聊聊晶圓廠中的常見口語（2）

昨天，我們整理了晶圓廠中常見的口語，有很多朋友又在文末的留言中總結(jié)了很多實用的口語，比如：

1，Tom今晚你們module會來幾個key lot希望你們能standby handle一下，如果不行及時call人。還有晚上有臺track pm，注意一下設(shè)備的pm monitor結(jié)果，結(jié)果不出來不能release機臺給制造部，如果制造部push就跟他們leader講清楚。monitor結(jié)果出來pi run一批lot 去etch看 inline cd然后OK在放機臺

2，機臺for defect case p了，晚上注意一下mon p data，好的話pi一批下去看看defect，有key lot過要掛line issue的話backup機臺挑一臺offline好的給他run

3，你的sense不夠，把mindset撿起來

4，你要不要escalate到你section(depart)那，讓他們involve進來

5，找到root cause，take action，才能明確solution6，我的salary不cover這些load等等，這些中英文混雜的口語是晶圓廠中的日常交流常態(tài)，

本次我們就針對這幾個留言來解釋一下：

1，module：指生產(chǎn)流程中的某個工序，或代指部門，比如光刻，cmp，PVD，CVD等

2，key lot：生產(chǎn)過程中非常重要的晶圓批次，需要特別關(guān)注的3，standby：處于待命狀態(tài)

4，handle：處理，解決

5，call：打電話

6，track?PM: track是涂膠/顯影機，PM指機臺維護

7，release：工序/機臺放出給生產(chǎn)

8，push：催

9，leader：領(lǐng)導(dǎo)

10，monitor：設(shè)備運行的監(jiān)控，確保設(shè)備可以正常工作。

11，pi run：pilotrun，小批量生產(chǎn)

12，inline cd：在線測量的CD值，CD指特征尺寸,見文章：光刻設(shè)備的inline和offline

13，for defect case p：因為制程出現(xiàn)缺陷問題，進行機臺PM

14，mon p data：PM后的監(jiān)控數(shù)據(jù)15，backup：備用機臺，備胎

16：offline：離線的：見文章：光刻設(shè)備的inline和offline

17，sense：敏感度，反應(yīng)速度18，mindset：工作態(tài)度，思維方式

19，escalate：將無法解決的問題上報給上級或相關(guān)部門。

20，involve：參與，介入

21，root cause：根本原因

22，take action：做出改善，有所動作

23，salary：職責(zé)，職業(yè)

24，cover：負責(zé)，涉及，包含

25，load：工作量篇幅關(guān)系，只列出了部分口語，歡迎留言，下期再總結(jié)。

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