年報觀察：國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備要起飛了？

進入4月，更多半導(dǎo)體上市企業(yè)陸續(xù)披露了2022年年報。

對于全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來說，2022年是充滿不確定性的一年——消費疲軟尚未見底、產(chǎn)業(yè)發(fā)展受地緣政治沖突以及通貨膨脹掣肘。

因而，2022年同時也是尋找確定性的一年——強化半導(dǎo)體本土供應(yīng)鏈成為大國當(dāng)務(wù)之急，半導(dǎo)體企業(yè)持續(xù)加碼汽車、新能源等新賽道。

在這樣一個產(chǎn)業(yè)周期交替，充滿了挑戰(zhàn)與機遇的2022年，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局發(fā)生了什么變化？取得哪些方面的進步？又面臨著哪些挑戰(zhàn)呢？

透過2022年年報，我們或許可以一窺國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的上述變化。為此，芯師爺推出“國內(nèi)半導(dǎo)體上市企業(yè)年報觀察”專題，此為第一期，主要聚焦國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備上市企業(yè)。

目前，A股半導(dǎo)體設(shè)備公司中，已有超10家企業(yè)披露了2022年年報、業(yè)績快報或業(yè)績預(yù)告。營收大幅增長、訂單創(chuàng)新高成為這些年報/業(yè)績快報/業(yè)績預(yù)告中的高頻詞和關(guān)鍵詞。

其中，多家A股半導(dǎo)體設(shè)備公司凈利潤增長超100%，包括中微公司、拓荊科技、芯源微、盛美上海、北方華創(chuàng)、華海清科等。

此外，多家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)表示，在手訂單飽滿，為后續(xù)業(yè)績增長提供保障。其中，中微公司2022年新簽訂單同比增長超50%；拓荊科技新增訂單同比增加 95%；芯源微表示，前道涂膠顯影機已陸續(xù)開始放量，將迎來批量訂單的增長拐點。

對于營收大幅增長的原因，多家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)都提及系國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備需求增加，產(chǎn)品市場占有率持續(xù)提升。

對此，東吳證券認為，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在薄膜沉積、刻蝕、量/檢測、CMP、清洗等領(lǐng)域均已具備一定先進制程設(shè)備技術(shù)積淀，在海外制裁升級背景下，半導(dǎo)體設(shè)備進口替代邏輯持續(xù)強化，看好晶圓廠加速國產(chǎn)設(shè)備導(dǎo)入，2023年半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率提升有望超出市場預(yù)期。此外，擴產(chǎn)預(yù)期上修疊加產(chǎn)業(yè)拐點臨近，2024年半導(dǎo)體設(shè)備需求有望加速放量。

中微公司：2022年是經(jīng)營成績最好的一年

3月30日，中微公司發(fā)布2022年年度報告。

報告期內(nèi)，中微實現(xiàn)營業(yè)收入47.4億元，同比增長52.5%；同期實現(xiàn)歸母凈利潤11.7億元，同比增長15.66%；實現(xiàn)扣非后歸母凈利潤9.19億元，同比增長183.44%。

圖源:中微公司2022年年報

中微公司董事長、總經(jīng)理尹志堯表示，2022年成為中微成立啟動以來，經(jīng)營成績最好的一年，各項營運的KPI指標已達到國際最先進半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的水平。

對于營收大幅增長，中微表示，公司主打產(chǎn)品等離子體刻蝕設(shè)備在國內(nèi)外持續(xù)獲得更多客戶的認可，市場占有率不斷提高，在國際最先進的 5 納米芯片生產(chǎn)線及下一代更先進的生產(chǎn)線上均實現(xiàn)了多次批量銷售。

另一類主打產(chǎn)品 MOCVD 設(shè)備在新一代Mini-LED 產(chǎn)業(yè)化中，在藍綠光 LED 生產(chǎn)線上取得了絕對領(lǐng)先的地位。另外，公司的各種新產(chǎn)品開發(fā)，比如用于更先進微觀器件制程的薄膜設(shè)備和刻蝕設(shè)備，也取得了可喜的進展。

據(jù)報告，中微2022年新簽訂單為63.20億元，同比增長約53.03%。此外，在研發(fā)上，2022年中微公司研發(fā)投入為9.29億元，同比增長27.61%，占收入比例為19.59%。

此外，尹志堯透露，中微正在進行三個重大項目建設(shè)。在南昌市約14萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地已基本建成完工，部分生產(chǎn)潔凈室2022年7月投入試生產(chǎn)；公司在上海市臨港新片區(qū)的18萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地主體建設(shè)已完成，2023年將部分投入使用；上海市臨港新片區(qū)滴水湖畔約10萬平方米的研發(fā)中心暨總部大樓也在順利建設(shè)。兩年內(nèi)，公司會有比現(xiàn)在十五倍大的廠房陸續(xù)建成，使中微有足夠的研發(fā)、生產(chǎn)和營運空間。

