又是它，一個文件害慘中國半導體

瓦森納協(xié)定是國際上最大的出口管制組織之一。該協(xié)定成立的初衷是為了防止武器擴散、反對恐怖主義，現(xiàn)如今已經(jīng)徹底淪為美國限制中國的“私人工具”。

近日，一份20世紀制定的文件頻繁現(xiàn)身。本月13日消息，美國商務(wù)部產(chǎn)業(yè)和安全局（BIS）舉行電話會議。在會議中，美國商務(wù)部出口執(zhí)法助理副部長Kendler表示，針對中國半導體出口管制的ECCN技術(shù)參數(shù)將和“瓦森納協(xié)定”達成協(xié)同，根據(jù)出口管理條例（EAR）第746.8條，BIS打算將相關(guān)條款寫進該協(xié)定中。Kendler指出，這一管制規(guī)定對俄羅斯也同樣有效。就在一個月前，美國已將28nm以下的12英寸硅片納入瓦森納協(xié)定中，借以壓制中國半導體產(chǎn)業(yè)。

什么是瓦森納協(xié)定？為什么它可以限制中國半導產(chǎn)業(yè)的發(fā)展？未來中國還會被限制更多產(chǎn)業(yè)嗎？

什么是瓦森納協(xié)定？

先來簡單了解一下瓦森納協(xié)定。

瓦森納協(xié)定，又名瓦瑟納爾協(xié)定，全名為《關(guān)于常規(guī)武器與兩用產(chǎn)品和技術(shù)出口控制的瓦瑟納爾協(xié)定》（The Wassenaar Arrangement on Export Controls for Conventional Arms and Dual-Use Good and Technologies），是一項于1996年5月12日簽訂，專門管制傳統(tǒng)武器及軍商兩用貨品的多邊出口控制機制的協(xié)定，目前含42個成員國家。協(xié)定安排參加國通過國家政策來確保這些物項的轉(zhuǎn)讓不會有助于發(fā)展受轉(zhuǎn)讓國的軍事能力。

瓦森納協(xié)定  來源：互聯(lián)網(wǎng)

1949年二戰(zhàn)結(jié)束后，為了防止社會主義陣營發(fā)展高端武器，美國聯(lián)合英法德意土澳等歐洲、大洋洲17個國家，在巴黎成立“輸出管制統(tǒng)籌委員會” ，簡稱“巴統(tǒng)”，即瓦森納協(xié)定的前身。1952年巴統(tǒng)中國委員會成立，中國被列入禁運名單。1996年美國牽頭在“巴統(tǒng)”17國的基礎(chǔ)上締結(jié)了《瓦森納協(xié)定》，進一步限制中國科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

文件共包括兩份清單，一份是軍民兩用商品和技術(shù)清單，另一份是軍品清單，涵蓋了各類武器彈藥、設(shè)備及作戰(zhàn)平臺管制清單。

我們主要關(guān)注第一份清單。它將9類物品納入管控。即先進材料、材料處理設(shè)備、電子器件、計算機、電信與信息安全、傳感與激光、導航與航空電子儀器、船舶與海事設(shè)備、推進系統(tǒng)。其中第三類電子器件中，就囊括了光刻機、刻蝕機等關(guān)鍵設(shè)備。

值得注意的是《瓦森納協(xié)定》最初沒有正式列舉被管制的國家，只在口頭上將伊朗、伊拉克、朝鮮和利比亞4國列入管制對象，各國也只是參照共同管制原則和清單自行決定管制措施和方式，即“各國自行處理”原則。目前中國儼然已成為該協(xié)定的主要針對國，《瓦森納協(xié)定》正逐步淪為美國制約中國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“私人工具”。

瓦森納協(xié)定締約國  來源：維基百科

瓦森納協(xié)定如何限制中國半導體產(chǎn)業(yè)

前文提到，瓦森納協(xié)定兩用清單的第三類包含中國需要的各類半導體設(shè)備與元器件。2004年，捷克政府曾批準捷克ERA公司向我國出售10部總價值為5570萬美元的“維拉”雷達系統(tǒng)，但在美國的壓力下，取消了這一合同。2006年，我國與意大利阿萊尼亞空間公司曾簽署了發(fā)射意衛(wèi)星的合作協(xié)議，但由于美國的干預，意方不惜經(jīng)濟和信譽損失而最終取消了合作協(xié)議。

