委書記鄧強表示。

自廣東微納院成立以來，已為百余家科研院所、高校和企業(yè)提供技術(shù)服務(wù)和人才輸出，獲得了業(yè)屆的廣泛認(rèn)可，成為廣東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要支撐平臺之一。廣東省科技廳二級巡視員夏奇峰表示，中試平臺是連接實驗室與產(chǎn)業(yè)界的橋梁，希望廣東微納院繼續(xù)發(fā)揚創(chuàng)新引領(lǐng)精神，不斷提升產(chǎn)業(yè)輻射策源能力，為廣東省和大灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展注入新動能。

產(chǎn)業(yè)園建設(shè)提速

打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚強磁場

依托半導(dǎo)體中試平臺，廣東微納院于2023年啟動二期建設(shè)。二期定位為產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)，建設(shè)6萬㎡專業(yè)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預(yù)計2025年一季度進入試運行階段，將打造成為華南地區(qū)潔凈面積最大、產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋最全的專業(yè)化技術(shù)驅(qū)動型主題園區(qū)?，F(xiàn)場舉行了簡單而隆重的封頂儀式，6家企業(yè)與廣東微納院簽訂了意向落戶協(xié)議。

圖 二期產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)封頂儀式

會上，廣東微納院副院長王暉介紹半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園規(guī)劃與建設(shè)情況。

“當(dāng)前廣東微納院已構(gòu)建了‘一核五園多要素’平臺格局，除了中試平臺通線及二期項目封頂外，研究院將推進三期項目規(guī)劃，持續(xù)配備更多半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)相關(guān)設(shè)備，引進培育一批半導(dǎo)體上下游產(chǎn)業(yè)企業(yè)，打造成半導(dǎo)體全鏈條產(chǎn)業(yè)服務(wù)平臺?！蓖鯐煴硎?，在地方政府的支持規(guī)劃下，圍繞廣東微納院的臨近地塊都可以為企業(yè)落地提供支持，將有望打造形成全廣東省乃至華南地區(qū)最適合發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的集聚區(qū)域。未來，廣東微納院將不斷擴展產(chǎn)業(yè)版圖，打造成為具有全國影響力的集產(chǎn)業(yè)孵化、人才培養(yǎng)、芯片制造等要素的科創(chuàng)平臺。

佛山市副市長陳新文表示，作為市首批中試平臺授牌單位之一，希望廣東微納院繼續(xù)發(fā)揮引領(lǐng)龍頭作用，深化半導(dǎo)體中試平臺+產(chǎn)業(yè)孵化育成的創(chuàng)新模式，為企業(yè)解決技術(shù)瓶頸和難題，推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高層次、更廣領(lǐng)域發(fā)展。

此外，廣東微納院與華南師范大學(xué)工學(xué)部還舉行了合作簽約儀式，并與廣東綠展科技有限公司、廣東匯芯半導(dǎo)體有限公司、廣東鴻浩半導(dǎo)體設(shè)備有限公司等三家企業(yè)分別達成產(chǎn)學(xué)研合作，多方將開展多層次、多形式的合作，加速人才鏈、創(chuàng)新鏈和產(chǎn)業(yè)鏈的深度融合，實現(xiàn)科技與產(chǎn)業(yè)雙向奔赴。