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一、激光退火在碳化硅襯底加工中的作用與挑戰(zhàn) 激光退火是一種先進(jìn)的熱處理技術(shù)，通過局部高溫作用，能夠修復(fù)碳化硅襯底中的晶格缺陷，提高晶體質(zhì)量，優(yōu)化摻雜元素的分布，從而改善材料的導(dǎo)電性能和表面結(jié)構(gòu)。然而，激光退火過程中，由于激光能量分布的不均勻性、退火參數(shù)的精確控制難度以及襯底材料的初始狀態(tài)等因素，往往會導(dǎo)致襯底表面TTV的變化，進(jìn)而影響后續(xù)加工工序和最終產(chǎn)品的性能。二、影響激光退火后TTV變化的關(guān)

萬智光學(xué)

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碳化硅半導(dǎo)體晶圓

優(yōu)化濕法腐蝕后碳化硅襯底TTV管控

一、濕法腐蝕在碳化硅襯底加工中的作用與挑戰(zhàn) 濕法腐蝕是碳化硅襯底加工中不可或缺的一步，主要用于去除表面損傷層、調(diào)整表面形貌、提高表面光潔度等。然而，濕法腐蝕過程中，由于腐蝕液的選擇、腐蝕時間的控制、腐蝕均勻性等因素，往往會導(dǎo)致襯底表面TTV的增加，進(jìn)而影響后續(xù)加工工序和最終產(chǎn)品的性能。二、影響濕法腐蝕后TTV的關(guān)鍵因素腐蝕液成分：腐蝕液的選擇直接影響腐蝕速率和均勻性。不同的腐蝕液對碳化硅的腐蝕

萬智光學(xué)

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12/24 10:03

碳化硅半導(dǎo)體晶圓

染料敏化電池

染料敏化電池（Dye-sensitized solar cells，簡稱DSCs）是一種太陽能電池。它以碘離子/碘體系為電解質(zhì)，利用有機(jī)染料吸收光線產(chǎn)生電荷，最終轉(zhuǎn)化為可用電能。

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2021/12/14

電池染料敏化太陽能電池

什么是染料敏化太陽能電池染料敏化太陽電池基本原理及其應(yīng)用

染料敏化太陽能電池（Dye-sensitized Solar Cell，DSC）是一種第三代太陽能電池，以彌補(bǔ)硅太陽能電池的高成本和不適合大規(guī)模生產(chǎn)的缺點(diǎn)而被廣泛研究。DSC是一種通過染料吸收光線來激發(fā)電荷并將其轉(zhuǎn)換為電流的光伏器件。