先進(jìn)光刻機(jī)進(jìn)場，加速粵芯半導(dǎo)體進(jìn)程

據(jù)瀟湘晨報消息，已從投資方智光電氣確認(rèn)粵芯半導(dǎo)體更先進(jìn)光刻機(jī)已進(jìn)場，為擴(kuò)產(chǎn)做好準(zhǔn)備。此外，據(jù)透露，今年年底之前，投資 65 億的二期項目將進(jìn)入設(shè)備調(diào)試，爭取明年上半年實現(xiàn)量產(chǎn)。

智光電氣于 2019 年 3 月曾表示，廣州粵芯半導(dǎo)體公司采購的是荷蘭 ASML 的光刻機(jī)，已于 2019 年 3 月中旬搬進(jìn)粵芯半導(dǎo)體主廠房，目前在做量產(chǎn)前的最后調(diào)試準(zhǔn)備。

粵芯半導(dǎo)體項目是國內(nèi)第一座以虛擬 IDM (irtuallDM)為營運策略的 12 英寸芯片廠，是廣州第一條 12 英寸芯片生產(chǎn)線，也是廣東省及粵港澳大灣區(qū)目前唯一進(jìn)入量產(chǎn)的 12 英寸芯片生產(chǎn)平臺，已列為廣東省、廣州市重點建設(shè)項目。

2017 年 12 月，粵芯半導(dǎo)體項目一期奠基，2018 年 3 月，樁施工，2018 年 10 月主體結(jié)構(gòu)封頂，2019 年 3 月首批設(shè)備搬入，2019 年 6 月生產(chǎn)設(shè)備調(diào)試完畢開始投片，2019 年 9 月 20 日正式宣告投產(chǎn)。

今年 2 月 28 日，粵芯半導(dǎo)體二期擴(kuò)產(chǎn)項目成功簽約，二期建設(shè)將新增投資 65 億元，專注于 65-90nm 模擬工藝平臺，生產(chǎn)高精度數(shù)模轉(zhuǎn)換芯片、高端電源管理芯片、光學(xué)傳感器、車載及生物傳感芯片等產(chǎn)品。預(yù)計到 2022 年，粵芯半導(dǎo)體一期、二期將共達(dá)到月產(chǎn) 4 萬片 12 寸的產(chǎn)能，將進(jìn)一步滿足粵港澳大灣區(qū)芯片市場的需求。

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