PECVD的噴淋頭有什么作用？

知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問：PECVD中的shower head有什么作用？

shower head是什么東西？

如上圖，Showerhead，又可翻譯為噴淋頭，花灑等，Showerhead通常緊貼反應(yīng)區(qū)的上部，并作為氣體入口，將反應(yīng)氣體通過其表面的小孔均勻地注入到腔體內(nèi)。當(dāng)然并不是僅僅只有氣體分布的功能，有的設(shè)計(jì)好可以用來充當(dāng)電極的一部分。

shower head的作用？

shower head表面布滿了密密麻麻的小孔，反應(yīng)氣體流入后，會(huì)被均勻地分成若干份，并以一致的流速傳輸?shù)?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E6%99%B6%E5%9C%86/">晶圓上方，使反應(yīng)氣體均勻覆蓋整個(gè)晶圓表面，以便生成更均勻的鍍層。當(dāng)Showerhead作為電極的一部分時(shí)，射頻電源在其表面產(chǎn)生均勻的電場(chǎng)，能夠形成均勻的等離子體。

一般用什么金屬來做shower head？

最常見的是鋁金屬，因?yàn)槠渚哂休^高的熱導(dǎo)率及抗腐蝕能力。也可以用石英或陶瓷來做shower head。

為了便于大家交流與學(xué)習(xí)，Tom組建了一些免費(fèi)的半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)交流群，適合工藝，設(shè)備，廠務(wù)，投資，采購的相關(guān)朋友，大家有興趣加入的可以加Tom微信，Tom統(tǒng)一拉進(jìn)群。