AMHS(Automated Material Handling System)即自動(dòng)物料搬送系統(tǒng),一般特指在潔凈室環(huán)境下,通過軟件系統(tǒng)的控制和調(diào)度,按照生產(chǎn)系統(tǒng)的指令,實(shí)現(xiàn)物料在生產(chǎn)線工序間的自動(dòng)搬運(yùn)、緩沖存放的系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造廠、半導(dǎo)體封裝測(cè)試廠、顯示面板廠等領(lǐng)域,其性能高低已成為影響電子信息制造廠尤其是先進(jìn)制程晶圓制造廠產(chǎn)線稼動(dòng)率和良率的重要因素。
全球AMHS市場(chǎng)規(guī)模約占半導(dǎo)體設(shè)備總量的3%。根據(jù)賽迪顧問2023年12月發(fā)布的《中國AMHS產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究報(bào)告》顯示,2015-2022年全球AMHS市場(chǎng)復(fù)合增長(zhǎng)率24%。特別是隨著大尺寸晶圓廠的建設(shè),AMHS被廣泛應(yīng)用,市場(chǎng)規(guī)模實(shí)現(xiàn)高速增長(zhǎng)。預(yù)計(jì)到2025年,全球AMHS市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到39.2億美元。
圖1? 全球AMHS市場(chǎng)規(guī)模測(cè)算
數(shù)據(jù)來源:賽迪顧問,2023.12
作為多學(xué)科交叉領(lǐng)域,AMHS系統(tǒng)的開發(fā)和制造需要對(duì)精密機(jī)械設(shè)計(jì)、高級(jí)軟件算法、實(shí)時(shí)控制系統(tǒng)以及先進(jìn)的導(dǎo)航與定位技術(shù)有深入理解和獨(dú)特創(chuàng)新能力,具有高技術(shù)壁壘。同時(shí),由于AMHS的性能對(duì)于晶圓廠稼動(dòng)率和良率至關(guān)重要,因此晶圓廠均謹(jǐn)慎選擇AMHS系統(tǒng)供應(yīng)商。日本大福(Daifuku)和日本村田機(jī)械(Murata Machinery)兩家頭部企業(yè)憑借先發(fā)優(yōu)勢(shì)積累的技術(shù)能力、品牌信譽(yù)和穩(wěn)定的客戶關(guān)系建立了強(qiáng)大的市場(chǎng)壁壘,二者市場(chǎng)份額占全球90%以上。
近年來,隨著中國新型工業(yè)化的加速推進(jìn),中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的物流自動(dòng)化整體實(shí)現(xiàn)高速增長(zhǎng)。本土企業(yè)在AMHS領(lǐng)域加速發(fā)展,多家廠商在不同細(xì)分市場(chǎng)取得了本土晶圓廠的技術(shù)評(píng)估、Demo測(cè)試機(jī)會(huì),其中彌費(fèi)科技更是成為國內(nèi)少數(shù)能夠?yàn)榘雽?dǎo)體晶圓廠客戶提供本土化AMHS整體解決方案的企業(yè),目前在中國大陸的市場(chǎng)份額已超過4%,占本土企業(yè)市場(chǎng)份額70%以上。根據(jù)賽迪顧問測(cè)算,2015至2022年中國大陸AMHS市場(chǎng)的復(fù)合增長(zhǎng)率為38%。隨著大尺寸晶圓制造產(chǎn)能的擴(kuò)充、相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的完善、本土晶圓廠的驗(yàn)證測(cè)試逐漸開放等利好因素,中國大陸AMHS市場(chǎng)將持續(xù)增長(zhǎng),預(yù)計(jì)到2025年將超80億元。
圖2? 中國大陸AMHS市場(chǎng)規(guī)模測(cè)算
數(shù)據(jù)來源:賽迪顧問,2023.12
未來,晶圓制造的進(jìn)一步復(fù)雜化和精細(xì)化,對(duì)AMHS供應(yīng)商技術(shù)能力也將提出更高要求。一是AMHS將向智能化發(fā)展,在軟件系統(tǒng)中引入AI有助于AMHS系統(tǒng)提升定制化服務(wù)、人機(jī)交互、自適應(yīng)控制、智能分析與決策、故障預(yù)測(cè)與維護(hù)等能力,從而進(jìn)一步優(yōu)化整體物料搬運(yùn)過程,提升稼動(dòng)率和產(chǎn)品良率,為客戶實(shí)現(xiàn)降本增效。二是基于無線供電的物料搬運(yùn)天車及其控制解決方案因取電便利、節(jié)省功耗等原因,未來將加速滲透各晶圓制造廠,并將逐漸替代有線供電解決方案。三是接口協(xié)同的重要性日益凸顯,標(biāo)準(zhǔn)的SEMI軟件接口將為對(duì)接物料管控系統(tǒng)(MCS)提供更多便利性,以實(shí)現(xiàn)工廠智能管理。
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