介紹一款光刻增粘劑-Ti Prime

知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問(wèn)：在做光刻時(shí)，光刻膠很容易脫落，有什么好的改進(jìn)措施嗎？

為什么光刻膠會(huì)脫落？

脫落主要是因?yàn)楣饪棠z與晶圓的粘附性不佳，而導(dǎo)致粘附性不佳的原因有很多，比如晶圓的材質(zhì)原因，晶圓表面過(guò)于光滑，晶圓表面殘留水分，光刻膠過(guò)厚內(nèi)應(yīng)力過(guò)大等。這個(gè)時(shí)候，在晶圓表面增加一個(gè)增粘步驟是很有必要的。

什么材質(zhì)的晶圓需要增粘劑？

硅襯底與光刻膠的粘附性較好，而氧化硅，藍(lán)寶石，砷化鎵，Au，Pt等與光刻膠的粘附性較差。以氧化硅為例，氧化硅容易吸水，具有親水性，它與于非極性的光刻膠結(jié)合力很差，需要進(jìn)行增粘處理。

Ti Prime是什么？

一種有機(jī)鈦化合物增粘劑，正式勻膠前先旋涂Ti Prime，再進(jìn)行烘烤，其將以亞單層的狀態(tài)吸附在晶圓表面?？捎行Ц纳乒饪棠z在硅或玻璃等基材上的附著力。

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