近期,隨著全球半導體市場逐漸回暖,光刻膠作為半導體工藝中不可或缺的重要材料,其生產(chǎn)廠商的訂單也開始增多,擴大產(chǎn)能成了新風向。例如,信越化學宣布,為了擴大半導體光刻材料業(yè)務,決定在日本群馬縣伊勢崎市新建其第四座生產(chǎn)工廠。東京應化宣布在韓國京畿道平澤市新建工廠,作為其在韓國的光刻膠研發(fā)、生產(chǎn)和銷售基地。
當前,日本企業(yè)占據(jù)了全球光刻膠市場約70%到90%的份額,特別是在高端的ArF和EUV光刻膠領域,市場占有率甚至超過90%,光刻膠也成為了日本在全球半導體制造鏈中的絕對依仗。
深耕細作造就光刻膠“霸主”
光刻膠被譽為“微納世界的畫家”,在半導體制造中,光刻膠要先被涂覆在硅片或其他襯底上,然后通過光照和后續(xù)蝕刻等處理,實現(xiàn)微細圖案的制作。這種高精度的制作技術,使得現(xiàn)代電子產(chǎn)品中的集成電路能夠實現(xiàn)高復雜度和高集成度。光刻膠的優(yōu)良特性保證了半導體制造過程的一致性和可靠性,為高效生產(chǎn)提供了堅實的基礎。
光刻膠類型劃分
當下的全球光刻膠市場,幾乎被來自日本的JSR、東京應化、信越化學、富士電子等企業(yè)所瓜分,也讓日本在全球半導體制造鏈中占據(jù)著舉足輕重的地位,這都源于日本長久以來的積累。
日本半導體材料的發(fā)展可追溯至20世紀50-60年代,隨著日本電子產(chǎn)業(yè)需求增長而迅速擴張。在20世紀70-80年代,日本通過政府引導的“VLSI項目”集中研發(fā)資源,突破晶圓大口徑化、高純度硅材料制備等關鍵技術,為半導體產(chǎn)業(yè)奠定基礎。20世紀90年代,半導體產(chǎn)業(yè)國際競爭加劇,日本半導體器件市場份額下滑,但材料領域優(yōu)勢繼續(xù)凸顯,企業(yè)專注于半導體材料的創(chuàng)新與供應,如信越化學、SUMCO在硅晶圓領域建立領導地位,并實現(xiàn)了在光刻膠、電子氣體等關鍵材料的技術突破等。如今,日本半導體材料產(chǎn)業(yè)完成了從依賴外部技術到自主研發(fā)的轉變,并延續(xù)了對光刻膠等材料的純度與質量的極致追求,以及對新興市場和技術趨勢的快速響應,這些都鞏固了日本在全球半導體材料供應鏈中的核心角色。
芯謀研究總監(jiān)張彬磊指出,日本企業(yè)擅長進行產(chǎn)業(yè)垂直整合,芯片公司多采用IDM模式,在材料和零部件領域也習慣于本地配套、本土供應。這種垂直整合產(chǎn)業(yè)文化使日本在光刻膠等材料逐漸建立起深厚的底蘊,經(jīng)過長期積累形成了相對完備的半導體材料體系。
試圖左右光刻膠市場
如今,日本在半導體材料領域的地位已經(jīng)得到了全球的認可,這也讓日本獲得了主動權。日本政府曾多次限制光刻膠等半導體材料的出口,其中,影響最深遠的就是2019年7月,日本政府宣布對出口韓國的半導體工業(yè)材料加強審查和管控,并將韓國排除在貿易“白色清單”以外。這些半導體材料包括含光刻膠、氟聚酰亞胺、氟化氫。但為應對這一局勢,韓國政府牽頭,鼓勵韓國半導體材料企業(yè)加快研發(fā),全力突破日本企業(yè)的壟斷,并最終成功突圍。2023年3月,日本政府決定解除限制向韓出口上述三種關鍵半導體材料的措施,將韓日出口貿易恢復至2019年7月之前的狀態(tài)。至此,長達四年的“日韓半導體貿易戰(zhàn)”才正式結束。
