從2020年延續(xù)至今,“缺芯”在半導(dǎo)體圈子一直都是熱門話題,強(qiáng)勁且持久的需求促使半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)也變得緊俏,有望進(jìn)入一個(gè)全新的發(fā)展階段。市調(diào)機(jī)構(gòu)MarketandMarket報(bào)告指出,2020年,全球半導(dǎo)體制造設(shè)備市場(chǎng)估計(jì)為624億美元,預(yù)計(jì)到2025年將達(dá)到959億美元,年復(fù)合增長(zhǎng)率為9.0%。
作為全球前十大晶圓制造設(shè)備,ASM同樣保持著高速增長(zhǎng)。ASM中國(guó)區(qū)總經(jīng)理徐來表示:“2020年,ASM總營(yíng)收相較于2019年增長(zhǎng)了18%,主要的增長(zhǎng)領(lǐng)域是原子層沉淀(ALD),占據(jù)了設(shè)備收入的一半以上?!痹贏SM的官網(wǎng)可以看到這樣一句話:近年來,我們將ALD和等離子增強(qiáng)原子層沉積(PEALD)從研發(fā)一直帶到了先進(jìn)制造商的主流生產(chǎn)。在此,他特別強(qiáng)調(diào),他所講到的數(shù)據(jù)是和ASMI(ASM國(guó)際)相關(guān),而不是ASMPT(ASM Pacific Technology),前者專注于前段產(chǎn)品,后者則側(cè)重于封裝。
ASM營(yíng)收數(shù)據(jù)圖
ALD是半導(dǎo)體器件制造中的重要過程,可以在原子層水平上控制膜厚度和材料,并且被認(rèn)為能夠形成極薄且致密的膜。近年來,基于物理定律的摩爾定律對(duì)電子設(shè)備的小型化的需求已成為主要驅(qū)動(dòng)力,因此ALD的研究和開發(fā)變得非常活躍。
徐來指出,ALD設(shè)備是ASM的拳頭產(chǎn)品,“我們的ALD分為兩類,一類和熱相關(guān);一類和等離子相關(guān)。根據(jù)VLSI Research(2019)的數(shù)據(jù),我們的單晶圓ALD全球市場(chǎng)份額為53%。隨著ALD收入實(shí)現(xiàn)兩位數(shù)的顯著增長(zhǎng),我們相信我們?cè)?020年將保持強(qiáng)勁的領(lǐng)先地位。”
ASM部分ALD設(shè)備
在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)高速增長(zhǎng)的大背景下,中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)變得更為強(qiáng)勁。SEMI中國(guó)區(qū)總裁居龍表示,2020年中國(guó)首次成為全球最大設(shè)備市場(chǎng),增長(zhǎng)率達(dá)到39%。中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書長(zhǎng)金存忠預(yù)計(jì),2020年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將超過150億美元。
徐來在介紹中國(guó)區(qū)業(yè)務(wù)時(shí)談到:“ASM在中國(guó)的發(fā)展,遠(yuǎn)超于ASM其他地區(qū),是增長(zhǎng)最快的地方,也是受益于國(guó)內(nèi)設(shè)備市場(chǎng)迅猛發(fā)展的結(jié)果。ASM在中國(guó)扎根20年,人員一直在增加。今年年底應(yīng)該會(huì)達(dá)到150位員工的體量。享受國(guó)內(nèi)經(jīng)濟(jì)發(fā)展、半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)迅猛發(fā)展的同時(shí),ASM也愿意做與社會(huì)責(zé)任相關(guān)的事情。去年我們捐助了一個(gè)圖書館,一個(gè)廣播站給一個(gè)希望小學(xué)?!?/p>
除了ALD,Epi也是ASM產(chǎn)品一個(gè)迅猛增長(zhǎng)的品類?!癊pi在過去一年是非常熱的話題,ASM幫助國(guó)內(nèi)客戶提供了較好的選擇。去年講到外延生長(zhǎng),在厚外延上我們是最領(lǐng)先的,因?yàn)檫@個(gè)技術(shù)我們?cè)趪?guó)內(nèi)打開了很大的市場(chǎng)?!毙靵碇v到。
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