Advanced Energy 全新推出的功率測(cè)量?jī)x可提升高精度射頻功率系統(tǒng)的準(zhǔn)確性和性能

Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力于開(kāi)發(fā)各種先進(jìn)的高精度電源轉(zhuǎn)換、測(cè)量和控制系統(tǒng)等解決方案，這方面的技術(shù)更一直領(lǐng)先全球。該公司宣布推出一款型號(hào)為 GEMINI? 5540A 的射頻功率測(cè)量?jī)x。這款全新的功率測(cè)量?jī)x內(nèi)置一組高度靈活、方便易用而又高度集成的測(cè)量電路，可支持高度精確的在線射頻功率測(cè)量功能，而且適用于必須配備高精度射頻功率控制功能的方案，例如半導(dǎo)體、通信系統(tǒng)、工業(yè)制品和醫(yī)療設(shè)備等產(chǎn)品。Advanced Energy 一直是半導(dǎo)體產(chǎn)品射頻功率解決方案的市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者，今后該公司會(huì)繼續(xù)努力研發(fā)全新的技術(shù)，以改善等離子電源功率控制功能，以及提升先進(jìn)蝕刻和沉積制程工藝的性能。

GEMINI 5540A 是一款將傳感器和測(cè)量?jī)x表合二為一的儀器，不但容易使用，而且還可在 0.2 至 200MHz 之間的頻率范圍以及 3 至 5,000W 的功率范圍內(nèi)執(zhí)行測(cè)量功能，其 2-sigma 準(zhǔn)確度達(dá) ±0.5% + 0.5 W。這是一款高度集成的測(cè)量?jī)x器，用戶只需采用一個(gè)測(cè)量?jī)x表，便可取代多種不同的測(cè)量?jī)x器，最適用于需要準(zhǔn)確測(cè)量和控制其射頻功率的設(shè)備。

Advanced Energy 關(guān)鍵傳感和控制產(chǎn)品副總裁 Gerry Blumenstock 表示：「技術(shù)要求極為嚴(yán)格的半導(dǎo)體制程工藝，例如高深寬比(HAR)等離子蝕刻、高精度控制和射頻系統(tǒng)的腔室匹配等制程工藝，其性能直接受所采用的技術(shù)影響。OEM廠商只要采用 Advanced Energy 這項(xiàng)全新的 GEMINI 5540A 測(cè)量技術(shù)，便可準(zhǔn)確校正系統(tǒng)以及實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)其射頻功率，提高先進(jìn)等離子制程工藝的保真度和一致性?！?/p>

GEMINI 5540A 射頻功率測(cè)量?jī)x配備一個(gè)較大而又易于閱讀的OLED數(shù)字顯示器，可同時(shí)顯示正向和反向功率、電壓駐波比(VSWR)和頻率，而且無(wú)需為正向和反向功率測(cè)量重新配置，也可自動(dòng)檢測(cè)頻率。這款測(cè)量?jī)x可將校正次數(shù)減少至每12個(gè)月一次。相較之下，傳統(tǒng)的測(cè)量?jī)x器則需要每6個(gè)月校正一次。這款射頻功率測(cè)量?jī)x以5V輸入電壓、500mA輸入電流進(jìn)行操作，但要通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的USB 2.0 端口連接外置電池或交流電源插座，利用交流電時(shí)則要采用已有現(xiàn)貨供應(yīng)的USB適配器。

這款測(cè)量?jī)x除了可直接用來(lái)測(cè)量之外，也可連接計(jì)算機(jī)，以便與 Advanced Energy 的 GEMINI Tools 數(shù)據(jù)視覺(jué)化軟件搭配一起，執(zhí)行數(shù)據(jù)搜集、存儲(chǔ)和審核功能。