射頻電源

• 射頻電源的頻率對(duì)刻蝕有什么影響？
  學(xué)員問：干法刻蝕中，射頻電源的功率與頻率對(duì)刻蝕結(jié)果都有哪些影響？什么是RF的功率與頻率？RF功率（RF Power）,是指射頻電源提供給等離子體系統(tǒng)的能量大小，用于等離子體的產(chǎn)生和穩(wěn)定,通常以瓦特（W）為單位。RF頻率（RF Frequency）,是指射頻電場(chǎng)的振蕩頻率，通常以赫茲（Hz）為單位。

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  12/16 10:15

  刻蝕工藝 射頻電源
• 射頻電源的頻率與等離子體能量，密度的關(guān)系？
  

  學(xué)員問：等離子刻蝕機(jī)臺(tái)的頻率有13.56MHz，2.45GHz等，頻率的大小的不同會(huì)對(duì)造成什么影響？該怎么選用。射頻電源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蝕、去膠、PVD、干法清洗等設(shè)備中，起到激發(fā)等 離子體、選擇刻蝕方向等作用。

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  07/01 13:25

  射頻電源 等離子體
• 射頻電源的結(jié)構(gòu)及應(yīng)用領(lǐng)域
  射頻（Radio Frequency，RF）電源是指在無線電頻率范圍內(nèi)工作并提供射頻功率輸出的電源設(shè)備。它在通信、醫(yī)療、科學(xué)研究和工業(yè)制造都有廣泛的應(yīng)用。

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  12/17 16:01

  射頻 射頻電源

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