MEMS麥克風(fēng)是一種微小的聲音傳感器,使用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造而成。它能夠?qū)⒙暡ㄞD(zhuǎn)換成電信號,并廣泛應(yīng)用于手機(jī)、筆記本電腦、汽車、安保、醫(yī)療、消費(fèi)電子等領(lǐng)域。
1.什么是MEMS麥克風(fēng)
MEMS麥克風(fēng)是一種基于集成電路和微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的聲音傳感器。它通常由一個微小的振膜、一個感應(yīng)電極和一個支撐結(jié)構(gòu)組成。當(dāng)聲波到達(dá)振膜時,振膜會跟隨聲波振動,從而改變感應(yīng)電極的電容值。通過測量這個電容值的變化,MEMS麥克風(fēng)就能將聲波轉(zhuǎn)換成電信號。
2.MEMS麥克風(fēng)的工作原理
MEMS麥克風(fēng)的工作原理主要基于聲壓和電容之間的相互作用。聲壓作用于微小的振膜上,使得振膜發(fā)生微小的變形,在變形后,感應(yīng)電極和振膜之間的電容隨之改變,因此導(dǎo)致電容值的變化。這種電容值的變化可以通過一個集成電路進(jìn)行放大、處理,并輸出成為真正的模擬或數(shù)字信號。
3.MEMS麥克風(fēng)的特點(diǎn)
MEMS麥克風(fēng)具有體積小、成本低、靈敏度高以及功耗低等顯著特點(diǎn)。由于僅占用非常小的空間,可以輕松地嵌入到各種微型設(shè)備中,如手機(jī)、筆記本電腦、智能家居等。在傳統(tǒng)的元件水平上,MEMS麥克風(fēng)也比其他類型的麥克風(fēng)擁有更寬的頻率響應(yīng)范圍和更高的局部增益。