CP測試系統(tǒng)可以類比為一個(gè)精密的醫(yī)設(shè)備,用于檢查晶圓上的芯片是否健康,確保它們在最后加工成成品之前符合規(guī)格。這個(gè)測試系統(tǒng)主要由以下幾個(gè)核心部分組成:
測試機(jī)(ATE):就像醫(yī)生的診斷儀器,通過一系列標(biāo)準(zhǔn)化的測試程序來檢測芯片的各項(xiàng)性能指標(biāo)。它的主要組成包括:
測試機(jī)頭:好比醫(yī)生的聽診器,與芯片直接接觸,執(zhí)行具體的測試任務(wù)。
測試程序:這一程序就像醫(yī)生的診斷步驟,由工作站從服務(wù)器下載后在本地執(zhí)行。
探針臺(Prober):相當(dāng)于護(hù)士或助手,負(fù)責(zé)將晶圓定位準(zhǔn)確,以便測試機(jī)能進(jìn)行精確檢測。探針臺通過操作將探針卡上的探針準(zhǔn)確對準(zhǔn)晶圓上的測試焊盤,確保信號順利傳遞。
探針卡(Probe Card):可視為連接醫(yī)生(測試機(jī))與病人(晶圓)的管道,它上面的探針接觸晶圓上的測試焊盤,把電信號傳遞至芯片。探針通常由優(yōu)質(zhì)導(dǎo)電材料制成,以確保信號傳輸的有效性。
針測接口板和針?biāo)哼@兩者結(jié)合形成一個(gè)完整的信號回路,讓電信號從ATE傳輸?shù)教结?,再到晶圓。就像醫(yī)生使用的導(dǎo)線和附屬設(shè)備,確保整個(gè)檢測過程的電信順暢。
晶圓卡盤(Chuck):它固定晶圓位置,仿佛是給病人檢查時(shí)的躺椅,穩(wěn)固且精確地保持晶圓在正確的位置以利于測試機(jī)進(jìn)行有效診斷。
在這個(gè)系統(tǒng)中,所有部分都緊密地協(xié)作,就像一個(gè)完整的體檢過程,確保每顆芯片都通過嚴(yán)格的測試程序,為下游的生產(chǎn)工序提供高質(zhì)量的“健康”芯片。通過這樣的系統(tǒng)性測試,工廠能大幅度降低生產(chǎn)缺陷,保證產(chǎn)品質(zhì)量。
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