中國首條12英寸MEMS量產(chǎn)線封頂！經(jīng)濟第一大省，正在瘋狂發(fā)展傳感器！

9月20日，“增芯項目封頂儀式”在增城舉行，這意味著國內(nèi)首條MEMS 12英寸晶圓量產(chǎn)線的建設(shè)將進入下一個階段。

該項目進度如何？什么時候投產(chǎn)？增芯項目將成為廣東省建設(shè)“集成電路第三極”的突破口？詳情請看下文。

中國首條MEMS 12英寸量產(chǎn)線封頂，總投資370億，明年6月1日投產(chǎn)！廣東再添第三座智能傳感器產(chǎn)業(yè)園！

據(jù)增芯科技官方公眾號消息，昨日（9月20日）上午，廣州增城智能傳感器產(chǎn)業(yè)園發(fā)布暨增芯項目封頂活動在增城開發(fā)區(qū)增芯產(chǎn)業(yè)項目園舉行。

增芯項目，全稱為增芯12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目，是目前已知中國第一條在建的12英寸 MEMS 晶圓量產(chǎn)線。

該項目由廣州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團發(fā)起，增芯項目總投資達到370億元，打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測與應(yīng)用為一體的MEMS制造平臺。目前建設(shè)的為一期項目，批復(fù)投資70億元人民幣，將建設(shè)月加工2萬片12英寸的晶圓制造量產(chǎn)線。一期第二階段達產(chǎn)后產(chǎn)能擴至6萬片/月。

增芯項目占地面積達370畝，分兩期建設(shè)。2022年12月，包括主廠房在內(nèi)的一期項目宣布動工，到今年9月20日主體結(jié)構(gòu)封頂，用時僅9個月零6天。

據(jù)廣州增芯科技有限公司（以下簡稱“增芯科技”）總經(jīng)理張亮透露，項目目前已轉(zhuǎn)入機電安裝階段，計劃今年12月開始設(shè)備搬入及裝機，預(yù)計明年2024年6月通線，2025年12月達成月產(chǎn)能2萬片目標(biāo)。

此前，增芯項目已與10家MEMS設(shè)計骨干企業(yè)簽訂合作協(xié)議，共同定制工藝設(shè)備、開發(fā)特色工藝技術(shù)，包括但不限于加速度傳感器、慣性傳感器、磁傳感器、基因測試芯片、微流控芯片、硅基麥克風(fēng)芯片等。

據(jù)廣州市工信局對外公布《廣州市半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計劃（2022-2024年）》（以下簡稱《行動計劃》），提出廣州打造“一核兩極多點”的半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)格局。增城作為其中一極，定位為以傳感器為核心的泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展區(qū)，重點發(fā)展智能傳感器、半導(dǎo)體封測、半導(dǎo)體材料與設(shè)備等重點領(lǐng)域。

目前，廣州增城已布局了增芯、越海等一批骨干項目，覆蓋集成電路“四梁八柱”中制造、封測、裝備、材料和平臺等關(guān)鍵環(huán)節(jié)：落戶項目14個，總投資約1215億元，預(yù)計年產(chǎn)值約1296億元。

預(yù)計到2030年，增城將實現(xiàn)智能傳感器“研發(fā)設(shè)計-材料裝備-生產(chǎn)制造-封裝測試-終端應(yīng)用”全產(chǎn)業(yè)鏈條集聚；到2035年，形成千億級智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群，助力廣東打造中國集成電路產(chǎn)業(yè)“第三極”。

越海項目為廣東越海集成高端傳感器8寸/12寸TSV封裝項目，已于2022年9月開工，計劃建設(shè)晶圓級封裝生產(chǎn)線、3D傳感器模塊生產(chǎn)線，建成12寸TSV封裝產(chǎn)能每月1.3萬片，8寸及兼容4/6寸TSV封裝產(chǎn)能每月2萬片，填補了增城、廣州乃至廣東在“晶圓級先進封裝”領(lǐng)域的空白，可服務(wù)于新能源汽車、自動駕駛、消費電子、安防監(jiān)控、生物醫(yī)療、物聯(lián)網(wǎng)、智能制造等多個領(lǐng)域。項目計劃投資總額將超60億元，建成后預(yù)計年產(chǎn)值超40億元。

