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背面供電

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何為背面供電(BSPDN),顧名思義,就是將芯片上的電源線(xiàn)轉(zhuǎn)移到晶圓空置的背面,可以看作是IMEC開(kāi)創(chuàng)的“埋入式電源軌”(BPR)的升級(jí)版本。

何為背面供電(BSPDN),顧名思義,就是將芯片上的電源線(xiàn)轉(zhuǎn)移到晶圓空置的背面,可以看作是IMEC開(kāi)創(chuàng)的“埋入式電源軌”(BPR)的升級(jí)版本。收起

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    在我從事半導(dǎo)體設(shè)備的職業(yè)生涯之初,晶圓背面是個(gè)麻煩問(wèn)題。當(dāng)時(shí)發(fā)生了一件令我記憶深刻的事:在晶圓傳送的過(guò)程中,幾片晶圓從機(jī)器人刀片上飛了出來(lái)。收拾完殘局后,我們想到,可以在晶圓背面沉積各種薄膜,從而降低其摩擦系數(shù)。放慢晶圓傳送速度幫助我們解決了這個(gè)問(wèn)題,但我們的客戶(hù)經(jīng)理不太高興,因?yàn)樗麄儾坏貌幌蚩蛻?hù)解釋由此導(dǎo)致的產(chǎn)量減少的原因。
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