拓荊科技：扭虧為盈，凈利潤增超400%

4月18日，拓荊科技發(fā)布2022年年報。

拓荊科技2022年營收創(chuàng)新高，錄得17.06億元，同比增長125.02%；實現(xiàn)歸母凈利潤3.69億元，同比增長438.09%。這也是拓荊科技首次實現(xiàn)盈利，根據(jù)科創(chuàng)板相關(guān)規(guī)定，4月19日起，拓荊科技股票名稱成功摘“U”。

對于業(yè)績大幅增長的原因，拓荊科技解釋，受益于國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)良好的發(fā)展態(tài)勢，國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備需求增加，同時公司產(chǎn)品競爭力持續(xù)增強，銷售訂單大幅增加，營業(yè)收入維持高增長趨勢。

圖源：拓荊科技2022年年報

拓荊科技聚焦半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備，產(chǎn)品主要包括以PECVD（等離子體增強化學(xué)氣相沉積）、ALD（原子層沉積）和SACVD（次常壓化學(xué)氣相沉積）為主的薄膜設(shè)備系列產(chǎn)品。其中，核心產(chǎn)品PECVD系列應(yīng)用規(guī)模持續(xù)擴大，2022年實現(xiàn)銷售收入15.63億元，同比增長131.44%；ALD系列產(chǎn)品中PE-ALD設(shè)備已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，2022年實現(xiàn)該系列產(chǎn)品銷售收入3259萬元，同比增長13.85%；2022年SACVD系列產(chǎn)品應(yīng)用工藝覆蓋度和市場占有率得到提升，實現(xiàn)銷售收入8948萬元，同比增長117.39%；

拓荊科技表示，將持續(xù)拓展以 PECVD、ALD、SACVD 及 HDPCVD 為主的薄膜系列產(chǎn)品工藝應(yīng)用領(lǐng)域，獲得邏輯芯片、存儲芯片等領(lǐng)域現(xiàn)有客戶重復(fù)訂單及新客戶訂單。

截至報告期末，拓荊科技在手銷售訂單金額為 46.02 億元（不含 Demo訂單）， 2022年簽訂銷售訂單金額為43.62 億元（不含 Demo 訂單），新增訂單與上年同期相比增加 95.36%，為后續(xù)業(yè)績的增長提供了有力保障。

芯源微：新簽訂單創(chuàng)歷史新高

4月17日，芯源微發(fā)布2022年年報。

2022年，芯源微實現(xiàn)營業(yè)收入13.85億元，同比增長67.12%；歸屬上市公司股東的凈利潤為2億元，同比增長158.77%，經(jīng)營性凈現(xiàn)金流1.93億元，同比大幅由負轉(zhuǎn)正。

2022年新簽訂單約22億元，創(chuàng)歷史新高，對此，芯源微表示，前道涂膠顯影機已陸續(xù)開始放量，將迎來批量訂單的增長拐點。

目前，芯源微已經(jīng)形成了涂膠、顯影、清洗、刻蝕、去膠五大系列產(chǎn)品，產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋前道芯片制造、圓片級封裝、化合物半導(dǎo)體三大領(lǐng)域。

圖源：芯源微2022年年報

在產(chǎn)品銷售上，2022年，芯源微前道涂膠顯影機簽單實現(xiàn)了快速放量，其中offline、I-line、KrF機臺均實現(xiàn)批量銷售。芯源微表示，隨著產(chǎn)品不斷成熟，同時疊加國際貿(mào)易的不確定性增強，公司前道涂膠顯影機國內(nèi)市場份額有望實現(xiàn)快速提升。

此外，芯源微報告，前道物理清洗機實現(xiàn)批量銷售近百臺套，已廣泛應(yīng)用于中芯國際、上海華力、青島芯恩、廣州粵芯、上海積塔、廈門士蘭等一線大廠，國內(nèi)市占率穩(wěn)步上升；后道先進封裝領(lǐng)域用涂膠顯影設(shè)備、單片式濕法設(shè)備實現(xiàn)批量銷售超百臺套；化合物、MEMS、LED等小尺寸領(lǐng)域用涂膠顯影設(shè)備、單片式濕法設(shè)備實現(xiàn)批量銷售超百臺套。

在技術(shù)突破上，芯源微全新發(fā)布的浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機可以匹配所有主流光刻機聯(lián)機量產(chǎn)，以及覆蓋國內(nèi)28nm及以上所有工藝節(jié)點。

盛美上海：年報首秀，營收、利潤雙增

2月24日，盛美上海亮出2022年“成績單”。在這份年報“首秀”中，營收和扣非歸母凈利潤分別錄得同比增長77.25%和254.27%的亮眼數(shù)據(jù)。