此外，值得注意的，在本次活動中，廣州增城智能傳感器產(chǎn)業(yè)園正式亮相，這是大灣區(qū)繼廣州黃埔粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園、深圳光明智能傳感與精密儀器先進制造業(yè)園區(qū)后，第三個規(guī)模建設(shè)的傳感器產(chǎn)業(yè)園。

該產(chǎn)業(yè)園規(guī)劃總面積約11700畝，目前已完成供地約6000畝，包括增城開發(fā)區(qū)核心區(qū)、仙村園區(qū)等2個組團，與科教城組團、翟洞組團共同構(gòu)成以智能傳感器制造為核心的“一核兩帶四組團”泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展格局，為東部中心現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系提供重要支撐，通過廣深港澳科技創(chuàng)新走廊向西聯(lián)動黃埔，向南聯(lián)動深莞，輻射粵港澳大灣區(qū)。

大灣區(qū)四座12英寸晶圓廠，廣東以智能傳感器&模擬芯片為突破口打造半導(dǎo)體第三極

12英寸晶圓是目前全球主流晶圓的最大尺寸，較8英寸晶圓相比，其面積上提升約2.23倍，就單硅片產(chǎn)出來看，8英寸晶圓產(chǎn)出芯片88塊，而12英寸晶圓產(chǎn)出芯片則達到232塊。

除增芯項目12英寸MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線外，目前廣東還有另外三座12英寸晶圓廠，分別是：

粵芯半導(dǎo)體，目前粵港澳大灣區(qū)首個并且是唯一進入量產(chǎn)的12 英寸芯片晶圓制造廠，主要為集成電路模擬特色工藝生產(chǎn)線，瞄準(zhǔn)工業(yè)電子和汽車電子領(lǐng)域應(yīng)用，主要生產(chǎn)應(yīng)用于電力電子、服務(wù)器/5G基站及汽車電子的功率器件芯片、信號鏈芯片、電源管理芯片、微控制器芯片及圖像傳感器等多種產(chǎn)品。

華潤微電子深圳12英寸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項目，于2022年10月開工，建設(shè)主體為潤鵬半導(dǎo)體（深圳）有限公司，選址深圳市寶安區(qū)。該項目一期總投資220億元，聚焦40納米以上模擬特色工藝。項目建成后將形成年產(chǎn)48萬片12英寸功率芯片的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品主要應(yīng)用于汽車電子、新能源、工業(yè)控制、消費電子等領(lǐng)域。

中芯國際12英寸晶圓廠，聚焦28納米以上工藝，應(yīng)用于圖像傳感器、顯示驅(qū)動等產(chǎn)品。《廣東省2022年重點建設(shè)項目計劃表》，中芯國際將在深圳建設(shè)一條月產(chǎn)能為4萬片/月的12英寸集成電路生產(chǎn)線，總投資153億元，聚焦28納米及以上工藝節(jié)點的生產(chǎn)，應(yīng)用于圖像傳感器、顯示驅(qū)動等產(chǎn)品。，產(chǎn)線建設(shè)起止年限為2021-2025。

此外，除廣州增芯項目12英寸MEMS線外，今年深圳也將落地一條8英寸MEMS中試線，相關(guān)信息參看《深圳首條MEMS中試線落地！》。

從這些芯片產(chǎn)線的建設(shè)可以看到，廣東的芯片制造主要集中在MEMS智能傳感器、高端模擬芯片為主的成熟制程，以智能傳感器&模擬芯片為突破口打造“中國集成電路第三極”。

中國經(jīng)濟第一大省是芯片弱??？廣州深圳政策頻出，豪擲千億補課！成中國芯片制造的“兵家必爭之地”，傳感器獲優(yōu)先扶持！

作為我國經(jīng)濟第一大省，長期以來，廣東省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展滯后，遠不如上海市、江蘇省等兄弟省市。

據(jù)悉是由于錯位發(fā)展的需要，廣東大力發(fā)展光電顯示產(chǎn)業(yè)，而上海在上世紀(jì)80年代就布局芯片產(chǎn)業(yè)，2000年中芯國際在上海成立，還有華虹半導(dǎo)體這種大晶圓制造廠，重點引入臺積電的人才，經(jīng)過20多年的發(fā)展，上海形成了國內(nèi)整條完整的芯片產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈，上海的半導(dǎo)體發(fā)展有著歷史底蘊。

