芯片工廠的“血管網(wǎng)絡(luò)”——電子特氣輸送系統(tǒng)

本期話題：

00:30?廠務(wù)輸送業(yè)務(wù)可以延伸到哪些方向？

03:10?國(guó)產(chǎn)替代要有進(jìn)程性和階段性過(guò)程

07:05?氣體輸送行業(yè)未來(lái)的趨勢(shì)是什么？

上海櫟智半導(dǎo)體科技有限公司 董秘 方真?做客芯片揭秘

廠務(wù)輸送業(yè)務(wù)可以延伸到哪些方向？

幻實(shí)（主播）：歡迎大家關(guān)注芯片揭秘，我是主播幻實(shí)，本期節(jié)目我們邀請(qǐng)到上海櫟智半導(dǎo)體科技有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)：櫟智科技）的董秘方真先生，請(qǐng)方總跟我們具體聊聊公司的產(chǎn)品方向。

方真（嘉賓）：櫟智科技2010年就成立了。櫟智科技早期是圍繞電子特氣的廠務(wù)輸送系統(tǒng)相關(guān)的業(yè)務(wù)在做一些延展，經(jīng)歷10多年的發(fā)展，我們逐步從單一業(yè)務(wù)發(fā)展到多元化業(yè)務(wù)結(jié)構(gòu)。

目前業(yè)務(wù)板塊分三大塊：第一塊是相對(duì)成熟的廠務(wù)輸送系統(tǒng)，客戶(hù)面向于fab廠，或者隨著三代半材料的興起，像碳化硅相關(guān)領(lǐng)域，但凡需要用到電子特氣的客戶(hù)群體，都是我們服務(wù)的對(duì)象；第二塊是基于對(duì)電子特氣輸送和控制技術(shù)的沉淀拓展出來(lái)的設(shè)備類(lèi)業(yè)務(wù)，因?yàn)橄噍^于廠務(wù)輸送，設(shè)備類(lèi)的業(yè)務(wù)在科技屬性和研發(fā)端都需要更強(qiáng)的積累。這塊業(yè)務(wù)，主要是圍繞半導(dǎo)體關(guān)鍵工藝設(shè)備，比如CVD等相關(guān)設(shè)備中電子特氣輸送所需的關(guān)鍵配套設(shè)備，如GAS BOX相關(guān)設(shè)備，主要面向的客戶(hù)群體是主工藝機(jī)臺(tái)相關(guān)的設(shè)備類(lèi)廠商；第三塊是圍繞電子特氣的生產(chǎn)廠商，為生產(chǎn)廠商提供電子特氣生產(chǎn)端的成套裝備，包括像精餾、提純、充裝、分裝、撬裝、分析等完整的成套裝備。目前這是我們?nèi)髽I(yè)務(wù)板塊的布局。

Gas Box氣控柜作為半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)設(shè)備內(nèi)的核心組成部分之一，其功能是將各路工藝氣體集成在一個(gè)空間環(huán)境內(nèi)，并按工藝需求對(duì)不同氣體進(jìn)行傳輸、分配和混合。對(duì)個(gè)別關(guān)鍵工藝氣體進(jìn)行精確的流量控制，根據(jù)工藝不同步驟的設(shè)定實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝氣體進(jìn)行開(kāi)關(guān)控制等功能。

在Gas Box中，包含一定數(shù)量的氣體管路、高純VCR部件、微型焊接接頭、隔膜閥門(mén)、MFC（質(zhì)量流量計(jì)）等流體元件。

幻實(shí)（主播）：業(yè)務(wù)內(nèi)容非常豐富。

方真（嘉賓）：所有業(yè)務(wù)板塊背后的核心是這些年來(lái)我們對(duì)于電子特氣以及控制工藝的了解，這是我們的核心成淀。雖然三大板塊非常綜合，但底層邏輯是一致的，都是圍繞我們這些年對(duì)電子特氣的了解和深入行業(yè)的積累所形成的。

幻實(shí)（主播）：根據(jù)氣體不同的應(yīng)用方向和客戶(hù)不同的需求，你們做了非常多的配套選擇，那從業(yè)務(wù)量來(lái)看，哪一塊業(yè)務(wù)占比最高？

方真（嘉賓）：基于當(dāng)前情況，可能還是第一塊的輸送系統(tǒng)，因?yàn)檫@是我們的起家業(yè)務(wù)。但從整個(gè)業(yè)務(wù)的增速來(lái)看，后面兩塊業(yè)務(wù)的增速非常之快，所以我們這幾塊業(yè)務(wù)發(fā)展得非常均衡。接下來(lái)的幾年，設(shè)備類(lèi)的業(yè)務(wù)和電子特氣生產(chǎn)端成套設(shè)備的業(yè)務(wù)規(guī)模會(huì)逐步擴(kuò)大，甚至有可能完全超過(guò)第一塊的廠務(wù)輸送業(yè)務(wù)。

