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EUV光刻機有多牛?

2024/07/27
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華為麒麟990系列芯片、蘋果手機的A14處理器(5納米工藝)以及M1處理器以及三星的Exynos 9825處理器都是用EUV光刻機生產出來的。

換句話說,7納米以下的芯片,沒有EUV光刻機造不出來!

工藝制程越先進的芯片,光刻機的分辨率越高。而光刻機的分辨率提升原理很簡單,但是工程制造很復雜,原理全靠這個公式:

從1985年到2020年的35年期間,業(yè)界靠減少波長(λ)、減少K1、增加數值孔徑NA才把光刻機的分辨率提升了2個數量級,從原來的1000納米提升到幾個納米。

高NA數值的EUV光刻機內部結構長成這樣,很復雜,造價上億美元!可以說是人類歷史上最復雜、最昂貴的機器之一。

一臺EUV光刻機重達28噸,需要波音飛機B747運輸。

芯片國產化第一關,先造光刻機。國產EUV光刻機路還很長,現在還處于從0到1階段。

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