EUV光刻機作為芯片產(chǎn)業(yè)的核心與最先進的半導體設(shè)備，自然受到美國的“格外關(guān)注”。

2018年4 月，中芯國際向 ASML 訂購了一臺 EUV 光刻機，交易金額高達1.2億美元，預計2019年交貨。此前中芯國際已經(jīng)與ASML深度合作多年，除EUV光刻機外的大部分產(chǎn)品都已經(jīng)進口。ASML公開回應(yīng)了中芯國際采購EUV光刻機這件事，稱他們對包括中國客戶在內(nèi)的全球客戶都一視同仁，且向中國出售 EUV 光刻機并沒有違反《瓦森納協(xié)定》。荷蘭政府也在同年發(fā)放EUV的出口許可證。

EUV光刻機  來源：互聯(lián)網(wǎng)

然而交易還未開始就受到美國阻攔。據(jù)知情人士消息，美國在中芯國際下訂單后的幾個月內(nèi)，派出官員與荷蘭政府召開四次會議，討論能否取消這筆交易。同年12月，ASML 元件供應(yīng)商 Prodrive 的一家工廠又發(fā)生重大火災(zāi)，導致2019 年年初的產(chǎn)品延后發(fā)出。2019年初，美國國防部官員召見荷蘭駐美大使商討交易的“安全風險”，同年6月美國國務(wù)卿蓬佩奧訪問荷蘭并再次施壓。6月30日，荷蘭政府向ASML頒發(fā)的出口許可證到期。至此，中芯國際與ASML的EUV光刻機交易就被擱置，后續(xù)只有DUV光刻機可以完成采購流程。

事實上，美國對于中國光刻機的限制應(yīng)用當時的瓦森納協(xié)定理由并不充分，禁售理由是因為EUV光刻機中含有美國專利而做出限制。不過該協(xié)定每年都會修訂規(guī)則，目前美國已將ECCN技術(shù)參數(shù)和瓦森納協(xié)定達成協(xié)同，瓦森納協(xié)定徹底變成美國“一言堂”只是時間問題了。從另一個角度來說， EUV光刻機的元器件基本都來自瓦森納協(xié)定的締約國境內(nèi)，美國可以從任意一個環(huán)節(jié)插手來阻止交易完成，中芯國際要想繞過所有締約國進口EUV光刻機困難重重。

除光刻機外，硅片也是中國被限制的重要產(chǎn)品之一。

2019年年底，《瓦森納協(xié)定》完成一次重大修訂：“對300mm直徑硅晶圓的切割、研磨、拋光達到局部平整度的技術(shù)要求，在任意26mm*8mm的面積內(nèi)平整度差小于等于20nm，以及邊緣去除方面小于等于2mm。”2022年9月又被爆出28nm以下12英寸大硅片納入?yún)f(xié)定限制。目前，《瓦森納協(xié)定》限制中國半導體產(chǎn)業(yè)的規(guī)則越來越多，限制規(guī)模也越來越大。從光刻機到硅片，從航空芯片到精密機床，無不囊括其中。

未來美國還會利用瓦森納協(xié)定限制什么

近日，最近美國華盛頓辦事處高級法律顧問接受國內(nèi)媒體采訪時稱：由于俄羅斯也是瓦森納協(xié)定成員國之一，未來可能在某些措施實施時加以阻止或推遲，所以美國試圖尋求新方法與歐盟、北約達成合作來調(diào)整出口管制措施。

這也意味著，美國已經(jīng)不滿足瓦森納協(xié)定對于中國的制約力，企圖完全拋棄過去多國聯(lián)合指定條約時的“自行處理”原則，讓瓦森納協(xié)定徹底淪為美國的“私人武器”。

此前荷蘭光刻設(shè)備研究專家Jos Versteeg在接受媒體訪談時也談到，即便是美國商務(wù)部沒有明言ASML是否需要對華禁運，“瓦森納協(xié)定”本身也可以鉗制ASML對華正常經(jīng)貿(mào)往來。

目前美國BIS正著手限制中國的EDA產(chǎn)業(yè)，將受限產(chǎn)業(yè)鏈繼續(xù)向上游延伸。據(jù)了解BIS此次行動的執(zhí)行文件就是2021年12更新的瓦森納協(xié)定。不過瓦森納協(xié)定總有容量“上限”的一天，它加入的限制產(chǎn)業(yè)越多，中國也會相應(yīng)的將更多產(chǎn)業(yè)納入國產(chǎn)替代的快車道。近年來在刻蝕機與硅片領(lǐng)域，國產(chǎn)替代項目已經(jīng)吹響反攻的號角。隨著國產(chǎn)替代產(chǎn)品逐漸增多，瓦森納協(xié)定對中國的影響也將減弱。