在對(duì)半導(dǎo)體工藝和良率的極致追求中，特種化學(xué)和先進(jìn)材料公司Entegris的價(jià)值越發(fā)凸顯

“現(xiàn)在的大數(shù)據(jù)、人工智能、IoT，其核心都是數(shù)字化，帶來對(duì)更高運(yùn)算力以及更高存儲(chǔ)力的需求。這些都是對(duì)芯片的需求，而伴隨芯片工藝發(fā)展的，是工藝材料上發(fā)生了很多變化，早期芯片可能只用到 4、5 種材料，現(xiàn)在發(fā)展到要用到 40 到 50 種材料?！苯赵?SEMICON China 2019 展會(huì)期間接受與非網(wǎng)記者采訪時(shí)，業(yè)界領(lǐng)先的特種化學(xué)及先進(jìn)材料解決方案公司 Entegris 先進(jìn)技術(shù)合作總監(jiān)陳柏嘉如是說。

這里陳柏嘉提到了工業(yè) 4.0 時(shí)代的兩大技術(shù)方向，即數(shù)字化轉(zhuǎn)型和材料科學(xué)。其中數(shù)字化過程中伴隨處理器算力的提升，以及對(duì)存儲(chǔ)容量的需求，需要邊緣節(jié)點(diǎn)運(yùn)算，整個(gè)集成電路的架構(gòu)也會(huì)因此改變。而材料科學(xué)方面，不斷研發(fā)出來的新材料包括納米材料等滿足制造業(yè)的需求。

Entegris 先進(jìn)技術(shù)合作總監(jiān)陳柏嘉

前者數(shù)字化轉(zhuǎn)型帶來芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，可視為 Entegris 所服務(wù)的市場(chǎng)，這一市場(chǎng)需求的增長意味著 Entegris 的發(fā)展空間；而后者材料科學(xué)則是 Entegris 特長和優(yōu)勢(shì)所在，是他們的產(chǎn)品和技術(shù)方向。

作為 1966 年成立，迄今已經(jīng)有 50 多年歷史的老牌科技企業(yè)，Entegris 在三個(gè)領(lǐng)域有深厚的技術(shù)積累和明顯的行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力，包括微污染控制，即氣體跟液體的關(guān)鍵材料，CMP 后晶圓清洗，以及先進(jìn)材料方面。

技術(shù)+服務(wù)，Entegris 的生意經(jīng)
上面陳柏嘉提到的，芯片制造工藝中材料的多樣性還在不斷增加，而這帶來的一個(gè)結(jié)果是在芯片制造過程中，材料的純度控制越來越具挑戰(zhàn)性。

陳柏嘉解釋，這里提到的材料既包括前道工序涉及到的硅、鍺、氮、鎵等芯片制造材料，也包括后道工序中用到的銅、鈷、釕等導(dǎo)電材料。

隨工藝演進(jìn)到 28nm 以下，傳統(tǒng)摻雜的制造工藝已經(jīng)過時(shí)，現(xiàn)在只能通過一層一層的材料生長來實(shí)現(xiàn)。先進(jìn)工藝污染物控制的難度不斷提升，除了先進(jìn)材料的導(dǎo)入，還需要檢測(cè)方法和配方上的配合；而針對(duì)成熟工藝，也面臨不斷提升良率、降低成本的挑戰(zhàn)。在陳柏嘉看來，這些都是 Entegris 公司的優(yōu)勢(shì)所在?！拔覀?cè)谛酒圃祛I(lǐng)域投入了很大心力?！?/p>

其中，針對(duì)先進(jìn)制程，Entegris 公司最重視的是研發(fā)，包括開發(fā)新的材料、新的方法，“Entegris 公司每年投入到研發(fā)中的經(jīng)費(fèi)占營收的 8%，在所有技術(shù)為主導(dǎo)的公司中也是很高的比例了；另外，我們也積極的跟學(xué)校的老師合作，在美國、中國臺(tái)灣都有一些大學(xué)教授跟我們一起開發(fā)很前端的材料，我們也希望在大陸可以找到一些教授，跟我們一起來開發(fā)，目前我們正在跟復(fù)旦大學(xué)、華東理工以及同濟(jì)大學(xué)的微電子系和材料科學(xué)系積極溝通，希望以后可以共同合作一些項(xiàng)目，這將是很先進(jìn)的方向。”

