Advanced Energy 的10kW電源配備先進脈沖功能，讓生產(chǎn)商可充分利用極度精確和可客制的等離子電源控制功能

Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力于開發(fā)各種先進的高精度電源轉(zhuǎn)換、測量和控制系統(tǒng)等解決方案，這方面的技術(shù)更一直領(lǐng)先全球。該公司宣布推出等離子電源系列的另一款新產(chǎn)品，這款全新的10kW脈沖直流電源不但配備領(lǐng)先業(yè)界的電源和控制功能，而且還預裝了 PowerInsight by Advanced Energy? 這套嵌入式制程工藝優(yōu)化程序。這款 Ascent? SMS AP (先進脈沖) 電源配備已注冊專利的脈沖技術(shù)，成功將優(yōu)化的電弧管理和精確的等離子電源控制功能引進到技術(shù)要求極為嚴格的薄膜沉積應用之中，其中包括半導體以至太陽能光伏電池生產(chǎn)等方面的應用。

這款10kW Ascent SMS AP 電源的外型小巧，但其安全工作區(qū)(SOA)范圍極為寬廣，例如峰值電壓高達1200V，而頻率則介于0.5至150kHz之間。這款電源的漸進式電弧管理系統(tǒng)共有4個不同的單元，而且可支持全范圍反向電壓操作，是目前業(yè)界極為先進的電源解決方案，所存儲的電弧能量最少，而且所提供的電弧參數(shù)均可自我調(diào)節(jié)，讓有關(guān)參數(shù)可以按照制程工藝步伐靈活調(diào)節(jié)。其中輸出的先進脈沖(AP)波形可以支持升壓、反向電壓控制以及先進脈沖整形等功能，以便因應薄膜型態(tài)和要求的薄膜特性實現(xiàn)波形的微調(diào)。

Advanced Energy 等離子電源產(chǎn)品高級市場營銷總監(jiān) Dhaval Dhayatkar 表示：「Advanced Energy 將會繼續(xù)致力于提升脈沖直流電源的性能，確保這系列產(chǎn)品適用于單靶磁控濺射方面的應用，而且還有舊式產(chǎn)品所無的適應能力。這款全新的10kW Ascent SMS AP 電源充分利用 Advanced Energy 的許多尖端技術(shù)，其中包括可高度配置的波形、漸進式電弧管理、優(yōu)于同級產(chǎn)品的安全工作區(qū)(SOA)范圍、寬廣的頻率范圍、以及我們公司的 PowerInsight 制程工藝優(yōu)化軟件，讓我們的客戶可將先進半導體制程工藝技術(shù)的精準度、可重復性和生產(chǎn)良率提升至最高的水平?！?/p>

這款全新的電源產(chǎn)品是 Advanced Energy 首款預裝了 PowerInsight 制程工藝特性分析應用程序和相關(guān)優(yōu)化軟件的電源。這套PowerInsight軟件可搜集、分析和轉(zhuǎn)譯來自關(guān)鍵饋電系統(tǒng)的資料，讓用戶可利用這些極為實用的資料優(yōu)化制程工藝，以提升產(chǎn)量和生產(chǎn)良率，以及減少無法預測的制程工藝設(shè)備故障停機時間。由于 Advanced Energy 這系列脈沖直流電源內(nèi)置 PowerInsight 軟件，因此可減少出現(xiàn)電弧的次數(shù)，并可提高沉積率，改善薄膜層的形態(tài)和特性。