中微公司喜迎全球第500臺MOCVD設(shè)備付運里程碑

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）宣布其MOCVD設(shè)備系列喜迎又一里程碑：全球第500臺MOCVD設(shè)備順利付運國內(nèi)一家專業(yè)從事LED外延片和芯片的研發(fā)生產(chǎn)制造商。這一里程碑既是中微公司MOCVD產(chǎn)品的卓越性能與服務(wù)的專業(yè)優(yōu)勢的充分證明，也是對公司持續(xù)創(chuàng)新的技術(shù)能力與穩(wěn)步發(fā)展的綜合實力的認(rèn)可與肯定。

本批次運付的第500臺MOCVD設(shè)備為中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax?，主要用于氮化鎵基Mini LED外延片量產(chǎn)。隨著近些年來光電產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，Mini LED已廣泛應(yīng)用于電視、筆記本電腦、平板電腦、桌面顯示器、車載顯示屏、戶外顯示屏等終端產(chǎn)品。

自面世以來， Prismo UniMax? MOCVD設(shè)備憑借優(yōu)異的波長均勻性、高能效和高產(chǎn)能等優(yōu)勢迅速獲得了市場認(rèn)可，團(tuán)隊專業(yè)及時的現(xiàn)場支持和細(xì)致規(guī)范的技術(shù)服務(wù)也備受客戶青睞。作為專為高性能Mini LED量產(chǎn)而設(shè)計的MOCVD設(shè)備，Prismo UniMax?具備高產(chǎn)能和高靈活性的特點，在同一系統(tǒng)中可配備多達(dá)4個反應(yīng)腔，每個反應(yīng)腔均可實現(xiàn)獨立控制。Prismo UniMax?配置了785mm大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設(shè)計配置，最多可實現(xiàn)同時加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高產(chǎn)能并降低生產(chǎn)成本。此外，Prismo UniMax?創(chuàng)新的多區(qū)輔助加熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)，能精確控制托盤局部區(qū)域溫度，有助于更大程度提升LED波長均勻性。

中微公司MOCVD設(shè)備Prismo UniMax?

目前，中微公司開發(fā)的一系列MOCVD設(shè)備在行業(yè)內(nèi)主要的LED生產(chǎn)線上已全面投入量產(chǎn)。Prismo UniMax?是MOCVD設(shè)備系列新一代產(chǎn)品，該產(chǎn)品系列還包括Prismo D-BLUE?、Prismo A7?、Prismo HiT3?和Prismo PD5?。2013年，中微公司率先發(fā)布國內(nèi)自主研發(fā)制造的量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備Prismo D-BLUE?。此后，中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相繼推出了Prismo A7?、Prismo HiT3?、Prismo UniMax?和Prismo PD5?產(chǎn)品。

“此次里程碑是中微公司取得的又一次重要突破，為今后MOCVD產(chǎn)品市場進(jìn)一步開拓奠定了堅實的基礎(chǔ)?！爸形⒐靖笨偛眉鍹OCVD產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理郭世平表示：“我們感到十分自豪，中微公司開發(fā)的一系列MOCVD設(shè)備，獲得了客戶與市場的廣泛認(rèn)可，部分產(chǎn)品在細(xì)分領(lǐng)域市占率達(dá)到全球排名第一。未來，隨著新應(yīng)用的進(jìn)一步拓展，我們將繼續(xù)推進(jìn)與客戶的密切合作交流，通過技術(shù)領(lǐng)域的持續(xù)創(chuàng)新，不斷為客戶提供極具競爭力的產(chǎn)品和解決方案，實現(xiàn)穩(wěn)步發(fā)展與深度共贏，共同譜寫產(chǎn)業(yè)更加美好的明天。”