至純科技：28nm濕法工藝設備完成認證，明年進軍14/7nm

與非網(wǎng)訊 近日，國內(nèi)半導體設備廠商至純科技在互動平臺表示，目前至純科技28nm節(jié)點全部濕法工藝設備已認證完畢。

至純科技表示，國內(nèi)目前有三家在濕法工藝設備端提供中高階濕法制程設備，分別是至純科技、北方華創(chuàng)和盛美，國內(nèi)廠商的市場占比在逐年上升中。

2020 年濕法設備出貨量超過 30 臺，新增訂單 5.3 億元，增長 211.8%。

除了28nm工藝節(jié)點之外，上海證券報的報道中還指出，至純科技14nm及7nm工藝預計2022年可供客戶驗證，客戶包括中芯國際、華虹集團、長鑫存儲、華為、中國臺灣力晶等行業(yè)領先者。

資料顯示，至純科技成立于2000年，主營業(yè)務為高純工藝系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售；半導體濕法清洗設備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售；光傳感應用及相關光學元器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

公司坐落于上海紫竹這個國家級科學園區(qū)內(nèi)，注冊資本 2.08 億元，致力于為高端先進制造業(yè)企業(yè)提供高純工藝系統(tǒng)的解決方案。

系統(tǒng)解決方案涵蓋了提供整個系統(tǒng)的設計、選型、制造、安裝、測試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務。 至純提供的系統(tǒng)和專業(yè)服務，廣泛應用于半導體、微電子、生物醫(yī)藥、光伏、光纖、TFT-LCD、LED 等領域。

財報顯示，至純科技2020年濕法設備出貨量超過30臺，新增訂單5.3億元，增長211.8%。