晶圓劃片用的UV膠帶有幾層？

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術(shù)社區(qū)，星球號：63559049）里的學(xué)員問：麻煩講講晶圓劃片UV膠帶的作用和構(gòu)造。

什么是晶圓劃片UV膠帶？

UV膠帶具有較高的粘附力，主要作用是在劃片過程中固定晶圓，防止晶圓移動，并且能將切完后一粒粒的芯片固定在膜上，不至于被切割的水流沖走。在切割完成后，膠帶會被UV光源照射。UV光照射后，膠帶的粘性會顯著降低，便于后續(xù)從膠帶上輕松取下已切割的芯片。

UV膠帶失粘原理？

原理有很多，其中一種是：UV膠中含有不飽和鍵，這些基團在紫外光照射下，會吸收能量，激發(fā)成高能狀態(tài)。這種激發(fā)狀態(tài)會促使分子鏈發(fā)生斷裂，導(dǎo)致分子間的相互作用力減弱，降低了膠帶粘接力。

UV膠帶構(gòu)造？

主要由三層組成，即PET基材層，UV膠層，離型膜層。PET Backing：PET基材具有優(yōu)異的物理強度和耐高溫性能。UV Release Adhesive：這是膠帶的粘性層，uv光照后的失黏層。Release Liner：在使用前保護UV膠層，防止被污染。離型膜在使用時被剝離，暴露出UV膠層，以便貼合晶圓。

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