微納加工

第十四屆中國(guó)國(guó)際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)（簡(jiǎn)稱(chēng)“納博會(huì)”）在萬(wàn)眾矚目中圓滿落下了帷幕。這場(chǎng)全球納米科技領(lǐng)域盛會(huì)，以1場(chǎng)主報(bào)告、13場(chǎng)分論壇、1場(chǎng)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽，1場(chǎng)新產(chǎn)品發(fā)布會(huì)為主，匯聚了全球納米科技領(lǐng)域的18位院士，450多位高校研究院所、上市公司、知名企業(yè)機(jī)構(gòu)的頂級(jí)專(zhuān)家代表出席，分享專(zhuān)業(yè)報(bào)告476場(chǎng)，較往屆增加132場(chǎng)，同比增長(zhǎng)約33%，吸引9663位嘉賓參會(huì)聽(tīng)會(huì)。

7月11日，凝聚“芯”動(dòng)能，共筑“芯”高地——廣東中科半導(dǎo)體微納制造技術(shù)研究院（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“廣東微納院”）半導(dǎo)體微納加工中試平臺(tái)通線暨項(xiàng)目簽約儀式在佛山南海舉行。會(huì)上，廣東微納院半導(dǎo)體微納加工中試平臺(tái)通線，二期產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)正式封頂，一批半導(dǎo)體項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)簽約，為灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入“芯”動(dòng)能。 中國(guó)科學(xué)院蘇州納米所黨委書(shū)記鄧強(qiáng)，廣東省科技廳二級(jí)巡視員夏奇峰，佛山市副市長(zhǎng)陳新文，南海區(qū)委副書(shū)記、區(qū)長(zhǎng)王勇，

超快強(qiáng)激光因其超高峰值功率、超短脈寬等特點(diǎn)，在大氣（或其它光學(xué)介質(zhì)）中傳輸時(shí)，會(huì)形成一個(gè)絲狀高光功率密度等離子通道，被形象地稱(chēng)為“光絲”，在多相態(tài)物質(zhì)探測(cè)和分析、不規(guī)則材料表面微納加工等領(lǐng)域擁有重要應(yīng)用潛力。獲得國(guó)內(nèi)發(fā)明專(zhuān)利10余項(xiàng)，發(fā)表文章100余篇。

濕法刻蝕是一種常見(jiàn)的微納加工技術(shù)，用于在半導(dǎo)體制造和微電子領(lǐng)域中對(duì)材料表面進(jìn)行精確的刻蝕。通過(guò)將待刻蝕的材料浸泡在化學(xué)溶液中，利用化學(xué)反應(yīng)來(lái)去除或改變材料表面的特定區(qū)域，實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)的制作。本文將介紹濕法刻蝕的定義、原理、應(yīng)用、優(yōu)缺點(diǎn)以及相關(guān)安全措施。