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編輯器

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編輯器(editor)是2012年公布的地理信息系統(tǒng)名詞。

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    在現(xiàn)代ULSI電路中溝道熱載流子(CHC)誘導(dǎo)的退化是一個(gè)重要的與可靠性相關(guān)的問(wèn)題。載流子在通過(guò)MOSFET通道的大電場(chǎng)加速時(shí)獲得動(dòng)能。當(dāng)大多數(shù)載流子到達(dá)漏極時(shí),熱載流子(動(dòng)能非常高的載流子)由于原子能級(jí)碰撞的沖擊電離,可以在漏極附近產(chǎn)生電子—空穴對(duì)。其他的可以注入柵極通道界面,打破Si-H鍵,增加界面態(tài)密度。CHC的影響是器件參數(shù)的時(shí)間相關(guān)的退化,如VT、IDLIN和IDSAT。這種通道熱載流子
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    隨著MOSFET柵極長(zhǎng)度的減小,熱載流子誘發(fā)的退化已成為重要的可靠性問(wèn)題之一。在熱載流子效應(yīng)中,載流子被通道電場(chǎng)加速并被困在氧化物中。這些被捕獲的電荷會(huì)引起測(cè)量器件參數(shù)的時(shí)間相關(guān)位移,例如閾值電壓?(VTH)、跨導(dǎo) (GM)以及線性 (IDLIN) 和飽和 (IDSAT) 漏極電流。隨著時(shí)間的推移,可能會(huì)發(fā)生實(shí)質(zhì)性的器件參數(shù)退化,從而導(dǎo)致器件失效。用于測(cè)量HCI的儀器必須提供以下三個(gè)關(guān)鍵功能: 自
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