tsv封裝是什么意思 tsv封裝工藝流程

TSV（Through-Silicon Via）指的是在芯片上通過硅材料制作的垂直通道，用于連接芯片的頂部和底部。TSV封裝則是把引腳或是BGA等標(biāo)準(zhǔn)封裝方式替換成TSV進(jìn)行連接。

1.TSV封裝的工藝流程

TSV封裝的工藝流程包括以下幾個(gè)主要步驟：

1. 制備芯片：在晶圓上進(jìn)行前期處理，包括刻蝕、清洗等操作。
2. 形成TSV結(jié)構(gòu)：采用深度蝕刻技術(shù)在芯片中央打孔，并將Tungsten等金屬填充進(jìn)去，最終形成具有電氣連接功能的垂直微通道。
3. 加工背面：反轉(zhuǎn)晶圓并在背面進(jìn)行加工處理，以便后續(xù)封裝操作的完成。
4. 襯底/封裝：將芯片表面與基板通過高溫?zé)Y(jié)、PPG等方式進(jìn)行粘合，然后利用金箔、wire bond等技術(shù)將電路焊接到基板或是PCB上，最后進(jìn)行封裝。

2.TSV封裝的優(yōu)勢(shì)

相比傳統(tǒng)的連線方式，TSV封裝具有以下幾個(gè)優(yōu)勢(shì)：

• 更小的占用面積：采用垂直連接方式可以減少芯片之間的距離，使整體構(gòu)造更緊湊。
• 更好的電性能：TSV的體積比普通線路小，導(dǎo)致了電氣傳輸速度更快、信號(hào)反應(yīng)時(shí)間更短、耗能更低等方面的提升。
• 更強(qiáng)的可靠性：TSV的引腳由硅材料制作，與芯片本身是同質(zhì)材料，避免了使用塵埃和濕氣的過程中雙方因膨脹系數(shù)不一致而產(chǎn)生的應(yīng)力問題。

3.TSV封裝的應(yīng)用領(lǐng)域

目前TSV封裝已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，例如3D IC堆疊技術(shù)、MEMS傳感器等，也在可穿戴設(shè)備、醫(yī)療器械、無人駕駛汽車等高端領(lǐng)域得到了應(yīng)用。隨著技術(shù)的不斷升級(jí)，相信它的應(yīng)用范疇還將不斷擴(kuò)展。