針對(duì)成熟工藝，陳柏嘉強(qiáng)調(diào)，Entegris 公司更關(guān)注在如何降低成本方面。“對(duì)我們來講，重點(diǎn)是如何精進(jìn)我們的制造技術(shù)，用比較低的成本去制造出相同質(zhì)量的產(chǎn)品；同時(shí)我們也在精進(jìn)整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的管理，因?yàn)槲覀兊脑牧?，很多都是來自于供?yīng)鏈。要找到更適合的來源，并做好純化的動(dòng)作?！?br /> ? ?
在技術(shù)投入之外，客戶服務(wù)同樣重要。這里陳柏嘉指出，Entegris 非?？粗胤?wù)的全球化，“我們希望可以更接近客戶，因?yàn)樵谙冗M(jìn)制程當(dāng)中，跟客戶合作是必要的?？蛻粼谀睦铮覀兙鸵侥睦?，可以快速得到客戶反饋，了解客戶遇到的挑戰(zhàn)和他們的需求。我們必須要在現(xiàn)場(chǎng)，每天跟他們溝通，然后一起討論解決問題?！?/p>

對(duì)此，陳柏嘉特別提到，在中國大陸，為了支援客戶在技術(shù)上的需求，Entegris 公司在上海成立一個(gè)中國技術(shù)中心，這個(gè)技術(shù)中心覆蓋微污染控制和化學(xué)品檢測(cè)、配方以及先進(jìn)材料三個(gè)技術(shù)方向?！澳康氖菫閰f(xié)助本地的客戶，可以更快的解決他們的問題。我們?cè)谥袊蹲⒘讼喈?dāng)多的資源，希望可以長期耕耘，陪伴整個(gè)中國市場(chǎng)一起茁壯?！?/p>

陳柏嘉也坦言，今年存儲(chǔ)市場(chǎng)的低迷，包括更先進(jìn)工藝的投入產(chǎn)出比變低會(huì)對(duì) Entegris 的生意造成一定影響，但長期來看，他仍看好全球市場(chǎng)對(duì)芯片產(chǎn)品的需求增長以及將帶給 Entegris 的業(yè)務(wù)增長機(jī)會(huì)，給出樂觀預(yù)期。

良率提升下一步，全供應(yīng)鏈的品質(zhì)控制
在交流中，陳柏嘉多次強(qiáng)調(diào) Entegris 提供整體解決方案和全供應(yīng)鏈品質(zhì)控制的重要性，“光靠終端用戶不行，必須整個(gè)潔凈化學(xué)品的供應(yīng)鏈都重視起來。所謂化學(xué)品都要潔凈，要從源頭就開始潔凈，要做好控制，當(dāng)然我剛剛提到，所謂“微污染”不只有關(guān)鍵材料，還要關(guān)注金屬，以及有機(jī)物部分。這些因素，都會(huì)影響到我們最終的良率和品質(zhì)控制。微污染的影響，雖然最主要是在后端，也讓就是 IC 制造這里。但是污染的來源無所不在，因?yàn)槿缃竦?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E5%8D%8A%E5%AF%BC%E4%BD%93/">半導(dǎo)體工藝演進(jìn)到納米級(jí)后，可能對(duì)工藝造成污染的粒子尺寸也在縮小，污染物范圍也成指數(shù)級(jí)增長。所以光靠最后這一端的 IC 制造來控制是不足的，即使采用凈化器、過濾器，不斷精進(jìn)技術(shù)，仍然沒辦法做到 100%，而考慮到芯片產(chǎn)品動(dòng)輒數(shù)十萬甚至更高的產(chǎn)能，在數(shù)字上，哪怕 99.9%的良率數(shù)字也意味著，如果生產(chǎn) 100 萬顆芯片，會(huì)有一千顆不合格，這在成本和品質(zhì)上是很難接受的。而要實(shí)現(xiàn)良率的極致，整個(gè)化學(xué)品的供應(yīng)鏈也必須同步精進(jìn)?！?/p>

而之所以一再強(qiáng)調(diào)，陳柏嘉解釋，終端用戶現(xiàn)在已經(jīng)意識(shí)到全供應(yīng)鏈品質(zhì)控制的重要性，因?yàn)榘l(fā)生過很多案例，只有通過積極的跟他們的供應(yīng)商合作，要求上游從過濾器、凈化器等方面一起做升級(jí)，才能實(shí)現(xiàn)最終產(chǎn)品的品質(zhì)控制。而 Entegris 公司現(xiàn)在要做的是幫助教育上游市場(chǎng)，讓更多的化學(xué)品供應(yīng)商和材料、設(shè)備供應(yīng)商能夠加入進(jìn)來，積極配合做好微污染控制?！皬?qiáng)調(diào)整體解決方案，是因?yàn)槲覀兛吹胶芏喙?yīng)鏈上的不足。這中間只要有一環(huán)出現(xiàn)差錯(cuò)都會(huì)出問題，所以我們強(qiáng)調(diào)除了終端用戶，我們必須往上覆蓋到跟整個(gè)供應(yīng)鏈的合作，大家一起參與進(jìn)來做好品質(zhì)控制?！?/p>

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