[摘要]隨著面市時(shí)間和測(cè)試成本的壓力增大，需要繼續(xù)仔細(xì)檢查工具利用率和測(cè)試工程師的生產(chǎn)率。提高自動(dòng)化水平是一種改善資源分配常規(guī)方法。從手動(dòng)探測(cè)器的單管芯測(cè)試到半自動(dòng)探測(cè)器的單晶圓測(cè)試的這一過(guò)程自然會(huì)通向自動(dòng)探測(cè)器的全晶匣檢測(cè)。在過(guò)去，使用精密、靈活的實(shí)驗(yàn)室工具但不購(gòu)買(mǎi)BEOL生產(chǎn)測(cè)試儀的條件下執(zhí)行此類(lèi)測(cè)試非常困難。這類(lèi)測(cè)試通常包含大量定制代碼和專(zhuān)用測(cè)試臺(tái)并且需要訓(xùn)練有素的工程師運(yùn)行設(shè)備。吉時(shí)利有這種方案。通過(guò)結(jié)合吉時(shí)利的自動(dòng)特性分析套件（ACS）軟件和4200-SCS半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)，您將獲得兩者的優(yōu)點(diǎn)——實(shí)驗(yàn)