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幾種常見的刻蝕機(jī)臺(tái)，包括LAM、AMAT、TEL、MATTSON和AMEC等

在晶圓制造過程中，刻蝕工藝是至關(guān)重要的，它不僅影響芯片的功能，還決定了工藝的精度和生產(chǎn)效率。LAM Research（簡稱LAM）是刻蝕機(jī)領(lǐng)域的領(lǐng)先廠商之一，尤其在干法刻蝕方面具有很強(qiáng)的競爭力。LAM的刻蝕機(jī)臺(tái)通常采用等離子體刻蝕技術(shù)，其特點(diǎn)是高效的刻蝕速率和良好的工藝控制能力。

老虎說芯

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12/14 10:25

刻蝕設(shè)備刻蝕機(jī)

5nm已量產(chǎn)，3nm還會(huì)遠(yuǎn)嗎？重要性比肩光刻機(jī)的刻蝕設(shè)備——中微公司

晶圓制造設(shè)備從類別上講可以分為刻蝕、光刻、薄膜沉積、檢測、涂膠顯影等十多類，其合計(jì)投資總額通常占整個(gè)晶圓廠投資總額的 75%左右，其中刻蝕設(shè)備、光刻設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備是集成電路前道生產(chǎn)工藝中最重要的三類設(shè)備。根據(jù)Gartner統(tǒng)計(jì)的數(shù)據(jù)，2013年至2023年，半導(dǎo)體前道設(shè)備中，干法刻蝕設(shè)備市場年均增速超過15%，化學(xué)薄膜設(shè)備市場年均增速超過14%，這兩類設(shè)備增速遠(yuǎn)高于其他種類的設(shè)備。圖|20

王兵

8876

11/12 10:37

與非研究院 CVD

躋身全球半導(dǎo)體設(shè)備TOP4，張江這家公司的底層密碼是什么？

在行業(yè)經(jīng)歷周期低谷的當(dāng)下，張江科學(xué)城這家半導(dǎo)體設(shè)備公司的成績單依然很閃耀：據(jù)中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）年報(bào)顯示，2023年前三季度公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入40.41億元，同比增長32.8%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤11.6億元，同比增長46.27%。

張通社

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2023/12/13

半導(dǎo)體設(shè)備刻蝕機(jī)

中國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)出口數(shù)據(jù)及貿(mào)易伙伴排名｜2022上半年

半導(dǎo)體國產(chǎn)替代的背景下，半導(dǎo)體設(shè)備作為芯片制造的基礎(chǔ)，在整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈中扮演著舉足輕重的地位。與非網(wǎng)對(duì)2022年1-6月中國大陸海關(guān)半導(dǎo)體制造設(shè)備進(jìn)出口數(shù)據(jù)進(jìn)行了整理分析，為大家了解中國目前半導(dǎo)體制造設(shè)備市場做一個(gè)參考。

史德志

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2022/07/29

半導(dǎo)體設(shè)備與非研究院

清華大學(xué)等離子體刻蝕機(jī)采購項(xiàng)目公開招標(biāo)

3月29日，清華大學(xué)發(fā)布等離子體刻蝕機(jī)采購項(xiàng)目公開招標(biāo)公告。

與非網(wǎng)編輯

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2022/03/30

刻蝕機(jī) 等離子體刻蝕機(jī)

刻蝕機(jī)

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