當(dāng)前，廣東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展極不平衡，雖然有大量的芯片設(shè)計企業(yè)，但芯片制造產(chǎn)線寥寥無幾，據(jù)深圳市半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會會長周生明介紹：

2022年，廣東半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)營收為2268.18億元，同比增長21.2%。設(shè)計業(yè)一業(yè)獨大，2022年廣東省集成電路設(shè)計業(yè)營收為1265.12億元，在產(chǎn)業(yè)鏈占比超過50%；制造業(yè)則弱勢明顯，營收僅為52.63億元，占比僅有2%。

因此，廣東省以廣州、深圳為雙核，出臺了一系列“強芯”政策。

2022年4月，廣東省工信廳印發(fā)《2022年廣東省數(shù)字經(jīng)濟工作要點》，要全面實施“廣東強芯”工程，加快灣區(qū)半導(dǎo)體、廣大融智、智能傳感器三大產(chǎn)業(yè)集團建設(shè)。

同年，深圳出臺政策培育發(fā)展壯大“20+8”產(chǎn)業(yè)集群，前瞻布局8大未來產(chǎn)業(yè)。包括智能傳感器、精密儀器、新能源、高端醫(yī)療器械等產(chǎn)業(yè)集群。

可以看到，在這些政策中，傳感器產(chǎn)業(yè)獲得的政策支持，均處于前列，都是作為首批獲得資金扶持的產(chǎn)業(yè)。

為什么廣東省會集中精力發(fā)展傳感器產(chǎn)業(yè)？

芯片分為邏輯運算、存儲器和傳感器三大門類，我國已經(jīng)在上海、北京、武漢、合肥等地建設(shè)了邏輯運算和存儲器的主要產(chǎn)業(yè)平臺，而傳感器是萬物互聯(lián)的基礎(chǔ)、應(yīng)用廣泛，亟待進一步發(fā)展。同時，我國傳感器產(chǎn)業(yè)羸弱，中高端傳感器80%需要進口，傳感器芯片進口率達90%已成共識，國產(chǎn)傳感器發(fā)展空間較大。

也即是說，我國其他地區(qū)的邏輯運算、存儲器等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)布局已相對完善，所以廣東選擇從傳感器產(chǎn)業(yè)切入突破。

廣東是我國的制造業(yè)大省，擁有廣汽、美的、比亞迪、格力、TCL、華為、邁瑞醫(yī)療、大疆等等眾多巨型制造企業(yè)，具有龐大傳感器產(chǎn)品需求，在廣東大力建設(shè)智能傳感器產(chǎn)業(yè)正當(dāng)其時。

早在2021年3月26日，工信部電子司聯(lián)合廣東省工信廳在廣州市增城區(qū)召開了國家智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展座談會，會議對在大灣區(qū)發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)形成了諸多共識。

此后，廣東省對于傳感器產(chǎn)業(yè)的政策支持力度日益加強，尤其是廣州市和深圳市這兩大經(jīng)濟核心，相繼推出鼓勵傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干措施，將傳感器提到前所未有的高度！

此后，今年2月，總規(guī)模2000億元的母基金落地廣州，投資重點為半導(dǎo)體與集成電路、新能源等領(lǐng)域。

6月份，廣東又出臺重磅文件《關(guān)于高質(zhì)量建設(shè)制造強省的意見》，推動半導(dǎo)體及集成電路等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，并再次重申“全面建設(shè)中國集成電路第三極”，推進“廣東強芯”工程建設(shè)。

目前，廣東省在建、擬建集成電路重大項目近40個，總投資超5000億元。2022年，廣東半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)營收為2268.18億元，同比增長21.2%。

以智能傳感器、高端模擬和半導(dǎo)體化合物芯片為核心，廣東已成中國芯片制造“兵家必爭之地”，”中國集成電路第三極”初見雛形。

結(jié)語

作為中國經(jīng)濟最大省份，廣東具有龐大的下游市場，長期以來，中國集成電路業(yè)內(nèi)流行著一句話：“全球60％的芯片銷往中國，而中國60％的芯片消耗在珠三角／粵港澳大灣區(qū)?！?/strong>