知識(shí)星球里的學(xué)員問:晶圓在晶圓廠完成全部工序后,存儲(chǔ)和運(yùn)輸有哪些特別的要求,是否需要特殊環(huán)境包裝呢?存儲(chǔ)一般是放在氮?dú)夤窭?,氮?dú)夤裢ǖ挠懈呒兊獨(dú)?,且氮?dú)夤窨梢钥刂茲穸扰c溫度,濕度在20-24℃,濕度30%-50%,具體要根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)情況來定。??運(yùn)輸一般需要將晶圓放在晶圓盒中,晶圓盒會(huì)放在防靜電的袋子里,袋子里會(huì)被抽真空,之后裝晶圓盒的袋子會(huì)放入箱子中,箱子中會(huì)有軟墊等緩沖材料保護(hù),當(dāng)然這些在無塵車間完成的。如果有條件