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良率,亦稱“合格率”。產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)之一,指合格品量占全部加工品的百分率。在半導(dǎo)體工藝中,生產(chǎn)線良率表征的是晶圓從下線到成功出廠的概率;晶圓良率表征的是一片晶圓上的芯片合格率。生產(chǎn)線良率乘以晶圓良率就是總良率。
良率,亦稱“合格率”。產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)之一,指合格品量占全部加工品的百分率。在半導(dǎo)體工藝中,生產(chǎn)線良率表征的是晶圓從下線到成功出廠的概率;晶圓良率表征的是一片晶圓上的芯片合格率。生產(chǎn)線良率乘以晶圓良率就是總良率。收起
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