MEMS振蕩器是一種采用微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)制造的振蕩器,具有小巧、低功耗、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。
1.MEMS振蕩器的工作原理
MEMS振蕩器的工作原理基于毛細(xì)效應(yīng)和諧振,通過(guò)在微米級(jí)別上制造出諧振腔體和機(jī)械臂來(lái)實(shí)現(xiàn)振動(dòng)。
2.MEMS振蕩器的特點(diǎn)
MEMS振蕩器具有小型化、低功耗、高頻率穩(wěn)定性、抗震動(dòng)、可靠性高等特點(diǎn),因此被廣泛應(yīng)用于手機(jī)、電腦硬盤(pán)、汽車電子等領(lǐng)域。
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