美國施壓之下，荷蘭將禁止ASML對在華高端DUV設(shè)備維護(hù)？

8月29日消息，最新的業(yè)內(nèi)消息顯示，荷蘭政府計(jì)劃限制ASML在中國維修半導(dǎo)體設(shè)備的能力，這或?qū)τ谥袊嵘?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E5%85%88%E8%BF%9B%E5%88%B6%E7%A8%8B/">先進(jìn)制程制造能力的努力造成打擊。

據(jù)熟悉內(nèi)情的人士透露，在ASML某些在中國提供服務(wù)和備件的許可證于今年年底到期后，荷蘭首相迪克·肖夫政府很可能不再為其續(xù)期。這一決定預(yù)計(jì)將涉及該公司的高端深紫外光刻（DUV）設(shè)備。

AMSL是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，同時也是全球最大的光刻機(jī)供應(yīng)商。此類設(shè)備供應(yīng)商在銷售設(shè)備時都附帶了維護(hù)協(xié)議，這對設(shè)備的正常運(yùn)行至關(guān)重要。因此，如果取消這種支持，可能會導(dǎo)致至少部分設(shè)備最快在明年就無法運(yùn)行。

據(jù)稱，荷蘭政府的決定是在美國施加一定壓力后做出的。美國拜登政府的一位高級官員說，如果這些盟國不同意在對華管制上與美國保持一致，美國政府可能將對盟國實(shí)施某些單邊措施，包括所謂的“外國直接產(chǎn)品規(guī)則”（FDPR）。

FDPR將使得美國能夠?qū)ν鈬a(chǎn)品實(shí)施“長臂管轄”。即使是在美國境外生產(chǎn)的特定物項(xiàng)，如果開發(fā)或制造直接利用了哪怕是最少量的美國特定受管控的軟件或技術(shù)，則該物項(xiàng)也將受到出口管制管轄。此前該規(guī)則僅被用于少數(shù)被美國商務(wù)部列入“實(shí)體清單”的企業(yè)。

目前，除美國外，荷蘭、日本和韓國是全球最重要的芯片制造設(shè)備生產(chǎn)國。此前就曾有報道稱，拜登政府威脅使用 FDPR 規(guī)則來讓這些盟國加入對華半導(dǎo)體出口管制。

雖然，荷蘭前首相馬克·呂特（Mark Rutte）領(lǐng)導(dǎo)下的荷蘭政府抵制了美國要求增加對于半導(dǎo)體設(shè)備售后服務(wù)限制的壓力，認(rèn)為需要更多時間來評估高端芯片制造設(shè)備出口禁令的影響。

但是，在今年7月荷蘭新首相迪克·肖夫上臺后，情況發(fā)生了改變。由這位荷蘭前國家安全部門首腦迪克·肖夫領(lǐng)導(dǎo)的新政府已經(jīng)表明了對中國的警惕態(tài)度。

迪克·肖夫在本月接受采訪時表示，荷蘭在與中國政府就國家安全問題進(jìn)行談判時必須"非常謹(jǐn)慎"。

當(dāng)被問及荷蘭政府今年是否考慮采取新的出口管制措施時，迪克·肖夫說，荷蘭政府與美國和日本進(jìn)行了"良好的談判"，并希望談判"以良好的結(jié)果告終"。

雖然荷蘭政府此前于2023年6月底頒布的有關(guān)先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的額外出口管制的新條例，但該政策于2023年9月1日才正式生效。這些新的出口管制條例主要針對的對象為先進(jìn)的芯片制造技術(shù)，包括先進(jìn)的沉積設(shè)備和浸沒式光刻系統(tǒng)。盡管如此，ASML憑借已有的許可證，仍能夠允許其在2023年底前繼續(xù)將NXT:2000i 和更先進(jìn)的DUV光刻機(jī)出口到中國大陸。

