射頻電源

• 射頻電源的頻率對刻蝕有什么影響？
  學(xué)員問：干法刻蝕中，射頻電源的功率與頻率對刻蝕結(jié)果都有哪些影響？什么是RF的功率與頻率？RF功率（RF Power）,是指射頻電源提供給等離子體系統(tǒng)的能量大小，用于等離子體的產(chǎn)生和穩(wěn)定,通常以瓦特（W）為單位。RF頻率（RF Frequency）,是指射頻電場的振蕩頻率，通常以赫茲（Hz）為單位。

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  12/16 10:15

  刻蝕工藝 射頻電源
• 射頻電源的頻率與等離子體能量，密度的關(guān)系？
  

  學(xué)員問：等離子刻蝕機臺的頻率有13.56MHz，2.45GHz等，頻率的大小的不同會對造成什么影響？該怎么選用。射頻電源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蝕、去膠、PVD、干法清洗等設(shè)備中，起到激發(fā)等 離子體、選擇刻蝕方向等作用。

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  07/01 13:25

  射頻電源 等離子體
• 美國Advanced Energy公司宣布為等離子體的工業(yè)化應(yīng)用提供Alta數(shù)字化控制的射頻電源能量傳輸平臺
  美國Advanced Energy公司（納斯達(dá)克：AEIS）——高度工程化的精密電源轉(zhuǎn)換、測量和控制解決方案的全球領(lǐng)導(dǎo)者——今天宣布推出一款綜合的射頻電源傳輸解決方案，該方案結(jié)合了先進的數(shù)字控制電源和精確的數(shù)字阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)。

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  2022/05/19

  數(shù)字控制 射頻電源
• 射頻電源
  射頻電源是一種用于產(chǎn)生高頻交流電能的電源，廣泛應(yīng)用于機械加工、醫(yī)療設(shè)備、通信系統(tǒng)等領(lǐng)域。其特殊之處在于可以產(chǎn)生高功率高頻電能，而且輸出的電能穩(wěn)定可靠。

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  2021/01/26

  射頻 射頻電源
• 射頻電源的結(jié)構(gòu)及應(yīng)用領(lǐng)域
  射頻（Radio Frequency，RF）電源是指在無線電頻率范圍內(nèi)工作并提供射頻功率輸出的電源設(shè)備。它在通信、醫(yī)療、科學(xué)研究和工業(yè)制造都有廣泛的應(yīng)用。

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  12/17 16:01

  射頻 射頻電源
• 射頻電源工作原理 射頻電源的作用
  射頻電源是一種產(chǎn)生高頻電場的裝置，常用于無線通信、雷達(dá)、等離子體切割、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域。下面將分別介紹射頻電源的工作原理和作用。

  wx喵不二~

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  2023/03/09

  射頻電源

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