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在半導體設備領域，離子注入和超聲波技術作為中國半導體設備發(fā)展的兩大驅動力，正助力半導體產業(yè)向更高端、更先進的方向邁進。
近期，行業(yè)內波瀾涌動，傳來兩大重磅事件：一邊是華海清科擬通過收購芯崳公司加速布局離子注入機，有望攻克離子注入機這一關鍵設備的潛在壁壘；另一邊，半導體超聲設備企業(yè)驕成超聲總部基地開工，預示著在半導體超聲應用方面將邁向新臺階。
國產半導體CMP設備龍頭華海清科，加速布局離子注入機
12月24日，華海清科發(fā)布晚間公告稱，本公司和/或本公司全資子公司華海清科（上海）半導體有限公司（以下簡稱“華海清科上?！保M合計使用自有資金不超10.05億元，收購公司參股子公司芯崳半導體（上海）有限公司（以下簡稱“芯崳公司”）剩余82%的股權，本次交易完成后，芯崳公司將成為公司全資子公司。
根據公告，本次交易的股權轉讓方包括自然人CHEN WEI及上海凱城、上?？苿?chuàng)、浦東海望、中小海望、創(chuàng)芯肆號、RIGHT DIRECT INVESTMENTS LIMITED、湖州慶芯共計8方。上海凱城為芯崳公司控股股東，CHEN WEI及CHEN JIONG為芯崳公司的共同實際控制人。
本次交易以具有證券期貨相關業(yè)務資格的評估機構出具并經公司國有資產管理部門備案的股權評估報告結論為基礎，確定芯崳公司100%股權的整體價格為12.25億元，交易價格與評估截止日芯崳公司所有者權益賬面值相比的增值率為1541.43%，華海清科和/或華海清科上海將按照上述芯崳公司整體估值以人民幣10.05億元收購公司參股子公司芯崳公司剩余82%的股權。
公告顯示，芯崳公司成立于2018年8月16日，注冊資本為1578.95萬元，主要從事集成電路離子注入機的研發(fā)、生產和銷售，目前實現商業(yè)化的主要產品為低能大束流離子注入設備，相關產品已發(fā)往客戶端驗證。其核心技術團隊專注于離子注入行業(yè)30多年，具有豐富的離子注入行業(yè)經驗，在長期研發(fā)過程中不斷積累了產品設計及工藝性能的核心參數，并對設備核心模塊離子束流系統(tǒng)的傳輸路徑進行了升級改進，使得芯崳公司目前的產品較同類競品的晶圓顆粒污染控制效果、晶圓的裝載效率更優(yōu)，且設備零部件的國產化率更高。
芯崳公司目前尚處于虧損狀態(tài)，并且預計未來短期內仍將持續(xù)虧損。華海清科表示，本次收購完成后公司將加大此類業(yè)務的研發(fā)投入，以實現離子注入設備的持續(xù)迭代升級和新產品開發(fā)，同時公司本次采用現金方式支付轉讓對價，公司股本規(guī)模不因本次收購交易發(fā)生變化，因此，本次收購完成后，公司原有業(yè)務的每股收益將被新增業(yè)務板塊攤薄。
華海清科的業(yè)務主要以CMP和研磨設備為主，該公司此前在投資者互動平臺表示，公司CMP裝備包含清洗模塊，清洗技術均為公司自主研發(fā)，基于公司在此領域的技術積淀和集成電路客戶需求，公司積極開展清洗裝備的研發(fā)工作，主要面向材料端的終端清洗市場需求。公司自主研發(fā)的清洗裝備已批量用于公司晶圓再生生產，應用于4/6/8英寸化合物半導體的刷片清洗裝備和12英寸單片終端清洗機已實現首臺驗收，清洗產品進展順利。
針對此次布局離子注入機，華海清科認為，離子注入機為集成電路制造關鍵制程設備，長期由部分國際知名廠商壟斷，中國大陸集成電路制造企業(yè)的離子注入設備仍然主要依賴進口，進口替代需求空間巨大。芯崳公司是國內少數能實現大束流離子注入設備生產的供應商，公司可以通過本次收購較快實現對離子注入核心技術的吸收和轉化，跨越式地完成產品和業(yè)務板塊布局，進一步提升公司核心競爭力。
