真空技術(shù)賦能微觀材料科技，推動(dòng)諸多領(lǐng)域發(fā)展未來可期

隨著新材料的應(yīng)用和科技的進(jìn)步，我們的生活也正在發(fā)生翻天覆地的變化，從居家辦公到日常出行，隨著技術(shù)的不斷突破和創(chuàng)新，也給我們的生活質(zhì)量帶來了很大的提升。燃油車被越來越多的電動(dòng)汽車所取代，推動(dòng)著交通出行以更加可持續(xù)的方式發(fā)展；隨處可見的顯示器，也一次次突破極限，展示更清晰、精準(zhǔn)和高質(zhì)量的畫面。還有很多新材料的應(yīng)用也正在從實(shí)驗(yàn)室級(jí)別的研發(fā)走向產(chǎn)業(yè)化和規(guī)?；牡缆?。這些技術(shù)的應(yīng)用都離不開真空技術(shù)。

現(xiàn)如今真空鍍膜技術(shù)在新材料應(yīng)用領(lǐng)域的使用非常廣泛，通過對(duì)現(xiàn)有材料表面的真空鍍膜而改變其材料的極限，從而在不增加太多成本的情況下大大的提高了材料原有的極限能力，讓生產(chǎn)出來的產(chǎn)品在體積、質(zhì)量和成本沒有發(fā)生太多變化的同時(shí)，性能得到了質(zhì)的飛躍。原子層沉積技術(shù)（Atomic Layer Deposition, ALD），就是這一技術(shù)最常見的應(yīng)用之一，是先進(jìn)的納米表面處理技術(shù)。通過ALD工藝，可以在單原子范圍內(nèi)沉積涂層，因此可以在納米尺度上進(jìn)行控制。原子層沉積設(shè)備已在新能源動(dòng)力電池正極材料的包覆，半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)，微機(jī)電系統(tǒng)和其他納米技術(shù)應(yīng)用提供了廣闊的應(yīng)用平臺(tái)。

MICRO-LED提升了顯示技術(shù)

從顯像管到LED，顯示的精度和由此帶來的視覺感官享受不斷提升。進(jìn)入LED時(shí)代后，產(chǎn)品技術(shù)也在不斷更新迭代。而在已知的技術(shù)當(dāng)中，Micro-LED被譽(yù)為是“終極的顯示技術(shù)”，其所占體積更小、混光距離更短、亮度和對(duì)比度更高、功耗更低、壽命更長(zhǎng)。Micro-LED是將LED結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)進(jìn)行薄膜化、微小化、陣列化，常需要用到濺射工藝來生成薄膜結(jié)構(gòu)，而后在此基礎(chǔ)上進(jìn)行后續(xù)加工。

在更多的高精尖領(lǐng)域，是超高真空設(shè)備的用武之地，渦輪分子泵則在其中起到了關(guān)鍵作用。例如科研超導(dǎo)應(yīng)用當(dāng)中，常需要納米級(jí)的覆膜來輔助構(gòu)成科研項(xiàng)目所需的各種模型結(jié)構(gòu)。

廈門韞茂就是這樣一家創(chuàng)新型高端納米裝備制造技術(shù)企業(yè)。專注于研發(fā)及生產(chǎn)UHV超高真空鍍膜裝備，ALD原子層成膜系統(tǒng)、PVD、IBE離子束刻蝕系統(tǒng)等一系列微納加工設(shè)備。韞茂專注于新材料的包覆和量產(chǎn)，滿足客戶定制化的要求，同時(shí)不斷探索先進(jìn)工藝和自有知識(shí)產(chǎn)權(quán)，成為了這一領(lǐng)域的小巨人企業(yè)。

在ALD設(shè)備，Micro-LED連續(xù)線和超高真空鍍膜設(shè)備的生產(chǎn)中，普發(fā)真空作為韞茂的合作伙伴，憑借著豐富的真空專業(yè)知識(shí)的積累和廣闊的產(chǎn)品組合，助力廈門韞茂實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量穩(wěn)定的真空環(huán)境。

粉末ALD設(shè)備

應(yīng)用領(lǐng)域：鋰電池粉末或極片，金屬粉末，熒光粉粉末等粉體包覆。

目前已有設(shè)備：GM系列百克級(jí)粉末ALD系統(tǒng)、KG系列公斤級(jí)粉末ALD系統(tǒng)，即將推出噸級(jí)粉末ALD系統(tǒng)

如圖：GM克級(jí)粉末ALD系統(tǒng)

Cbatch系列ALD

連續(xù)通過式多腔體結(jié)構(gòu)，全自動(dòng)化傳輸，主要用于大批量生產(chǎn)，現(xiàn)已用于LED行業(yè)。

超高真空設(shè)備

產(chǎn)品：QBT-J（四腔電子束蒸發(fā)系統(tǒng)）QBT-P（兩腔濺射系統(tǒng)）QBT-4（兩腔熱蒸發(fā)系統(tǒng)）QBT-A（等離子體增強(qiáng)ALD系統(tǒng)）

如圖：QBT-J全自動(dòng)四腔超高真空雙傾角鍍膜系統(tǒng)

如圖：普發(fā)真空HiPace 2300渦輪分子泵用于超高真空系統(tǒng)

普發(fā)真空提供一站式真空解決方案，助力廈門韞茂實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品功能

HiScroll渦旋泵

靜音、高效、無油

A4系列整體式干泵

高能效，溫度控制范圍廣，耐腐蝕材料工藝泵，智能監(jiān)控系統(tǒng)

HiPace系列渦輪分子泵

高壓縮比，抽速高，安全穩(wěn)定，體積小巧

PKR 361全量程真空計(jì)

測(cè)量范圍廣，極低的外部磁場(chǎng)，試用范圍廣

韞茂科技總經(jīng)理趙茂生先生表示道：“材料科技的進(jìn)步推動(dòng)著科研、創(chuàng)新和生產(chǎn)。面對(duì)日益提升的性能需求，微觀層面的技術(shù)顯得愈發(fā)重要，甚至有可能幫助突破傳統(tǒng)技術(shù)的瓶頸。真空技術(shù)所保障的純凈環(huán)境對(duì)微觀精密做業(yè)是不可或缺的。我們很高興能與普發(fā)真空保持合作，以其先進(jìn)豐富的真空設(shè)備來幫助我們的產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)更加優(yōu)異的性能，進(jìn)而為更多科研機(jī)構(gòu)和院校，以及下游產(chǎn)業(yè)等單位服務(wù)，助其攻克更多高精尖技術(shù)，提升產(chǎn)品性能，惠及更多用戶。我們更期待藉此實(shí)現(xiàn)革命性的突破，最終造福全人類。希望普發(fā)真空能為我們帶來更多優(yōu)秀的產(chǎn)品和技術(shù)，與我們攜手前行。”