因此，在荷蘭的限制政策真正發(fā)揮效力之前，中國廠商已經(jīng)進(jìn)口了不少先進(jìn)的DUV光刻機(jī)。雖然7nm以下的先進(jìn)制程工藝必須要用到EUV光刻機(jī)才擁有足夠的效率、良率和經(jīng)濟(jì)效益，但是利用先進(jìn)的DUV光刻機(jī)通過多重曝光工藝，也依然能夠做到7nm，甚至是更先進(jìn)的5nm制程，雖然會帶來效率、良率的低下，以及成本的大幅提高。

即便如此，美國也希望繼續(xù)封堵住中國大陸通過利用已有的先進(jìn)的DUV設(shè)備的來實(shí)現(xiàn)先進(jìn)制程方面技術(shù)突破的努力。因此，美國希望通過限制ASML對于中國大陸已經(jīng)有的先進(jìn)的DUV光刻機(jī)提供售后維護(hù)服務(wù)，來達(dá)到癱瘓這些已有的先進(jìn)DUV光刻機(jī)，從而進(jìn)一步限制中國先進(jìn)制程工藝的目的。

值得注意的是，ASML首席財(cái)務(wù)官羅杰-達(dá)森（Roger Dassen）在7月份的財(cái)報后電話會議上告訴分析師，盡管一些（中國大陸）工廠面臨更嚴(yán)格的限制，但該公司仍有員工在中國客戶的工廠工作。相比之下，由于美國的出口管制，美國公司已經(jīng)不得不撤走為中國最高端芯片設(shè)備提供服務(wù)的員工。

AMSL前CEO Peter Wennink去年曾強(qiáng)調(diào)，“這些（限制）只適用于數(shù)量有限的（DUV）系統(tǒng)。但我們可以安裝它們。我們出售的任何其他系統(tǒng)，我們都可以安裝并提供服務(wù)?！币虼?，這些限制“不會對ASML的2025年至2030年的財(cái)務(wù)狀況產(chǎn)生重大影響，因?yàn)槭苡绊懙闹袊S數(shù)量有限”。

據(jù)芯智訊了解，ASML的浸沒式DUV光刻機(jī)雖然目前已經(jīng)是非常成熟的設(shè)備，其中關(guān)鍵的DUV光源除了ASML美國子公司Cymer之外，日本的GIGAPHOTON也可以供應(yīng)，但日本的新的出口管制政策似乎有限制。另外在關(guān)鍵的鏡頭方面，主要是德國的蔡司供應(yīng)，因此這部分的維護(hù)和更換也能夠解決。不過，仍有一些零部件是只有美國來源，比如工件臺、配合工件臺定位對準(zhǔn)的激光部件，都是純美國的產(chǎn)品。

雖然ASML目前在中國有一個維修中心，部分零部壞了可以進(jìn)行本地維修。但是如果修不好，需要更換，那么只要是受限的美國來源的零部件，又沒有其他的供應(yīng)來源替代，這就意味著該損壞的零部件無法得到更換。唯一可行的方案，可能就是到一些二手設(shè)備上拆對應(yīng)的零部件來替換了。當(dāng)然，可能部分廠商之前有囤積一些零部件備件的庫存，但這并非長久之計(jì)。

如果荷蘭政府在美國壓力之下停止向ASML發(fā)放許可證，那么ASML對于在華高端DUV設(shè)備的售后維護(hù)將會徹底受限。

根據(jù)ASML的財(cái)報顯示，2023全年，ASML的凈銷售額為276億歐元，其中56億歐元來自于已安裝的設(shè)備維護(hù)服務(wù)，占比20.29%。而中國大陸在ASML的凈系統(tǒng)銷售當(dāng)中的占比約29%。如果按照該比例計(jì)算的話，2023年ASML來自中國的設(shè)備維護(hù)服務(wù)收入約為16.24億歐元。不過，受限的高端DUV設(shè)備的售后維護(hù)服務(wù)營收在當(dāng)中的占比可能也只占一部分。

編輯：芯智訊-浪客劍