知識星球(星球名:芯片制造與封測技術(shù)社區(qū),星球號:63559049)里的學(xué)員問:晶圓的標(biāo)記都是用的激光打標(biāo),能介紹下激光打標(biāo)嗎?為什么不用幽默筆或油墨來標(biāo)記?
晶圓為什么要打標(biāo)?
晶圓在制造過程中有數(shù)百道工藝步驟,標(biāo)記使得每片晶圓能夠在不同階段進(jìn)行身份識別,有助于追朔,生產(chǎn)管理,數(shù)據(jù)收集分析,防止混淆等功能。
晶圓的標(biāo)打在哪里?
一般在晶圓邊緣的flat 或notch附近,正反面均可。
為什么用激光而不用油墨?
1,激光打標(biāo)潔凈度更高,油墨在操作過程中會(huì)對晶圓有污染2,油墨容易被有機(jī)類容易去除掉,導(dǎo)致失去標(biāo)記功能3,激光的精度更高,能夠生成微小的文字、條形碼等。
激光打標(biāo)的原理是什么?
激光束直接作用在材料表面,使其局部溫度迅速上升到氣化點(diǎn),使材料表面物質(zhì)瞬間氣化并消失,從而在表面留下凹痕。
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