南大光電完成國家科技重大專項，芯片光刻膠已驗收

7 月 29 日，南大光電官方發(fā)布公告：“關(guān)于公司承擔(dān)的國家科技重大專項（02 專項）”已通過專家組驗收。其中包括極大規(guī)模集成電路制造裝備及成熟工藝、先進(jìn) 7 納米光刻膠產(chǎn)品開發(fā)與光刻膠供給鏈產(chǎn)業(yè)化。

據(jù)南大光電披露，公司收到極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝實踐管理辦公室下發(fā)的項目綜合績效評價結(jié)論書，公司作為牽頭單位，承擔(dān)的“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”之光刻膠項目通過了專家組驗收。

據(jù)悉，光刻膠項目總體目標(biāo)是開發(fā)高端集成電路制造用 ArF 干式與浸沒式光刻膠成套工藝技術(shù)，形成規(guī)?；a(chǎn)能力；構(gòu)建與集成電路行業(yè)國際先進(jìn)水平接軌的技術(shù)和管理人才團(tuán)隊等等。項目分為三個子課題，南大光電控股子公司寧波南大光電材料有限公司（以下簡稱寧波南大光電）承接了其中的“ArF 光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”課題。

專家組評定后認(rèn)為，通過項目的實施，寧波南大光電掌握了 ArF 干式和浸沒式系列光刻膠產(chǎn)品的原材料制備、配膠、分析檢測、應(yīng)用驗證等關(guān)鍵技術(shù)，在知識產(chǎn)權(quán)和人才培養(yǎng)等方面取得重要進(jìn)展。形成了由 51 人組成的 ArF 光刻膠研發(fā)與生產(chǎn)管理團(tuán)隊，建成了 ArF 光刻膠產(chǎn)品的質(zhì)量控制平臺、年產(chǎn) 5 噸的干式 ArF 光刻膠及年產(chǎn) 20 噸的浸沒式 ArF 光刻膠產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線。實現(xiàn) ArF 光刻膠產(chǎn)品銷售，完成了任務(wù)合同書規(guī)定的主要考核指標(biāo)。

ArF 光刻膠材料是集成電路制造領(lǐng)域的關(guān)鍵材料，可以用于 90nm~14nm 甚至 7nm 技術(shù)節(jié)點的集成電路制造工藝，主要應(yīng)用于高端芯片制造。目前我國在 ArF、KrF 光刻膠領(lǐng)域中的市場占比較少，全球大多數(shù)的光刻膠市場都被美國、日本壟斷。

需要注意的是，有關(guān) 7 納米 ArF 光刻膠的應(yīng)用，南大光電目前只是小規(guī)模投產(chǎn)，與之相關(guān)的生產(chǎn)線正在構(gòu)建當(dāng)中。在公告中，南大光電也表示，ArF 光刻膠的復(fù)雜性決定了其在穩(wěn)定量產(chǎn)階段仍然存在工藝上的諸多風(fēng)險，不僅需要技術(shù)攻關(guān)，還需要在應(yīng)用中進(jìn)行工藝的改進(jìn)、完善。同時，ArF 光刻膠產(chǎn)品國產(chǎn)化替代受品質(zhì)、客戶的嚴(yán)格要求，后續(xù)是否能取得下游客戶的大批量訂單，能否大規(guī)模進(jìn)入市場仍存在較多的不確定性。這些都會影響 ArF 光刻膠的量產(chǎn)規(guī)模和經(jīng)濟(jì)效益。

記者了解到，5 月末以來，南大光電公司股價累計漲幅超過 150%。

來源：C114通信網(wǎng)
作者：遠(yuǎn)洋