國(guó)產(chǎn)替代要有進(jìn)程性和階段性過(guò)程

幻實(shí)（主播）：我有個(gè)疑問(wèn)，第三塊業(yè)務(wù)是服務(wù)于氣體生產(chǎn)公司，為他們提供整個(gè)氣體的生產(chǎn)設(shè)備，那會(huì)不會(huì)既是供應(yīng)商又是競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，大家會(huì)不會(huì)形成競(jìng)爭(zhēng)？

方真（嘉賓）：完全不會(huì)，因?yàn)槲覀儽旧聿簧a(chǎn)氣，是給氣體生產(chǎn)的公司提供成套設(shè)備，所以第三塊面向的是氣體生產(chǎn)公司，而我們第一塊和第二塊業(yè)務(wù)是面向氣體使用方的廠商，所以這三塊業(yè)務(wù)不僅不會(huì)產(chǎn)生競(jìng)爭(zhēng)或排他現(xiàn)象，相反還有很強(qiáng)的業(yè)務(wù)協(xié)同。比如，fab廠使用我們的廠務(wù)輸送系統(tǒng)相關(guān)業(yè)務(wù)，在供氣端勢(shì)必會(huì)尋求上游的特氣生產(chǎn)廠商，而我們又為該廠商提供設(shè)備，所以在一整條產(chǎn)業(yè)鏈中，櫟智科技都在提供設(shè)備和服務(wù)。

幻實(shí)（主播）：你是他客戶(hù)的客戶(hù)。

方真（嘉賓）：沒(méi)錯(cuò)，包括櫟智科技的定位，也是希望做到以電子特氣為核心的高純氣體、高純電子化學(xué)品的全鏈路技術(shù)服務(wù)商、設(shè)備服務(wù)商。

幻實(shí)（主播）：回到第一塊業(yè)務(wù)，櫟智科技在行業(yè)內(nèi)的占比是什么水平？是頭部還是中游？

方真（嘉賓）：客觀地說(shuō)，這塊業(yè)務(wù)國(guó)產(chǎn)化的競(jìng)爭(zhēng)比較激烈，也有頭部上市公司，相比于我們，這兩家上市公司的體量是非常大的。這塊業(yè)務(wù)雖然是我們的起家業(yè)務(wù)，但是多元化發(fā)展的三塊業(yè)務(wù)是并行的，整個(gè)重心包括我們研發(fā)端和技術(shù)端的投入，都是圍繞三塊業(yè)務(wù)中對(duì)于氣體控制層面的積累，形成扎實(shí)的基礎(chǔ)，隨時(shí)應(yīng)對(duì)整個(gè)時(shí)代和行業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)。

幻實(shí)（主播）：我非常認(rèn)同這種做法，因?yàn)閲@著中國(guó)產(chǎn)業(yè)升級(jí)的能級(jí)不同，大家要做更加有價(jià)值的事，然后把低端的、競(jìng)爭(zhēng)已經(jīng)紅海的業(yè)務(wù)交給下游的公司，這是一個(gè)有進(jìn)步要求的公司的戰(zhàn)略選擇。

你們?cè)O(shè)備零部件的國(guó)產(chǎn)化率怎么樣？關(guān)于這一方面我們國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈的情況好不好？

?方真（嘉賓）：我只能代表個(gè)人的一些觀點(diǎn)。因?yàn)榫碗娮犹貧膺@一塊而言，它涉及到高腐蝕性、高危性、劇毒性等特性，實(shí)際上圍繞這一塊所用到的國(guó)產(chǎn)化率相對(duì)來(lái)說(shuō)還是比較低的，比如閥門(mén)、MFC這些都是采用海外進(jìn)口產(chǎn)品為主。但是對(duì)于偏大宗或者是偏惰性氣體領(lǐng)域，用到的國(guó)產(chǎn)化零部件還是有一定體量的。當(dāng)然，就像國(guó)產(chǎn)替代或者解決卡脖子的行為，它必然是一個(gè)圍繞產(chǎn)業(yè)鏈有進(jìn)程性和階段性的過(guò)程。

MFC:質(zhì)量流量控制器（MassFlowControlle），是對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的氣體或者液體的質(zhì)量進(jìn)行控制和監(jiān)測(cè)的一個(gè)物件。MFC是和流體工藝、應(yīng)用場(chǎng)景高度相關(guān)的關(guān)鍵、核心的零部件，通常需要配合其他設(shè)備一起使用，是精確控制氣體流量的裝置，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、光伏、生物醫(yī)藥、工業(yè)等方面。

這些年，我們芯片從IC的設(shè)計(jì)到封測(cè)再到制造這一端，都是在進(jìn)行國(guó)產(chǎn)化替代的動(dòng)作，然后逐漸從制造領(lǐng)域拓展到設(shè)備領(lǐng)域，再?gòu)脑O(shè)備領(lǐng)域拓展到圍繞這些設(shè)備領(lǐng)域做配套的部件，就如說(shuō)我剛剛提到的部件，還有再往上游的一些零件，甚至剛提到的我們做電子特氣的這一塊，也是圍繞半導(dǎo)體行業(yè)在原材料端進(jìn)行一些國(guó)產(chǎn)替代。國(guó)產(chǎn)替代的階段性突破，一定是從完整的集成交付到零部件再到往上游發(fā)展的階段。對(duì)于國(guó)產(chǎn)的一些零部件，我相信在未來(lái)一定能做出一些成績(jī)。

