矽電-泰克晶圓級探針測試測量聯(lián)合實驗室正式成立

泰克科技（中國）有限公司和矽電半導體設(shè)備（深圳）股份有限公司戰(zhàn)略合作發(fā)布會在深圳創(chuàng)投大廈矽電總部召開，同一時間，泰克（中國）和矽電半導體宣布測試測量聯(lián)合實驗室正式成立。

毫無疑問，由于雙碳目標及綠色生態(tài)的政策傾向，ESG浪潮來襲，以SiC（碳化硅）和GaN（氮化鎵）為代表的第三代半導體已經(jīng)成為高性能器件廠商的優(yōu)先選擇，功率器件也成為中國半導體市場的新亮點。市場調(diào)研機構(gòu)Yole最新研究報告指出，全球功率半導體器件市場將從2020年的175億美元增長至2026年的262億美元，而其中約70%來自汽車市場。

隨之而來的是第三代半導體芯片和功率器件研發(fā)、生產(chǎn)中的測試測量難點和挑戰(zhàn)，如高壓放電、大電流測試、高溫性能測試、超薄翹曲晶圓轉(zhuǎn)運等難題。

矽電半導體作為國內(nèi)半導體產(chǎn)線批量點測設(shè)備的頭部生產(chǎn)廠家，經(jīng)過20年的技術(shù)累積，掌握了探針測試多項核心關(guān)鍵技術(shù)，其產(chǎn)品涵蓋集成電路、光電芯片、分立器件、第三代半導體等領(lǐng)域。泰克（中國）作為國際領(lǐng)先的測試測量解決方案供應商，可以提供全流程半導體參數(shù)測試方案。泰克（中國）和矽電半導體的強強聯(lián)手，有助于高效解決業(yè)內(nèi)這些測試難點，在晶圓級測試節(jié)點提供

WAT、CP、WLR、KGD等測試，在模塊級測試節(jié)點提供動靜態(tài)參數(shù)測試、封測和可靠性測試，覆蓋了整個化合物半導體功率器件全制程。

泰克（中國）和矽電半導體自2015年開展合作以來，在LED Wafer點測市場，取得了突破和進展。本次泰克和矽電戰(zhàn)略合作意向書的簽署，將“進一步發(fā)展和深化在Wafer Acceptance Test（簡稱WAT）市場的戰(zhàn)略合作，以期進一步開拓中國市場，為客戶在WAT測試領(lǐng)域提供整體性解決方案，并為客戶降低成本以提高競爭力”。

與此同時，矽電-泰克晶圓級探針測試測量聯(lián)合實驗室也宣布正式成立。此聯(lián)合實驗室旨在強化國產(chǎn)化合物半導體功率器件測試驗證的能力，進一步探究和優(yōu)化基于高精度和高吞吐率下的一過性解決方案。實驗室提供了可用于12寸、8寸晶圓的全自動探針臺，具備

• 支持最高3000V/100A的高壓及大電流測試
• 探針系統(tǒng)測試漏電流<100pA@1000V
• WLR支持實現(xiàn)TDDB, NBTI, PBTI, HCI 等測試功能
• 支持高溫測試，溫度可達200°C
• 特殊絕緣設(shè)計避免擊穿和打火，靜態(tài)測試最高電壓3000V，動態(tài)測試最高電壓2000V
• 搬運/探針部分與測試部分分離，可擴展性強
• 支持鐵環(huán)，藍膜，華夫盒，Tap Reel等進出料方式
• 支持多臺站并行測試