EUV

極紫外輻射（EUV）或高能紫外輻射是波長(zhǎng)在124nm到10nm之間的電磁輻射，對(duì)應(yīng)光子能量為10eV到124eV。自然界中，日冕會(huì)產(chǎn)生EUV。人工EUV可由等離子源和同步輻射源得到。主要用途包括光電子譜，對(duì)日EUV成像望遠(yuǎn)鏡，光微影技術(shù)。 EUV是最易被空氣吸收的譜段，因此其傳輸環(huán)境需高度真空。

極紫外輻射（EUV）或高能紫外輻射是波長(zhǎng)在124nm到10nm之間的電磁輻射，對(duì)應(yīng)光子能量為10eV到124eV。自然界中，日冕會(huì)產(chǎn)生EUV。人工EUV可由等離子源和同步輻射源得到。主要用途包括光電子譜，對(duì)日EUV成像望遠(yuǎn)鏡，光微影技術(shù)。 EUV是最易被空氣吸收的譜段，因此其傳輸環(huán)境需高度真空。收起