大基金二期出手光刻膠產(chǎn)業(yè)化，南大光電獲增資1.83億元

與非網(wǎng)7月29日訊 南大光電發(fā)布公告，大基金二期擬以合計(jì)1.833億元的價(jià)格認(rèn)購公司控股子公司寧波南大光電的新增注冊資本6733.19萬元，認(rèn)繳出資比例18.33%

公告稱為加快光刻膠事業(yè)發(fā)展，公司控股子公司寧波南大光電擬通過增資擴(kuò)股方式，引入戰(zhàn)略投資者國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期股份有限公司(以下簡稱為“大基金二期”)。本次增資完成后，寧波南大光電的注冊資本由3億元增加至3.67億元。投資金額中的6733.19萬元計(jì)入新增注冊資本，其余1.16億元計(jì)入資本公積。公司的持股比例由71.67%降至58.53%。本次交易完成后，寧波南大光電仍為公司控股子公司，不影響公司合并報(bào)表范圍。

盤后，南大光電發(fā)布公告稱，為加快光刻膠事業(yè)發(fā)展，公司持股71.67％的控股子公司寧波南大光電材料有限公司（下稱“寧波南大光電”）擬通過增資擴(kuò)股方式，引入戰(zhàn)略投資者國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期股份有限公司（下稱“國家大基金二期”）。

據(jù)悉，寧波南大光電成立于2018年1月，目前尚未實(shí)現(xiàn)盈利。2020年，寧波南大光電無營業(yè)收入，虧損386.82萬元；今年上半年，公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入19.42萬元，虧損343.07萬元。不過值得關(guān)注的是，該公司是國家科技重大專項(xiàng)（02專項(xiàng)）之“ArF光刻膠產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目的實(shí)施主體單位。

眾所周知，光刻膠是半導(dǎo)體芯片制造過程中所必須的關(guān)鍵材料。由于目前光刻機(jī)曝光光源一共有六種，分別是紫外全譜（300～450nm）、 G 線（436nm）、 I 線（365nm）、深紫外（DUV，包括 248nm 和 193nm）和極紫外（EUV），相對應(yīng)于各曝光波長的光刻膠也應(yīng)運(yùn)而生，對應(yīng)分別為，G 線光刻膠、I 線光刻膠、KrF光刻膠、 ArF光刻膠、EUV光刻膠。

目前，在全球半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域，主要被日本合成橡膠（JSR）、東京應(yīng)化（TOK）、羅門哈斯、日本信越和富士材料等頭部廠商所壟斷。其中，在高端半導(dǎo)體光刻膠市場上，全球的 EUV 和 ArF光刻膠主要是 JSR、陶氏和信越化學(xué)等供應(yīng)商，占有份額最大的是 JSR、信越化學(xué)，TOK 也有研發(fā)。

從國內(nèi)的光刻膠市場來看，低端的中g(shù)線/i線光刻膠自給率約為20%，KrF光刻膠自給率不足5%，而高端的ArF光刻膠完全依賴進(jìn)口，是國內(nèi)半導(dǎo)體的卡脖子技術(shù)之一。

公告顯示，經(jīng)過三年多的組織建設(shè)和技術(shù)攻關(guān)，寧波南大光電已組建了一支具有國際水平的先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化隊(duì)伍；建成年產(chǎn)25噸的ArF（干式和浸沒式）光刻膠產(chǎn)品生產(chǎn)線；研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品分別通過一家存儲芯片制造企業(yè)和一家邏輯芯片制造企業(yè)的客戶認(rèn)證，相關(guān)主要芯片制造企業(yè)的認(rèn)證工作正在順利推進(jìn)，為ArF光刻膠的規(guī)?；慨a(chǎn)奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

今年五月份，南大光電曾發(fā)布向特定對象發(fā)行股票，并在創(chuàng)業(yè)板上市，募集資金總額不超過6.13億元。其中其中，1.5億元用于光刻膠項(xiàng)目，主要用途有兩方面，一方面是用于先進(jìn)光刻膠及高純配套材料的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后，將建成光刻膠研發(fā)中心、先進(jìn)光刻膠的分析測試中心，以及年產(chǎn)350噸的高純顯影液的生產(chǎn)線。另一方面是用于ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后，將建成年產(chǎn)5噸ArF干式光刻膠的生產(chǎn)線、年產(chǎn)20噸ArF浸沒式光刻膠的生產(chǎn)線以及年產(chǎn)45噸的光刻膠配套高純試劑的生產(chǎn)線。

據(jù)了解，ArF 光刻膠材料是集成電路制造領(lǐng)域的重要關(guān)鍵材料，可以用于 90nm-14nm 甚至 7nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路制造工藝，廣泛應(yīng)用于高端芯片制造。長期以來，國內(nèi)高端光刻膠市場長期為國外巨頭所壟斷，對我國芯片制造具有“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。盡快實(shí)現(xiàn)先進(jìn)光刻膠的全面國產(chǎn)化和產(chǎn)業(yè)化具有十分重要的戰(zhàn)略意義和經(jīng)濟(jì)價(jià)值。因此重點(diǎn)放在國產(chǎn)設(shè)備、材料等上游產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)的大基金二期此次投資并不意外，大基金二期總經(jīng)理丁文武此前就表示，要加快開展光刻機(jī)、化學(xué)機(jī)械研磨等核心設(shè)備以及關(guān)鍵零部件的投資布局。

南大光電表示，作為國產(chǎn)高端光刻膠產(chǎn)品的領(lǐng)軍企業(yè)，下一步，公司在積極推動(dòng)ArF光刻膠產(chǎn)業(yè)化的同時(shí)，將介入先進(jìn)光刻膠配套材料的產(chǎn)業(yè)鏈，建立先進(jìn)光刻膠配套材料的國產(chǎn)化供應(yīng)體系，充分滿足核心客戶的需求，抓住半導(dǎo)體材料進(jìn)口替代的歷史性機(jī)遇，打造配套完整的國產(chǎn)光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈，力爭實(shí)現(xiàn)高端光刻膠生產(chǎn)的完全國產(chǎn)化，為公司打造新的利潤增長點(diǎn)。

寧波南大光電本次引入戰(zhàn)略投資者大基金二期，不僅可以擴(kuò)充資金實(shí)力，更重要的是，進(jìn)一步規(guī)范公司治理，提高決策管理水平，也有利于增強(qiáng)公司與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備、芯片制造頭部企業(yè)的協(xié)同，從而加速光刻膠業(yè)務(wù)的發(fā)展。

國家大基金二期公開投資的項(xiàng)目已超過10個(gè)，包括中芯國際、中芯南方、睿力集成、紫光展銳、中微公司、思特威、長川科技、珠海艾派克微電子及華潤微等企業(yè)，總投資金額達(dá)數(shù)百億元。

國家大基金二期參與投資的方式，多為像投資南大光電子公司這樣的方式，即投資上市公司子公司。例如6月7日，華潤微公告顯示，旗下全資子公司華微控股擬與國家大基金二期和重慶西永微電子產(chǎn)業(yè)園區(qū)開發(fā)有限公司發(fā)起設(shè)立一項(xiàng)目公司，注冊資本擬為50億元，由項(xiàng)目公司投資建設(shè)12英寸功率半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目，項(xiàng)目計(jì)劃投資75.5億元。

此外，國家大基金二期還作為戰(zhàn)投參與上市公司定增。7月2日，中微公司公告稱，公司向20家機(jī)構(gòu)定向增發(fā)8023萬股股份，募集資金總額約82億元。其中，國家大基金二期獲配2444萬股，獲配金額25億元，占公司此次定增發(fā)行金額的30％。