幻實(shí)（主播）：要在產(chǎn)品確定性程度比較高的情況下，才能去考慮降本的問(wèn)題。

方真（嘉賓）：櫟智科技的經(jīng)營(yíng)理念秉承踏踏實(shí)實(shí)原則，所以我們也不希望單純?yōu)榱藝?guó)產(chǎn)化替代而影響到客戶(hù)使用。

氣體輸送行業(yè)未來(lái)的趨勢(shì)是什么？

幻實(shí)（主播）：非常感謝方總講了這么多，那關(guān)于未來(lái)的行業(yè)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，你個(gè)人有沒(méi)有什么樣的一個(gè)判斷？能不能跟我們分享一下？

方真（嘉賓）：回到我剛剛提到的卡脖子和國(guó)產(chǎn)替代的周期性和階段性進(jìn)程，包括您可以看到我們后兩塊的業(yè)務(wù)的發(fā)展趨勢(shì)，其實(shí)也是圍繞這塊進(jìn)行的。在國(guó)產(chǎn)化競(jìng)爭(zhēng)比較激烈的輸送系統(tǒng)領(lǐng)域，我們向設(shè)備端拓展，提前布局電子特氣成套的生產(chǎn)裝備，這勢(shì)必成為我們未來(lái)發(fā)展的重心，我相信這也是整個(gè)國(guó)內(nèi)在半導(dǎo)體賽道發(fā)展的趨勢(shì)性呼應(yīng)。另外，我們圍繞后兩塊業(yè)務(wù)的技術(shù)人員，我們?cè)诮衲暌矔?huì)再做一些擴(kuò)增，基本上現(xiàn)在技術(shù)端和研發(fā)端的人員加起來(lái)能占到公司總?cè)藛T的40%以上，這也是我們的立身之本，以產(chǎn)品以實(shí)力以技術(shù)來(lái)說(shuō)話。同時(shí)我們今年也投入了新的生產(chǎn)基地，有更大的百級(jí)潔凈室的空間，包括清洗區(qū)、測(cè)試區(qū)的規(guī)劃，這些都是我們圍繞后兩塊的業(yè)務(wù)，去加大投入持續(xù)發(fā)展的規(guī)劃方向。

幻實(shí)（主播）：方總對(duì)公司的發(fā)展非常有信心，感覺(jué)你們已經(jīng)儲(chǔ)備了非常久，然后要一飛沖天。

方真（嘉賓）：我們希望能夠穩(wěn)扎穩(wěn)打，一步一個(gè)腳印，在半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化的趨勢(shì)下，我們也希望能夠?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)的發(fā)展盡一份綿薄之力。

電子特氣廠務(wù)輸送系統(tǒng)屬于工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)，其目的是按照工藝需求的流量和壓力，將氣體等介質(zhì)安全、高效地輸送到生產(chǎn)環(huán)節(jié)，并實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和控制。該領(lǐng)域的技術(shù)要點(diǎn)在于純度控制、工藝控制、安全控制。目前工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)主要用于泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光纖通信、醫(yī)藥制造等行業(yè)。目前難度較高，要求較多的市場(chǎng)被行業(yè)巨頭壟斷，而技術(shù)水平要求較低的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)非常激烈且分散，幾乎每個(gè)技術(shù)點(diǎn)都有很多企業(yè)在做競(jìng)爭(zhēng)。

美國(guó)的凱耐第斯、日本的森松工業(yè)、臺(tái)灣的帆宣系統(tǒng)，占據(jù)著工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)的前三名。國(guó)內(nèi)正帆科技，至純科技兩家上市公司已經(jīng)搶占先機(jī)，櫟智半導(dǎo)體這樣的中小型企業(yè)也在奮力直追，總體上國(guó)內(nèi)廠商的競(jìng)爭(zhēng)地位正在不斷增強(qiáng)，正逐步實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。目前工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)的發(fā)展速度與下游市場(chǎng)的火爆程度緊密相關(guān)，隨著物聯(lián)網(wǎng)為代表的新需求所帶動(dòng)的如人工智能、大數(shù)據(jù)、自動(dòng)駕駛等新應(yīng)用的興起，工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)也迎來(lái)更大的發(fā)展機(jī)遇，但由于工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)行業(yè)的客戶(hù)主要是先進(jìn)制造業(yè)，對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的工藝要求較高，行業(yè)玩家如果單純的在低技術(shù)領(lǐng)域靠?jī)r(jià)格競(jìng)爭(zhēng)是很難有良性發(fā)展。