MEMS振蕩器(Micro-electromechanical Systems Oscillators)是一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制造的微型振蕩器。它可以產(chǎn)生穩(wěn)定的振蕩信號(hào),并廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、通信、消費(fèi)電子等領(lǐng)域中的時(shí)鐘源和頻率控制器。MEMS振蕩器具有體積小、功耗低、頻率穩(wěn)定性高等特點(diǎn),成為現(xiàn)代電子設(shè)備中替代傳統(tǒng)石英晶體振蕩器的重要技術(shù)之一。本文將對(duì)MEMS振蕩器進(jìn)行詳細(xì)介紹。