臺(tái)積電、三星與英特爾的先進(jìn)制程賽打得火熱,盡管紛紛表示已搶進(jìn)下個(gè)制程節(jié)點(diǎn),但都在 10nm 工藝良品率不理想的難題與痛苦中掙扎過(guò)。先進(jìn)制程的推進(jìn),帶來(lái)工藝難度與制造成本增加的同時(shí),良率問(wèn)題也成為一大挑戰(zhàn),任何細(xì)小錯(cuò)誤都將導(dǎo)致重新流片,因此檢測(cè)、量測(cè)愈發(fā)重要,越早發(fā)現(xiàn)就等同更小損失、更大利潤(rùn)空間。
“為獲取更大的良率與利潤(rùn),制程控制在源頭至關(guān)重要。作為全球領(lǐng)先的工藝控制專家,KLA-Tencor 擁有廣泛的產(chǎn)品線可覆蓋整個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程的檢測(cè)與量測(cè)需求,幫助客戶應(yīng)對(duì)不同應(yīng)用、不同市場(chǎng)的挑戰(zhàn)。比如對(duì)低功耗、高靠性有高要求的移動(dòng)設(shè)備,爭(zhēng)取更快的面世時(shí)間是贏取市場(chǎng)的最重要因素,這就要求生產(chǎn)過(guò)程中的誤差最小化?!盞LA-Tencor Customer Engagement 副總裁 Mark Shirey 在 11 月 10 日于上海舉辦的媒體會(huì)上如是說(shuō)。
KLA-Tencor Customer Engagement 副總裁 Mark Shirey(左),科天副總裁兼科天中國(guó)總裁張智安(右)
會(huì)上,KLA-Tencor 對(duì)其先進(jìn)工藝方面的產(chǎn)品進(jìn)展以及在中國(guó)的發(fā)展現(xiàn)狀進(jìn)行了分享。
不能發(fā)現(xiàn)就不能解決問(wèn)題,不能量測(cè)就不能控制
據(jù) IC Insights 最新數(shù)據(jù),2017 年純晶圓代工市場(chǎng)的營(yíng)收規(guī)模將成長(zhǎng) 7%,但成長(zhǎng)動(dòng)能幾乎全部來(lái)自 40nm 以下的先進(jìn)制程,40nm 以上成熟制程市場(chǎng)成長(zhǎng)不足 1%。半導(dǎo)體市場(chǎng)受 AI、大數(shù)據(jù)、云、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)的綜合驅(qū)動(dòng),先進(jìn)制程加速向前推進(jìn)。
隨著制程微縮與 EUV 的導(dǎo)入,在 7nm、5nm、3nm 工藝節(jié)點(diǎn),芯片制造商查明產(chǎn)品疊對(duì)誤差、線寬關(guān)鍵尺寸不統(tǒng)一與易失效點(diǎn)的起因變得越來(lái)越難。Mark Shirey 表示:”不能發(fā)現(xiàn)就不能解決問(wèn)題,不能量測(cè)就不能控制。針對(duì)以上三大問(wèn)題,KLA-Tencor 都有整套應(yīng)對(duì)方案?!?/p>
創(chuàng)造更大價(jià)值,控制從源頭出發(fā)
KLA-Tencor 最近就推出了五款圖案成型控制系統(tǒng),主要針對(duì) 7nm 以下的邏輯和尖端內(nèi)存設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)設(shè)計(jì),以幫助芯片制造商實(shí)現(xiàn)多重曝光技術(shù)和 EUV 光刻所需的嚴(yán)格工藝寬度。Mark Shirey 表示:“這五款新系統(tǒng)將為客戶提供 KLA-Tencor 最尖端的技術(shù),以降低由每個(gè)晶圓、光罩和工藝步驟所導(dǎo)致的圖案成型誤差,從制程的源頭進(jìn)行控制,及早發(fā)現(xiàn)問(wèn)題,創(chuàng)造更大價(jià)值。”
圖案成型控制系統(tǒng)包括:
ATL 疊對(duì)良測(cè)系統(tǒng)和 SpectraFilm F1 薄膜量測(cè)系統(tǒng),針對(duì) FinFET、DRAM、3D NAND 和其他復(fù)雜器件結(jié)構(gòu)的制造提供工藝表征分析和偏移監(jiān)控;
Teron 640e 光罩檢測(cè)產(chǎn)品系列和 LMS IPRO7 光罩疊對(duì)位準(zhǔn)量測(cè)系統(tǒng)可以協(xié)助掩模廠開(kāi)發(fā)和認(rèn)證 EUV 和先進(jìn)的光學(xué)光罩;
5D Analyzer X1 先進(jìn)數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)提供開(kāi)放架構(gòu)的基礎(chǔ),以支持晶圓廠量身定制分析和實(shí)時(shí)工藝控制的應(yīng)用。
在去年的媒體會(huì)上,科天副總裁兼科天中國(guó)總裁張智安曾多次強(qiáng)調(diào):近些年來(lái),科天在中國(guó)取得超預(yù)期的成長(zhǎng),科天承諾與中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)一同成長(zhǎng)與發(fā)展。
本此媒體會(huì)上,張智安先生分享了科天在進(jìn)一步本土化方面所做的工作。如今,科天在上海、北京、無(wú)錫、武漢等集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模較大的城市設(shè)立了 10 處辦公室,近期又?jǐn)U展了其北京辦公室的規(guī)模,希望以最快的速度響應(yīng)當(dāng)?shù)乜蛻粜枨蟛⒔鉀Q客戶技術(shù)難題。南京、合肥、成都辦公室正在規(guī)劃中,很快將落地并服務(wù)于當(dāng)?shù)丶呻娐废嚓P(guān)廠商。
北京辦公室擴(kuò)建
“隨著中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)的加速發(fā)展,其地位變得舉足輕重,本土化成為眾多廠商的戰(zhàn)略關(guān)鍵。KLA-Tencor 技術(shù)方案可更好的支持中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,我們希望以更‘貼地氣’的方式服務(wù)于中國(guó)客戶,為此 KLA-Tencor 上線了中文網(wǎng)站 www.kla-tencor.cn、建了‘科天國(guó)際’微信公關(guān)帳號(hào),可加強(qiáng)與中國(guó)客戶的信息技術(shù)共享與互動(dòng)。我們會(huì)持續(xù)投入中國(guó)市場(chǎng),全力支持中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展?!睆堉前蚕壬春弥袊?guó)市場(chǎng)的發(fā)展,再次表達(dá)了與中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)一起成長(zhǎng)的愿望。
與非網(wǎng)原創(chuàng)報(bào)道,未經(jīng)許可,不得轉(zhuǎn)載!