而此前,日本政府支持的投資基金“日本投資公司”(Japan Investment Corp,簡稱JIC)發(fā)布聲明,收購日本光刻膠制造商JSR,收購總額為9039億日元(約合人民幣419.6億元),包括凈有息負債在內的收購總額將達到1萬億日元(約合人民幣464.2億元)規(guī)模。此舉也被市場普遍認為,是日本政府要將光刻膠產(chǎn)業(yè)“國有化”。對此,賽迪四川平臺建設與運營中心總經(jīng)理池憲念表示:“日本政府支持的日本產(chǎn)業(yè)革新投資機構(JIC)對JSR的收購案,不僅僅是為了操控市場。首先,日本政府希望通過‘國有化’JSR,強化國內供應鏈穩(wěn)固,減少對外部供應商的依賴,并且加強技術保護,提升其在半導體產(chǎn)業(yè)的國際競爭力?!?/p>
壟斷并非牢不可破
在全球半導體制造鏈中,各個國家都在根據(jù)自身所長,各司其職,但像光刻膠等半導體材料被日本如此壟斷的情況非常罕見,以至于日本可以從源頭控制全球半導體市場,因此,目睹了日本限制出口、抬高價格等操作后,各國也開始未雨綢繆,加快研發(fā)進度,避免陷入無“膠”可用的境地。
事實上,企業(yè)不愿花時間和精力深耕光刻膠領域的原因在于,光刻膠的利潤并不高,在整個芯片產(chǎn)業(yè)的市場規(guī)模也很小,世界半導體貿易統(tǒng)計組織(WSTS)的數(shù)據(jù)顯示,2022年全球半導體市場規(guī)模為5735億美元,其中光刻膠的市場規(guī)模只有22億美元左右,不足整體半導體市場規(guī)模的1%,因此,日本的價格不高,質量還好,所以各國才會對日本的光刻膠如此依賴。
張彬磊表示,日本雖然在光刻膠領域的技術優(yōu)勢十足,市場份額龐大,但材料領域的優(yōu)勢并非是難以逾越的,只要其他企業(yè)長期投入,這種差距是可以快速追趕的。
這點從韓國的突圍之路就能看出端倪。2019年,韓國光刻膠對日本的依賴度為80%。但韓國政府在被限制時并沒有坐以待斃,立刻牽頭一口氣投入了6萬億韓元的預算,鼓勵韓國的材料企業(yè)加快研發(fā)進度。三星集團更是投資了數(shù)十家韓國本土半導體設備和材料廠商,從化學材料供應商,到陶瓷材料供應商,全力突破日本企業(yè)的壟斷。2022年12月,這筆投入終于獲得了回報,韓國三星電子公司宣布,將東進半導體研發(fā)的EUV光刻膠成功應用于其芯片工藝生產(chǎn)線。東進半導體成為韓國第一家將EUV光刻膠本土化至量產(chǎn)水平的公司。
因此,光刻膠等材料的技術突破,其門檻也許并沒有想象的那么高。如果其他國家的企業(yè)愿意投入,也有望取得突破。
其中,國家的政策和撥款支持顯得格外重要,各國政府都在出臺一系列政策,扶持本國光刻膠產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
韓國政府為企業(yè)提供了低息貸款、稅收優(yōu)惠等支持,推動企業(yè)建設新的生產(chǎn)線,提高產(chǎn)能。部分企業(yè)還通過海外并購、合資等方式,獲取先進的光刻膠生產(chǎn)技術和設備,進一步提升光刻膠產(chǎn)業(yè)的競爭力。美國政府提出,在光刻膠生產(chǎn)、晶圓制造、封裝測試等環(huán)節(jié)加大財政撥款,加強國內外企業(yè)合作,鼓勵外國制造商和材料供應商在美國和其他盟國地區(qū)投資,通過立法改善國內半導體制造生態(tài)系統(tǒng)。我國也提出了多條面向光刻膠生產(chǎn)企業(yè)的稅收優(yōu)惠等政策。
但日本政府同樣也在努力鞏固自身的光刻膠供應能力,在價格和產(chǎn)量上占據(jù)絕對優(yōu)勢,因此,其他國家還需要給企業(yè)更多的支持和時間,厚積才能薄發(fā)。
作者丨許子皓編輯丨張心怡美編丨馬利亞監(jiān)制丨連曉東