晶圓檢測(cè)

• 如何測(cè)量晶圓表面金屬離子的濃度？
  學(xué)員問：在晶圓清洗后，我們?nèi)绾螠y(cè)量晶圓表面的金屬離子是否洗干凈？金屬離子濃度為什么要嚴(yán)格控制？金屬離子在電場(chǎng)作用下容易發(fā)生遷移。如Li?，Na?、K?等可遷移到柵氧化層，導(dǎo)致閾值電壓下降。

  TOM聊芯片智造

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  11/25 09:15

  晶圓檢測(cè)
• 無圖形晶圓的顆粒檢測(cè)原理
  

  學(xué)員問：在裸晶圓上，顆粒的檢測(cè)是如何實(shí)現(xiàn)的？比較經(jīng)典的顆粒檢測(cè)機(jī)臺(tái)有哪些？顆粒檢測(cè)用什么光源？激光。激光束掃描旋轉(zhuǎn)中的晶圓表面，在無顆粒的光滑表面上，激光束發(fā)生鏡面反射，當(dāng)激光遇到顆粒時(shí)，部分入射光線會(huì)向各個(gè)方向散射。在暗場(chǎng)照明中，散射光可以直接檢測(cè)；在明場(chǎng)照明中，可以通過檢測(cè)鏡面反射光強(qiáng)度的變化來表示。

  TOM聊芯片智造

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  11/20 09:25

  晶圓 晶圓檢測(cè)
• 蘇試宜特，芯片電路修改能力達(dá)到5nm制程
  

  集成電路作為現(xiàn)代電子設(shè)備的核心，其質(zhì)量和性能直接關(guān)系到電子產(chǎn)品的可靠性和穩(wěn)定性。全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，離不開集成電路檢測(cè)行業(yè)的支持，第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)以其專業(yè)化服務(wù)、技術(shù)中立性等優(yōu)勢(shì)，逐漸成為產(chǎn)業(yè)鏈中不可或缺的一環(huán)。 2024年6月5日-6月7日，在2024世界半導(dǎo)體大會(huì)暨南京國際半導(dǎo)體博覽會(huì)上，本土集成電路第三方檢測(cè)公司蘇試宜特展示了其眾多解決方案，包括加速客戶產(chǎn)品上市的失效分析整合服務(wù)、集成電

  史德志

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  06/14 18:06

  晶圓檢測(cè)
• 微崇半導(dǎo)體董事長(zhǎng)黃崇基：半導(dǎo)體量檢測(cè)新方式探索——二諧波晶圓檢測(cè)
  

  半導(dǎo)體質(zhì)量控制貫穿于半導(dǎo)體制造的全過程，保障著芯片性能與生產(chǎn)良率。隨著制程不斷先進(jìn)，工藝環(huán)節(jié)也逐漸復(fù)雜，對(duì)質(zhì)量控制提出了更高的要求，對(duì)量測(cè)設(shè)備與檢測(cè)設(shè)備的需求量倍增。微崇半導(dǎo)體成立于2021年3月，立足于非線性光學(xué)晶圓檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，致力于研發(fā)先進(jìn)的半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)與半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備。目前，微崇半導(dǎo)體在開發(fā)二諧波檢測(cè)技術(shù)方面積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。

  芯謀研究

  3266

  2023/10/31

  半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備 晶圓檢測(cè)
• 微崇半導(dǎo)體CEO黃崇基：二諧波晶圓檢測(cè)新技術(shù)賦能半導(dǎo)體制造
  做半導(dǎo)體工藝的眼睛

  芯謀研究

  4292

  2023/01/05

  晶圓檢測(cè) 二次諧波
• 半導(dǎo)體制程不斷微縮挑戰(zhàn)下，本土光學(xué)檢測(cè)設(shè)備如何從后道封裝走進(jìn)前道FAB？
  隨著半導(dǎo)體制程不斷向下微縮，內(nèi)部結(jié)構(gòu)的復(fù)雜度也在不斷提高，檢測(cè)測(cè)試行業(yè)面臨越來越多的挑戰(zhàn)。

  芯片揭秘

  500

  2020/09/10

  晶圓制造 半導(dǎo)體制程

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