高層對話-2024，專訪迷思科技|迷思科技壓力傳感器的特有工藝

迷思科技在展會訪談中介紹了其特有的微創(chuàng)手術(shù)的工藝，微創(chuàng)手術(shù)本來的含義是在人體的體表開一個很小的創(chuàng)口，然后通過導管把醫(yī)療器械深入到人體的內(nèi)部進行手術(shù)，然后手術(shù)完之后再取出來，這樣的話人體創(chuàng)口縫合比較方便，恢復期也比較短。我們是在硅片的正面先開一些很小的微孔，然后讓腐蝕溶液從這個微孔進入到硅片內(nèi)部，掏出一個比較大的腔體來，然后再把這個微孔進行封堵，就像那個醫(yī)學上的縫合窗口一樣。封堵好之后，在芯片內(nèi)部形成了一個真空腔，在這個真空腔的基礎(chǔ)上再形成壓力傳感器。

迷思科技總經(jīng)理倪藻介紹：“相對于以前的傳統(tǒng)工藝來比的話，迷思科技的壓力傳感器的薄膜可以做到非常薄，可以精準控制。對于壓力傳感器來說，膜做得薄了就意味著芯片可以同步往下縮小。迷思科技的壓力傳感器的膜可以達到五六微米，我們最新的技術(shù)TUB功能甚至可以控制到2微米左右，遠遠低于同行的一般的十幾微米的模厚，所以我們的芯片面積也要遠遠小于同行。”

“壓力傳感器是汽車領(lǐng)域傳感器中產(chǎn)值最高的一個品類，迷思科技已經(jīng)在BPS、按摩座椅等方向進行布局。另外，公司的壓力傳感器憑借其尺寸小的特征，特別適用在測顱內(nèi)壓、脈象信息提取等醫(yī)療領(lǐng)域。”倪藻補充道。