2022 年盛美上海營業(yè)收入為 28.73 億元，同比增長 77.25%。對此，盛美上海解釋，受益于國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備需求的不斷增加，銷售訂單持續(xù)增長；新客戶拓展、新市場開發(fā)等方面均取得一定成效；新產(chǎn)品得到客戶認可，訂單量穩(wěn)步增長。此外，歸母凈利潤 6.68 億元，同比增長 151.08%；扣非歸母凈利潤6.90 億元，同比增長 254.27%。

圖源：盛美上海2022年年報

盛美上海的主營產(chǎn)品包括單晶圓及槽式濕法清洗設(shè)備、電鍍設(shè)備、無應(yīng)力拋光設(shè)備、立式爐管設(shè)備和前道涂膠顯影設(shè)備和等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備等，主要應(yīng)用于先進集成電路制造與先進晶圓級封裝制造上。

2022 年，盛美上海的半導(dǎo)體清洗設(shè)備實現(xiàn)收入20.78 億元，同比增長約 96.85%；其他半導(dǎo)體設(shè)備（電鍍、立式爐管、無應(yīng)力拋銅等設(shè)備）收入為 5.18 億元，同比增長約 89.19%；先進封裝濕法設(shè)備收入為 1.60 億元，同比下降約 26.57%。

在產(chǎn)品研發(fā)上，2022年盛美上海推出了包括 ALD（熱原子層沉積）立式爐 UltraFnA、前道涂膠顯影 Ultra LithTM Track 設(shè)備等在內(nèi)的多款新產(chǎn)品和工藝設(shè)備。截至去年底，盛美上海擁有已獲授予發(fā)明專利384項。

展望未來，盛美上海擬以超募資金2.45億元向全資孫公司盛美韓國增資，以新建并實施盛美韓國半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)與制造中心項目。

北方華創(chuàng)：利潤增超130%

4月14日，北方華創(chuàng)發(fā)布2022年業(yè)績快報。

2022年度北方華創(chuàng)實現(xiàn)營業(yè)收入146.88億元，同比增長51.68%；營業(yè)利潤28.67億元，同比增長131.92%；歸母凈利潤23.53億元，同比增長118.37%；扣非歸母凈利潤為21.06 億元，同比增長161.07%。2022 年北方華創(chuàng)歸母凈利率和扣非歸母凈利率分別為 16.02%和 14.34%。

北方華創(chuàng)將營業(yè)收入增長歸結(jié)于半導(dǎo)體設(shè)備市場占有率提高，銷售訂單增長。此外，北方華創(chuàng)表示，2022年電子工藝裝備和電子元器件業(yè)務(wù)均取得了良好的經(jīng)營成果。

從同日發(fā)布的2023年第一季度業(yè)績預(yù)告來看，北方華創(chuàng)營收、利潤高增長態(tài)勢有望延續(xù)。2023年第一季度北方華創(chuàng)實現(xiàn)營業(yè)收入36--40億元，同比增加68.56%-87.29%；歸母凈利潤5.6--6.2億元，同比增長 171.24%-200.30%。

華海清科：營收、利潤增超100%

2月27日，華海清科發(fā)布2022年度業(yè)績快報。報告期內(nèi)，華海清科實現(xiàn)營業(yè)總收入 16.82億元，同比增長 109.03%；實現(xiàn)利潤總額 5.7億元，同比增長 191.38%；實現(xiàn)歸母凈利潤5.15億元，同比增長 159.97%；實現(xiàn)扣非歸母凈利潤 3.74億元，同比增長 228.15%。

對于業(yè)績大幅增長，華海清科表示，主要原因是市場需求增加以及客戶對公司產(chǎn)品認可度的繼續(xù)提升，公司新增訂單穩(wěn)步增長，在手訂單不斷增加，為公司業(yè)績的快速增長提供了有力保障，收入規(guī)模持續(xù)增長。

富創(chuàng)精密：凈利潤增超140%

2月26日，富創(chuàng)精密發(fā)布業(yè)績快報，2022年實現(xiàn)營業(yè)總收入15.43億元，同比增長83.05%；實現(xiàn)歸母凈利潤2.4億元，同比增長 89.71%；實現(xiàn)扣非歸母凈利潤1.8億元，同比增長 140.03%。

對于營收大幅增加，富創(chuàng)精密表示，主要原因是受益于國內(nèi)外半導(dǎo)體市場需求增長，以及零部件國產(chǎn)化需求拉動，公司 2022 年來自中國大陸地區(qū)收入大幅增長，同時公司不斷加大市場開拓力度，核心產(chǎn)品收入（工藝零部件，模組產(chǎn)品）持續(xù)穩(wěn)健增長。