離子注入設備涉及高壓電子、機械、電氣、計算機控制、等離子體物理等基礎科學，理論門檻高，系統(tǒng)集成難度大。在全球及國內市場中，超過九成的設備仍由美國應用材料公司、美國亞舍立公司供應，市場集中度較高。從國內來看，國內開展離子注入設備研發(fā)和生產的公司包括上述華海清科擬收購的芯崳公司、北京爍科中科信、上海凱世通、思銳智能等，這些公司正在積極規(guī)劃產品布局，不斷拓展其在半導體集成電路、光伏、第三代半導體等多個應用領域的業(yè)務范圍。
圖表來源：全球半導體觀察根據公開信息整理
此外，業(yè)界強調，離子注入機是集成電路制造前道工序中的關鍵設備之一，離子注入設備銷售額占半導體工藝設備整體銷售規(guī)模的比重約為3-5%，市場前景廣闊。
國產半導體超聲設備龍頭驕成超聲，總部基地在上海開工
據“今日閔行”消息，12月21日，上海驕成超聲波技術股份有限公司（以下簡稱“驕成超聲”）總部基地及先進超聲裝備產業(yè)化項目舉行開工典禮。該項目是2024年區(qū)重大產業(yè)項目，建設項目包括驕成超聲總部、研發(fā)中心、銷售中心、產業(yè)化中心等。
資料顯示，驕成超聲成立于2007年，是一家起源于“大零號灣”、成長于“大零號灣”的科創(chuàng)板上市企業(yè)。公司于2022年9月登陸上交所科創(chuàng)板上市，是國內功率超聲設備第一股。驕成超聲聚焦超聲波技術的開發(fā)與應用，打造了以超聲波技術為核心的技術平臺，面向半導體、新能源、醫(yī)療醫(yī)美等多個行業(yè)提供整體解決方案。
驕成超聲在半導體領域的主要產品包括超聲波鍵合機、超聲波掃描顯微鏡（SAM/SAT）、Pin針超聲波焊接機、半導體端子超聲波焊接機等。其中，超聲波鍵合機、Pin針焊接機和端子焊接機是半導體封測工序的關鍵設備，超聲波掃描顯微鏡（C-SAM/SAT）則廣泛應用于半導體晶圓、芯片、2.5D/3D封裝、IGBT模塊/SiC器件、基板（陶瓷DBC/金屬板AMB）等產品的檢測。
特別是在功率半導體領域，驕成超聲的超聲波端子焊接機、PIN針焊接機等產品已實現規(guī)模化批量出貨，與上汽英飛凌、中車時代、振華科技、宏微科技、士蘭微、芯聯集成等一眾行業(yè)知名巨頭建立并保持著緊密且良好的合作關系；在半導體先進封裝前沿陣地，驕成超聲針對超聲鍵合及晶圓超聲波檢測等關鍵產品持續(xù)加大研發(fā)投入，全力開展重點技術攻關，其超聲波鍵合機、掃描顯微鏡等產品已陸續(xù)斬獲行業(yè)內知名客戶的小批量訂單，且在2024年上半年，驕成超聲半導體超聲波設備斬獲營業(yè)收入2518.96萬元的佳績，實現較大突破。
資料顯示，半導體超聲設備是半導體制造過程中用于測試、檢測、清洗和加工等多種環(huán)節(jié)的高精度設備，即通過超聲波技術對半導體材料進行無損檢測或精密加工，以提高生產效率和產品質量。
從半導體超聲設備市場競爭格局來看，美國的KLA Corporation和Sonoscan在超聲波無損檢測和探測方面表現突出，是行業(yè)內的專業(yè)公司；日本的Panasonic在電子和半導體行業(yè)有廣泛的超聲波應用，尤其在焊接和清洗設備方面；中國的驕成超聲專注于為半導體行業(yè)提供高效的超聲波清洗、焊接和檢測解決方案，助力半導體制造過程中的質量控制和生產效率提升。
圖表來源：全球半導體觀察根據公開信息整理
業(yè)界稱，半導體超聲設備市場正處于快速發(fā)展之中。隨著半導體制造工藝的不斷進步和智能化、自動化的需求增長，超聲波設備將在無損檢測、清洗、焊接、切割等環(huán)節(jié)中發(fā)揮越來越重要的作用。雖然面臨技術、成本等挑戰(zhàn)，但市場前景廣闊，特別是在高精度、高效率以及新興應用領域的推動下，半導體超聲設備市場將繼續(xù)擴展并向更高端的方向發(fā)展。
